【正文】 2 ... 20 1 2 3 ... n OverallAvg: a c e ?runrun b d f 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗收概覽 第 29 頁 三個層面： 批次定義： 50 個產(chǎn)品一批（一個產(chǎn)品有若干測量值）。 取樣計劃：每個批次 2 個產(chǎn)品，每個產(chǎn)品 10 個測量值 批次數(shù)據(jù)統(tǒng)計： 批次和批次 : 平均 產(chǎn)品和產(chǎn)品 : 把每批中 2 個產(chǎn)品數(shù)據(jù)取平均值，然后再對所有批次的這個均值進行 2 個產(chǎn)品均值的標準偏差（ std dev） 產(chǎn)品中 : 先取每個產(chǎn)品中 10 個測量值的標準偏差 std dev，然后再求每批中 2 個 產(chǎn)品的這個數(shù)據(jù)的均值。 檢驗： Run to run: 批次和批次間 Unit to unit: 產(chǎn)品和產(chǎn)品 Within unit: 產(chǎn)品中 參照數(shù)據(jù)計算如表７所示。 表７ 參照設(shè)備層面三數(shù)據(jù)計算 Reference value calculations: a. Overall Run Avg： b. Run Avg ?runrun： 計算所有 n 個批次均值的平均值 計算 n 個批次平均值的標準偏差 c. Avg. UTU stdev： 計算 n 個批次產(chǎn)品和產(chǎn)品之間標準偏差的平均值 d. UTU ?runrun： 計算 n 個批次產(chǎn)品和產(chǎn)品之間（ UTU）偏差的標準偏差 e. f. Avg WIU Stdev： WIU ?runrun： 計算 n 個批次產(chǎn)品中（ WIU）的偏差的平均值 計算 n 個批次產(chǎn)品中（ WIU）偏差的標準偏值 Quality Characteristic Measurement Method Ideal Target Present Mean Present . Expected Change 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗收概覽 第 30 頁 3）把參照設(shè)備的歷史數(shù)據(jù)基線記錄在初始白皮書 PWP 的相關(guān)表格中。 下表８是用于記錄參照設(shè)備主要工藝參數(shù)的質(zhì)量特性表。在本表中包括了各項 質(zhì)量特性，檢測的方式，理想的目標值，現(xiàn)在參照設(shè)備基準數(shù)據(jù)的均值和標準偏差 等項目。 表８ 參照設(shè)備質(zhì)量特征數(shù)據(jù) TABLE QUALITY CHARACTERISTICS 記錄更新 5M+E 的檢查清單 5M+E 檢查清單包括如下幾個方面 : 機器（ Machine）：包括設(shè)備的硬件和軟件及設(shè)置參數(shù)。 人力（ Manpower）：得到資格認證的設(shè)備操作和維護人員 。 物料（ Material）：需要的直接或間接的物料包括一些輔助物品。 測量（ Measurement）：用于測量工藝參數(shù)的檢測工具。 方法（ Method）：設(shè)備運行和維護的流程。通常有專門的規(guī)范文檔。 環(huán)境（ Environment）：運行設(shè)備所需要的公用設(shè)施和環(huán)境，如水、電、氣，室內(nèi)溫 度，顆粒度等 。 5M+E 檢查清單通常在研發(fā)階段由相關(guān)技術(shù)專家制定，并在實際使用中不斷得到 完善。 5M+E 檢查清單不但涵蓋了設(shè)備的參數(shù)設(shè)置等數(shù)據(jù)，同時也包括了設(shè)備所要用 到的水、電、氣等共用設(shè)施，本設(shè)備要用到的檢測工具等重要信息，而這些信息在 項目的啟動階段就須準備好。 驗收計劃的審閱和批準 在 PWP（初始白皮書）中定義驗收計劃，并把 PWP 提交給 JET/CCB（聯(lián)合工程 師團隊／更改控制委員會）審閱，批準。 設(shè)備驗收計劃在提交給 CCB（更改控制委員會）之前，會先由 JET（聯(lián)合工 程師團隊）進行審閱。 在白皮書中需對參照設(shè)備進行說明。 配置一樣的每一臺設(shè)備都要有一個驗收計劃。 實驗 實驗材料 材料數(shù)量 需檢測的工藝因素 干擾因素 質(zhì)量特性檢測 接受的標準 1 2 3 4 5 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗收概覽 第 31 頁 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 PWP（初始白皮書）中驗收計劃示例： 實驗策略表，見表 9。 表９ 實驗策略表 ２、實驗詳細情況 在白皮書中，針對實驗策略表中的每一個實驗都會有詳細的說明。它包括： 目的 １、實驗?zāi)繕? ２、實驗材料的選擇和理由 ３、實驗設(shè)計 ４、 ?風(fēng)險， ?風(fēng)險，技術(shù)層面的 ?， d= ?/?，檢測每一個質(zhì)量特性的樣本大小 ５、樣本的選擇 ６、測量的方式 ７、實驗流程 ８、統(tǒng)計分析的方法 按驗收計劃對設(shè)備進行驗收 當 PWP（初始白皮書）被批準后，就可按照白皮書中定義的驗收計劃對設(shè)備進 行驗收。通常驗收的步驟包括： 一、根據(jù) 5M+E 檢查清單對機器參數(shù)進行逐項確認 二、對檢測設(shè)備和工具進行匹配檢驗。 1） 把產(chǎn)品放到已驗收合格的機器或工具上進行測量，收集數(shù)據(jù)。 2） 把同一產(chǎn)品放到要驗收的機器或工具上進行測量，收集數(shù)據(jù)并分析以確認要驗 收的機器或工具的測量能力和已驗收合格的機器或工具在統(tǒng)計意義上是匹配的。 三、收集驗收設(shè)備的數(shù)據(jù)并作決定。 第三章 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗收概覽 第 32 頁 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 1）對監(jiān)控數(shù)據(jù)進行序貫檢驗，如圖 26 所示。 ? ? ? ? 用序貫檢驗方法對監(jiān)控數(shù)據(jù)進行分析，確認是否和參照設(shè)備匹配。 序貫檢驗的優(yōu)點是在數(shù)據(jù)收集的過程中，可在得到每一個批次的數(shù)據(jù)后做出決 定，從而可較早的發(fā)現(xiàn)有問題的設(shè)備或接受符合要求的設(shè)備。 圖 26 序貫檢驗示意圖 (均值 ) Sequential test diagram (mean) 如設(shè)備的均值測試都通過且沒有失敗的變化檢驗，則認為設(shè)備通過序貫檢驗。 穩(wěn)定性檢驗會在設(shè)備驗收后進行，以進一步確認新設(shè)備是穩(wěn)定的。同時也可作 為將來新設(shè)備的參照。 2）審閱總體產(chǎn)品質(zhì)量檢測結(jié)果 對產(chǎn)品進行全面的質(zhì)量檢驗，并對結(jié)果進行分析。 提交 FWP（最終白皮書） 提交 FWP（最終白皮書）給 JET/CCB（聯(lián)合工程師團隊／更改控制委員會）進行 最后的審閱，批準。 一、每一臺新設(shè)備都需要提交一份最終白皮書。 二、在白皮書中應(yīng)包括所有的重要數(shù)據(jù)和圖表。 三、記錄結(jié)論。 １）對所有異常的曲線走向和數(shù)據(jù)點進行說明和解釋并解決。 ２）對經(jīng)驗教訓(xùn)進行總結(jié)。 下面給出了一張在 FWP（最終白皮書）中的質(zhì)量特性總結(jié)表，見表 10。這張表對 設(shè)備驗收數(shù)據(jù)的分析結(jié)果進行匯總，并對異常做出說明。 Quality Characteristic Ideal Target POR Mean POR StdDev ?(from PWP) Accept Criteria New Mean New StdDev Result 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 “精確復(fù)制 ”中的設(shè)備驗收概覽 第 33 頁 第三章 表 10 新設(shè)備質(zhì)量特征數(shù)據(jù)總結(jié) Quality Characteristics Summary Conclusions: (對結(jié)果或異常情況做出說明 ) 穩(wěn)定性檢驗 進行穩(wěn)定性檢驗： 30 個批次的產(chǎn)品數(shù)據(jù)。由于在設(shè)備驗收階段收集的數(shù)據(jù)有限， 所以在設(shè)備驗收合格用于正式生產(chǎn)后，還會繼續(xù)收集 30 個批次的產(chǎn)品數(shù)據(jù)并做出 趨勢圖和控制曲線，從而確認設(shè)備是否穩(wěn)定。 ② ② 第三章同時參考了 Process Matching Handbook Revision for ATM. . 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第四章 “精確復(fù)制 ”的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 第 34 頁 第四章 “ 精確復(fù)制 ” 的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 英特爾公司的 “精確復(fù)制 ”策略為當代的技術(shù)轉(zhuǎn)移項目，比如新建生產(chǎn)流水線 項目，提供了質(zhì)量管理方面的實踐參考，并在平衡項目進度和質(zhì)量方面樹立了典范。 那么，如何才能在國內(nèi)類似項目中有效的推行 “精確復(fù)制 ”策略，使其能在保證質(zhì) 量的前提下，盡量縮短工期呢？ 影響項目質(zhì)量的因素主要有 “人、材料、機械、方法和環(huán)境 ”等五大方面，而 ］ 確復(fù)制 ”策略的原則就是采用科學(xué)的方法，并對 “人、機、物、法、環(huán) ”幾方面進 行嚴格控制，從而使項目的質(zhì)量和進度得到有效保證。下面會從技術(shù)層面，企業(yè)文 化建設(shè)，組織管理，人員培訓(xùn)等幾個方面對 “精確復(fù)制 ”的關(guān)鍵所在，實施保證進 行深入分析、探討，以期為這一策略的推廣應(yīng)用提供借鑒。 從技術(shù)層面看 “ 精確復(fù)制 ” 的關(guān)鍵 一樣的輸入，一樣的工藝流程，就應(yīng)有一樣的輸出?；谶@一理念， “精確復(fù) 制 ”通過復(fù)制成功生產(chǎn)流水線的工藝參數(shù)，并運用統(tǒng)計學(xué)方法驗證其具有一樣的工 藝特性，從而確保不同生產(chǎn)線輸出產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。 在 “精確復(fù)制 ”中，所有需要復(fù)制的工藝參數(shù)會被記錄在前面談到的 5M+E 清 單中。清單包括的對象有：（１）機器（ Machine）：包括設(shè)備的硬件和軟件及設(shè)置 參數(shù)。（２）人力（ Manpower）：得到資格認證的設(shè)備操作和維護人員。（３）物料 （ Material）：需要的直接或間接的物料包括一些輔助物品。（４）測量 （ Measurement）：用于測量工藝參數(shù)的檢測工具和方法，（５）方法（ Method）：設(shè) 備運行和維護的流程，通常有專門的規(guī)范文檔。（６）環(huán)境（ Environment）：運行 設(shè)備所需要的公用設(shè)施和環(huán)境，如水、電、氣，室內(nèi)溫度，顆粒度等。為了對項目 階段性成果或最終成果的質(zhì)量狀況作出判斷，需要采集相關(guān)的數(shù)據(jù)，而采集數(shù)據(jù)的 必要手段是量測。因此，在項目的質(zhì)量管理過程中，必須具備必要的量測儀器或手 段，且需要保證量測設(shè)備或手段的可靠性和準確性。同時需要設(shè)計合理的量測方案。 5M+E 文檔涵蓋了對質(zhì)量控制可能產(chǎn)生影響的六大因素。 其次，在項目的研發(fā)階段，就要考慮到 “精確復(fù)制 ”的可行性。例如在把技術(shù) 從研發(fā)部門轉(zhuǎn)移到量產(chǎn)工廠的項目中，研發(fā)工廠在保證所設(shè)計的工藝流程性能和可 靠性的同時，也應(yīng)確保其能適應(yīng)大批量生產(chǎn)。項目開發(fā)階段是決定項目質(zhì)量的關(guān)鍵 上海交通大學(xué)工程碩士學(xué)位論文 第四章 “精確復(fù)制 ”的內(nèi)涵及其推廣應(yīng)用 第 35 頁 環(huán)節(jié)，在這一階段，項目的質(zhì)量目標和水平將通過對項目的策劃、研究、構(gòu)思、設(shè) 計和描繪而得以具體體現(xiàn)。 “質(zhì)量是設(shè)計出來的，而不是加工出來 ”，這準確反映了 項目開發(fā)階段對項目質(zhì)量形成的重要性。 在此基礎(chǔ)上，就可以根據(jù)各行業(yè)的自身特點來制定各自的 5M+E 清單。當然 5M+E 清單并不是越全面越好，需要復(fù)制的項目越多，時間和費用就會上升。而且有的項 目可能不一定需要復(fù)制，比如機器的顏色，生產(chǎn)線上所用的桌、椅等。像桌、椅的 話，在半導(dǎo)體行業(yè)，只要滿足防靜電的要求且符合人體工學(xué)就可以了。通常 5M+E 清單由各領(lǐng)域的專家、工程師及相關(guān)管理人員來制定。在這張清單中應(yīng)包括所有可 能對質(zhì)量會產(chǎn)生直接或間接影響的因素，如芯片生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、冷卻水的溫度、 流量等。當然，人們應(yīng)該以發(fā)展的眼光來對待 5M+E 檢查表。隨著科學(xué)技術(shù)的進步 和工藝的不斷改進，以前一些不重要的因素可能會對質(zhì)量產(chǎn)生重要的影響，反之亦 然。 另外如何確認需要復(fù)制的項目，即如何抓住復(fù)制項的實質(zhì)，也是非常重要的。 比如在 5M+E 文檔中有人員這一項，那么如何保證兩邊的人員（研發(fā)工廠和量產(chǎn)工 廠）對質(zhì)量控制的影響是一樣的呢？是否需要招聘國外的操作人員來中國工作呢？ 答案顯然是否定的。在這里復(fù)制的關(guān)鍵點是人員培訓(xùn)的課程和資格認證程序。如果 使用一樣的培訓(xùn)材料對人員進行培訓(xùn)，采用一樣的資格認證程序?qū)θ藛T進行認證， 那么可以認為兩邊得到同樣資格認證的人員對質(zhì)量控制的影響是一樣的。 有了 5M+E 清單后，就可進行生產(chǎn)流水線的復(fù)制。然后用前面談到序貫檢驗方 法或其它統(tǒng)計方法來檢測新設(shè)備的工藝特性是否和參照設(shè)備匹配，從而保證新生產(chǎn) 線的工藝特性和研發(fā)工廠在統(tǒng)計意義上是一樣的。這樣，研發(fā)工廠的生產(chǎn)質(zhì)量就被 “精確復(fù)制 ”到了量產(chǎn)工廠。 項目質(zhì)量與項目所采用的技術(shù)是密切相關(guān)的。這里所指的技術(shù)包括專業(yè)技術(shù)、 實施方法和管理技術(shù)等。合理的技術(shù)方案，加上科學(xué)、完善的管理，才能使項目質(zhì) 量得以保證；如果技術(shù)方案選擇不合理，管理再完善也難以保證項目質(zhì)量。因此， 技術(shù)是保證項目質(zhì)量的基礎(chǔ)，質(zhì)量管理是實現(xiàn)項目質(zhì)量目標的重要途徑，兩者同等 重要。 “ 精確復(fù)制 ” 實施的保證 組織文化的支持