【正文】 2 ... 20 1 2 3 ... n OverallAvg: a c e ?runrun b d f 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗(yàn)收概覽 第 29 頁(yè) 三個(gè)層面： 批次定義： 50 個(gè)產(chǎn)品一批（一個(gè)產(chǎn)品有若干測(cè)量值）。 取樣計(jì)劃：每個(gè)批次 2 個(gè)產(chǎn)品，每個(gè)產(chǎn)品 10 個(gè)測(cè)量值 批次數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)： 批次和批次 : 平均 產(chǎn)品和產(chǎn)品 : 把每批中 2 個(gè)產(chǎn)品數(shù)據(jù)取平均值，然后再對(duì)所有批次的這個(gè)均值進(jìn)行 2 個(gè)產(chǎn)品均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（ std dev） 產(chǎn)品中 : 先取每個(gè)產(chǎn)品中 10 個(gè)測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差 std dev，然后再求每批中 2 個(gè) 產(chǎn)品的這個(gè)數(shù)據(jù)的均值。 檢驗(yàn)： Run to run: 批次和批次間 Unit to unit: 產(chǎn)品和產(chǎn)品 Within unit: 產(chǎn)品中 參照數(shù)據(jù)計(jì)算如表７所示。 表７ 參照設(shè)備層面三數(shù)據(jù)計(jì)算 Reference value calculations: a. Overall Run Avg： b. Run Avg ?runrun： 計(jì)算所有 n 個(gè)批次均值的平均值 計(jì)算 n 個(gè)批次平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差 c. Avg. UTU stdev： 計(jì)算 n 個(gè)批次產(chǎn)品和產(chǎn)品之間標(biāo)準(zhǔn)偏差的平均值 d. UTU ?runrun： 計(jì)算 n 個(gè)批次產(chǎn)品和產(chǎn)品之間（ UTU）偏差的標(biāo)準(zhǔn)偏差 e. f. Avg WIU Stdev： WIU ?runrun： 計(jì)算 n 個(gè)批次產(chǎn)品中（ WIU）的偏差的平均值 計(jì)算 n 個(gè)批次產(chǎn)品中（ WIU）偏差的標(biāo)準(zhǔn)偏值 Quality Characteristic Measurement Method Ideal Target Present Mean Present . Expected Change 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗(yàn)收概覽 第 30 頁(yè) 3）把參照設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)基線記錄在初始白皮書(shū) PWP 的相關(guān)表格中。 下表８是用于記錄參照設(shè)備主要工藝參數(shù)的質(zhì)量特性表。在本表中包括了各項(xiàng) 質(zhì)量特性，檢測(cè)的方式，理想的目標(biāo)值，現(xiàn)在參照設(shè)備基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差 等項(xiàng)目。 表８ 參照設(shè)備質(zhì)量特征數(shù)據(jù) TABLE QUALITY CHARACTERISTICS 記錄更新 5M+E 的檢查清單 5M+E 檢查清單包括如下幾個(gè)方面 : 機(jī)器（ Machine）：包括設(shè)備的硬件和軟件及設(shè)置參數(shù)。 人力（ Manpower）：得到資格認(rèn)證的設(shè)備操作和維護(hù)人員 。 物料（ Material）：需要的直接或間接的物料包括一些輔助物品。 測(cè)量（ Measurement）：用于測(cè)量工藝參數(shù)的檢測(cè)工具。 方法（ Method）：設(shè)備運(yùn)行和維護(hù)的流程。通常有專(zhuān)門(mén)的規(guī)范文檔。 環(huán)境（ Environment）：運(yùn)行設(shè)備所需要的公用設(shè)施和環(huán)境，如水、電、氣，室內(nèi)溫 度，顆粒度等 。 5M+E 檢查清單通常在研發(fā)階段由相關(guān)技術(shù)專(zhuān)家制定，并在實(shí)際使用中不斷得到 完善。 5M+E 檢查清單不但涵蓋了設(shè)備的參數(shù)設(shè)置等數(shù)據(jù)，同時(shí)也包括了設(shè)備所要用 到的水、電、氣等共用設(shè)施，本設(shè)備要用到的檢測(cè)工具等重要信息，而這些信息在 項(xiàng)目的啟動(dòng)階段就須準(zhǔn)備好。 驗(yàn)收計(jì)劃的審閱和批準(zhǔn) 在 PWP（初始白皮書(shū)）中定義驗(yàn)收計(jì)劃，并把 PWP 提交給 JET/CCB（聯(lián)合工程 師團(tuán)隊(duì)／更改控制委員會(huì)）審閱，批準(zhǔn)。 設(shè)備驗(yàn)收計(jì)劃在提交給 CCB（更改控制委員會(huì)）之前，會(huì)先由 JET（聯(lián)合工 程師團(tuán)隊(duì)）進(jìn)行審閱。 在白皮書(shū)中需對(duì)參照設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。 配置一樣的每一臺(tái)設(shè)備都要有一個(gè)驗(yàn)收計(jì)劃。 實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)材料 材料數(shù)量 需檢測(cè)的工藝因素 干擾因素 質(zhì)量特性檢測(cè) 接受的標(biāo)準(zhǔn) 1 2 3 4 5 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗(yàn)收概覽 第 31 頁(yè) 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 PWP（初始白皮書(shū)）中驗(yàn)收計(jì)劃示例： 實(shí)驗(yàn)策略表，見(jiàn)表 9。 表９ 實(shí)驗(yàn)策略表 ２、實(shí)驗(yàn)詳細(xì)情況 在白皮書(shū)中，針對(duì)實(shí)驗(yàn)策略表中的每一個(gè)實(shí)驗(yàn)都會(huì)有詳細(xì)的說(shuō)明。它包括： 目的 １、實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo) ２、實(shí)驗(yàn)材料的選擇和理由 ３、實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) ４、 ?風(fēng)險(xiǎn)， ?風(fēng)險(xiǎn)，技術(shù)層面的 ?， d= ?/?，檢測(cè)每一個(gè)質(zhì)量特性的樣本大小 ５、樣本的選擇 ６、測(cè)量的方式 ７、實(shí)驗(yàn)流程 ８、統(tǒng)計(jì)分析的方法 按驗(yàn)收計(jì)劃對(duì)設(shè)備進(jìn)行驗(yàn)收 當(dāng) PWP（初始白皮書(shū)）被批準(zhǔn)后，就可按照白皮書(shū)中定義的驗(yàn)收計(jì)劃對(duì)設(shè)備進(jìn) 行驗(yàn)收。通常驗(yàn)收的步驟包括： 一、根據(jù) 5M+E 檢查清單對(duì)機(jī)器參數(shù)進(jìn)行逐項(xiàng)確認(rèn) 二、對(duì)檢測(cè)設(shè)備和工具進(jìn)行匹配檢驗(yàn)。 1） 把產(chǎn)品放到已驗(yàn)收合格的機(jī)器或工具上進(jìn)行測(cè)量，收集數(shù)據(jù)。 2） 把同一產(chǎn)品放到要驗(yàn)收的機(jī)器或工具上進(jìn)行測(cè)量，收集數(shù)據(jù)并分析以確認(rèn)要驗(yàn) 收的機(jī)器或工具的測(cè)量能力和已驗(yàn)收合格的機(jī)器或工具在統(tǒng)計(jì)意義上是匹配的。 三、收集驗(yàn)收設(shè)備的數(shù)據(jù)并作決定。 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗(yàn)收概覽 第 32 頁(yè) 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 1）對(duì)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行序貫檢驗(yàn)，如圖 26 所示。 ? ? ? ? 用序貫檢驗(yàn)方法對(duì)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行分析，確認(rèn)是否和參照設(shè)備匹配。 序貫檢驗(yàn)的優(yōu)點(diǎn)是在數(shù)據(jù)收集的過(guò)程中，可在得到每一個(gè)批次的數(shù)據(jù)后做出決 定，從而可較早的發(fā)現(xiàn)有問(wèn)題的設(shè)備或接受符合要求的設(shè)備。 圖 26 序貫檢驗(yàn)示意圖 (均值 ) Sequential test diagram (mean) 如設(shè)備的均值測(cè)試都通過(guò)且沒(méi)有失敗的變化檢驗(yàn)，則認(rèn)為設(shè)備通過(guò)序貫檢驗(yàn)。 穩(wěn)定性檢驗(yàn)會(huì)在設(shè)備驗(yàn)收后進(jìn)行，以進(jìn)一步確認(rèn)新設(shè)備是穩(wěn)定的。同時(shí)也可作 為將來(lái)新設(shè)備的參照。 2）審閱總體產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)結(jié)果 對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行全面的質(zhì)量檢驗(yàn)，并對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析。 提交 FWP（最終白皮書(shū)） 提交 FWP（最終白皮書(shū)）給 JET/CCB（聯(lián)合工程師團(tuán)隊(duì)／更改控制委員會(huì)）進(jìn)行 最后的審閱，批準(zhǔn)。 一、每一臺(tái)新設(shè)備都需要提交一份最終白皮書(shū)。 二、在白皮書(shū)中應(yīng)包括所有的重要數(shù)據(jù)和圖表。 三、記錄結(jié)論。 １）對(duì)所有異常的曲線走向和數(shù)據(jù)點(diǎn)進(jìn)行說(shuō)明和解釋并解決。 ２）對(duì)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)進(jìn)行總結(jié)。 下面給出了一張?jiān)? FWP（最終白皮書(shū)）中的質(zhì)量特性總結(jié)表，見(jiàn)表 10。這張表對(duì) 設(shè)備驗(yàn)收數(shù)據(jù)的分析結(jié)果進(jìn)行匯總，并對(duì)異常做出說(shuō)明。 Quality Characteristic Ideal Target POR Mean POR StdDev ?(from PWP) Accept Criteria New Mean New StdDev Result 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗(yàn)收概覽 第 33 頁(yè) 第三章 表 10 新設(shè)備質(zhì)量特征數(shù)據(jù)總結(jié) Quality Characteristics Summary Conclusions: (對(duì)結(jié)果或異常情況做出說(shuō)明 ) 穩(wěn)定性檢驗(yàn) 進(jìn)行穩(wěn)定性檢驗(yàn)： 30 個(gè)批次的產(chǎn)品數(shù)據(jù)。由于在設(shè)備驗(yàn)收階段收集的數(shù)據(jù)有限， 所以在設(shè)備驗(yàn)收合格用于正式生產(chǎn)后，還會(huì)繼續(xù)收集 30 個(gè)批次的產(chǎn)品數(shù)據(jù)并做出 趨勢(shì)圖和控制曲線，從而確認(rèn)設(shè)備是否穩(wěn)定。 ② ② 第三章同時(shí)參考了 Process Matching Handbook Revision for ATM. . 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第四章 “精確復(fù)制 ”的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 第 34 頁(yè) 第四章 “ 精確復(fù)制 ” 的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 英特爾公司的 “精確復(fù)制 ”策略為當(dāng)代的技術(shù)轉(zhuǎn)移項(xiàng)目，比如新建生產(chǎn)流水線 項(xiàng)目，提供了質(zhì)量管理方面的實(shí)踐參考，并在平衡項(xiàng)目進(jìn)度和質(zhì)量方面樹(shù)立了典范。 那么，如何才能在國(guó)內(nèi)類(lèi)似項(xiàng)目中有效的推行 “精確復(fù)制 ”策略，使其能在保證質(zhì) 量的前提下，盡量縮短工期呢？ 影響項(xiàng)目質(zhì)量的因素主要有 “人、材料、機(jī)械、方法和環(huán)境 ”等五大方面，而 ］ 確復(fù)制 ”策略的原則就是采用科學(xué)的方法，并對(duì) “人、機(jī)、物、法、環(huán) ”幾方面進(jìn) 行嚴(yán)格控制，從而使項(xiàng)目的質(zhì)量和進(jìn)度得到有效保證。下面會(huì)從技術(shù)層面，企業(yè)文 化建設(shè)，組織管理，人員培訓(xùn)等幾個(gè)方面對(duì) “精確復(fù)制 ”的關(guān)鍵所在，實(shí)施保證進(jìn) 行深入分析、探討，以期為這一策略的推廣應(yīng)用提供借鑒。 從技術(shù)層面看 “ 精確復(fù)制 ” 的關(guān)鍵 一樣的輸入，一樣的工藝流程，就應(yīng)有一樣的輸出。基于這一理念， “精確復(fù) 制 ”通過(guò)復(fù)制成功生產(chǎn)流水線的工藝參數(shù)，并運(yùn)用統(tǒng)計(jì)學(xué)方法驗(yàn)證其具有一樣的工 藝特性，從而確保不同生產(chǎn)線輸出產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。 在 “精確復(fù)制 ”中，所有需要復(fù)制的工藝參數(shù)會(huì)被記錄在前面談到的 5M+E 清 單中。清單包括的對(duì)象有：（１）機(jī)器（ Machine）：包括設(shè)備的硬件和軟件及設(shè)置 參數(shù)。（２）人力（ Manpower）：得到資格認(rèn)證的設(shè)備操作和維護(hù)人員。（３）物料 （ Material）：需要的直接或間接的物料包括一些輔助物品。（４）測(cè)量 （ Measurement）：用于測(cè)量工藝參數(shù)的檢測(cè)工具和方法，（５）方法（ Method）：設(shè) 備運(yùn)行和維護(hù)的流程，通常有專(zhuān)門(mén)的規(guī)范文檔。（６）環(huán)境（ Environment）：運(yùn)行 設(shè)備所需要的公用設(shè)施和環(huán)境，如水、電、氣，室內(nèi)溫度，顆粒度等。為了對(duì)項(xiàng)目 階段性成果或最終成果的質(zhì)量狀況作出判斷，需要采集相關(guān)的數(shù)據(jù)，而采集數(shù)據(jù)的 必要手段是量測(cè)。因此，在項(xiàng)目的質(zhì)量管理過(guò)程中，必須具備必要的量測(cè)儀器或手 段，且需要保證量測(cè)設(shè)備或手段的可靠性和準(zhǔn)確性。同時(shí)需要設(shè)計(jì)合理的量測(cè)方案。 5M+E 文檔涵蓋了對(duì)質(zhì)量控制可能產(chǎn)生影響的六大因素。 其次，在項(xiàng)目的研發(fā)階段，就要考慮到 “精確復(fù)制 ”的可行性。例如在把技術(shù) 從研發(fā)部門(mén)轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)工廠的項(xiàng)目中，研發(fā)工廠在保證所設(shè)計(jì)的工藝流程性能和可 靠性的同時(shí)，也應(yīng)確保其能適應(yīng)大批量生產(chǎn)。項(xiàng)目開(kāi)發(fā)階段是決定項(xiàng)目質(zhì)量的關(guān)鍵 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第四章 “精確復(fù)制 ”的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 第 35 頁(yè) 環(huán)節(jié)，在這一階段，項(xiàng)目的質(zhì)量目標(biāo)和水平將通過(guò)對(duì)項(xiàng)目的策劃、研究、構(gòu)思、設(shè) 計(jì)和描繪而得以具體體現(xiàn)。 “質(zhì)量是設(shè)計(jì)出來(lái)的，而不是加工出來(lái) ”，這準(zhǔn)確反映了 項(xiàng)目開(kāi)發(fā)階段對(duì)項(xiàng)目質(zhì)量形成的重要性。 在此基礎(chǔ)上，就可以根據(jù)各行業(yè)的自身特點(diǎn)來(lái)制定各自的 5M+E 清單。當(dāng)然 5M+E 清單并不是越全面越好，需要復(fù)制的項(xiàng)目越多，時(shí)間和費(fèi)用就會(huì)上升。而且有的項(xiàng) 目可能不一定需要復(fù)制，比如機(jī)器的顏色，生產(chǎn)線上所用的桌、椅等。像桌、椅的 話，在半導(dǎo)體行業(yè)，只要滿足防靜電的要求且符合人體工學(xué)就可以了。通常 5M+E 清單由各領(lǐng)域的專(zhuān)家、工程師及相關(guān)管理人員來(lái)制定。在這張清單中應(yīng)包括所有可 能對(duì)質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生直接或間接影響的因素，如芯片生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、冷卻水的溫度、 流量等。當(dāng)然，人們應(yīng)該以發(fā)展的眼光來(lái)對(duì)待 5M+E 檢查表。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步 和工藝的不斷改進(jìn)，以前一些不重要的因素可能會(huì)對(duì)質(zhì)量產(chǎn)生重要的影響，反之亦 然。 另外如何確認(rèn)需要復(fù)制的項(xiàng)目，即如何抓住復(fù)制項(xiàng)的實(shí)質(zhì)，也是非常重要的。 比如在 5M+E 文檔中有人員這一項(xiàng)，那么如何保證兩邊的人員（研發(fā)工廠和量產(chǎn)工 廠）對(duì)質(zhì)量控制的影響是一樣的呢？是否需要招聘國(guó)外的操作人員來(lái)中國(guó)工作呢？ 答案顯然是否定的。在這里復(fù)制的關(guān)鍵點(diǎn)是人員培訓(xùn)的課程和資格認(rèn)證程序。如果 使用一樣的培訓(xùn)材料對(duì)人員進(jìn)行培訓(xùn)，采用一樣的資格認(rèn)證程序?qū)θ藛T進(jìn)行認(rèn)證， 那么可以認(rèn)為兩邊得到同樣資格認(rèn)證的人員對(duì)質(zhì)量控制的影響是一樣的。 有了 5M+E 清單后，就可進(jìn)行生產(chǎn)流水線的復(fù)制。然后用前面談到序貫檢驗(yàn)方 法或其它統(tǒng)計(jì)方法來(lái)檢測(cè)新設(shè)備的工藝特性是否和參照設(shè)備匹配，從而保證新生產(chǎn) 線的工藝特性和研發(fā)工廠在統(tǒng)計(jì)意義上是一樣的。這樣，研發(fā)工廠的生產(chǎn)質(zhì)量就被 “精確復(fù)制 ”到了量產(chǎn)工廠。 項(xiàng)目質(zhì)量與項(xiàng)目所采用的技術(shù)是密切相關(guān)的。這里所指的技術(shù)包括專(zhuān)業(yè)技術(shù)、 實(shí)施方法和管理技術(shù)等。合理的技術(shù)方案，加上科學(xué)、完善的管理，才能使項(xiàng)目質(zhì) 量得以保證；如果技術(shù)方案選擇不合理，管理再完善也難以保證項(xiàng)目質(zhì)量。因此， 技術(shù)是保證項(xiàng)目質(zhì)量的基礎(chǔ)，質(zhì)量管理是實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)的重要途徑，兩者同等 重要。 “ 精確復(fù)制 ” 實(shí)施的保證 組織文化的支持