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ic有源元件與工藝流程-資料下載頁

2025-02-21 18:29本頁面
  

【正文】 有被多晶硅和場氧化層覆蓋的區(qū)域。制作P +源、漏區(qū)的過程是:將片子涂上光刻膠,把全部 P溝晶體管的源、漏區(qū)和P 材料(如 P阱)和金屬接觸的區(qū)域等要進行 P+擴散的區(qū)域,經(jīng)過曝光、顯影后露出來,進行注入。光刻膠在注入時起阻擋作用,同時,多晶硅也起這種作用。同樣的方法,制作N +源、漏區(qū),如圖( e)。77 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ??。?f)金屬化和鈍化層216。 再在硅片上淀積一新的厚氧化層,采用以前相同的步驟將接觸孔的位置定下來,腐蝕接觸孔的氧化層直到露出硅表面為止,去掉光刻膠,在硅片上淀積金屬鋁,光刻出金屬連線并腐蝕掉不需要的金屬,為了保護硅片不受化學腐蝕和劃傷,在表面上覆蓋一層鈍化層??坛鰤汉竻^(qū)(這是 IC和其封裝之間的壓焊區(qū)域)。去掉上面的鈍化層,如圖( f),這是一個完整電路的截面圖。78 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?P阱 CMOS工藝中, PMOS和 NMOS結(jié)構(gòu)79 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ? 典型 1P2M n阱 CMOS工藝主要步驟圖 80 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?N阱 CMOS的工藝流程81 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ? 82 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?83 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?84 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?85 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?86 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?87 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?88 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?CMOS反相器電路圖和芯片剖面示意圖圖 89 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?n CMOS的主要優(yōu)點是集成密度高而功耗低,工作頻率隨著工藝技術(shù)的改進已接近 TTL電路,但驅(qū)動能力尚不如雙極型器件,所以近來又出現(xiàn)了在 IC內(nèi)部邏輯部分采用 CMOS技術(shù),而 I/O緩沖及驅(qū)動部分使用雙極型技術(shù)的一種稱為 BiCMOS的工藝技術(shù)。 BiCMOS工藝90 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?BiCMOS工藝的特點就是在 CMOS工藝的基礎(chǔ)上加入雙極性器件的特殊的工序表 91 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?BiCMOS工藝下 NPN晶體管的俯視圖和剖面圖圖 92 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?n作業(yè):藝流程和特點。 P阱 CMOS的工藝流程。93 ?c?e?c? ? 通 ?信 ?工 ?程 ?系 ?n 靜夜四無鄰,荒居舊業(yè)貧。 一月 21一月 21Sunday, January 31, 2023n 雨中黃葉樹,燈下白頭人。 18:58:1618:58:1618:581/31/2023 6:58:16 PMn 1以我獨沈久,愧君相見頻。 一月 2118:58:1618:58Jan2131Jan21n 1故人江海別,幾度隔山川。 18:58:1618:58:1618:58Sunday, January 31, 2023n 1乍見翻疑夢,相悲各問年。 一月 21一月 2118:58:1618:58:16January 31, 2023n 1他鄉(xiāng)生白發(fā),舊國見青山。 31 一月 20236:58:16 下午 18:58:16一月 21n 1比不了得就不比,得不到的就不要。 。 一月 216:58 下午 一月 2118:58January 31, 2023n 1行動出成果,工作出財富。 2023/1/31 18:58:1618:58:1631 January 2023n 1做前,能夠環(huán)視四周;做時,你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 6:58:16 下午 6:58 下午 18:58:16一月 21n 沒有失敗,只有暫時停止成功!。 一月 21一月 21Sunday, January 31, 2023n 很多事情努力了未必有結(jié)果,但是不努力卻什么改變也沒有。 18:58:1618:58:1618:581/31/2023 6:58:16 PMn 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 一月 2118:58:1618:58Jan2131Jan21n 1世間成事,不求其絕對圓滿,留一份不足,可得無限完美。 18:58:1618:58:1618:58Sunday, January 31, 2023n 1不知香積寺,數(shù)里入云峰。 一月 21一月 2118:58:1618:58:16January 31, 2023n 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 31 一月 20236:58:16 下午 18:58:16一月 21n 1楚塞三湘接,荊門九派通。 。 一月 216:58 下午 一月 2118:58January 31, 2023n 1少年十五二十時,步行奪得胡馬騎。 2023/1/31 18:58:1618:58:1631 January 2023n 1空山新雨后,天氣晚來秋。 6:58:16 下午 6:58 下午 18:58:16一月 21n 楊柳散和風,青山澹吾慮。 一月 21一月 21Sunday, January 31, 2023n 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 18:58:1618:58:1618:581/31/2023 6:58:16 PMn 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 一月 2118:58:1618:58Jan2131Jan21n 1越是無能的人,越喜歡挑剔別人的錯兒。 18:58:1618:58:1618:58Sunday, January 31, 2023n 1知人者智,自知者明。勝人者有力,自勝者強。 一月 21一月 2118:58:1618:58:16January 31, 2023n 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 31 一月 20236:58:16 下午 18:58:16一月 21n 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 一月 216:58 下午 一月 2118:58January 31, 2023n 1業(yè)余生活要有意義,不要越軌。 2023/1/31 18:58:1618:58:1631 January 2023n 1一個人即使已登上頂峰,也仍要自強不息。 6:58:16 下午 6:58 下午 18:58:16一月 21MOMODA POWERPOINTLorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看專家告
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