【正文】 接件等微機械。 1965年，斯坦福大學研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯 微鏡、微型傳感器方面取得成功。 1987年美國加州大學伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為 60～ 12μm的利用硅微型靜電機，顯示出利用硅微 加工工藝制造小可動結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。 微型機械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學校與研究 機構(gòu)的高度重視。美國 MIT、 Ber keley、 Stanford\ATT的 15名科學家在上世紀八十年代末提出 小機器、大機遇：關(guān)于新興領(lǐng)域 微動 力學的報告 的國家建議書，聲稱 由于微動力學 (微系統(tǒng) )在美國的緊迫性，應(yīng)在這樣一個新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競爭中走在 前面 ，建議中央財政預支費用為五年 5000萬美元，得到美國領(lǐng)導機構(gòu)重視，連續(xù)大力投資，并把航空航天、信息和 MEMS作為科技發(fā)展 的三大重點。美國宇航局投資 1億美元著手研制 發(fā)現(xiàn)號微型衛(wèi)星 ，美國國家科學基金會把 M EMS作為一個新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助 微型電子機械系統(tǒng)的研究的計劃，從 1998年開始，資助 MIT，加州大學等 8所大學和貝爾實驗室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)，年資助額 從 100萬、 200萬加到 1993年的 500萬美元。 1994年發(fā)布的《美國國防部技術(shù)計劃》報告，把 M EMS列為關(guān)鍵技術(shù)項目。美國國防部高級研 究計劃局積極領(lǐng)導和支持 MEMS的研究和軍事應(yīng)用，現(xiàn)已建成一條 MEM S標準工藝線以促進新型元件 /裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致 力于傳感器、位移傳感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機構(gòu)參加了微型機械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學、斯坦 福大學、加州大學伯克利分校、密執(zhí)安大學、威斯康星大學、老倫茲得莫爾國家研究等。加州大學伯克利傳感器和執(zhí)行器中心 ( BSAC) 得到國防部和十幾家公司資助 1500萬元后，建立了 1115m2研究開發(fā) MEMS的超凈實驗室。 日本通產(chǎn)省 1991年開始啟動一項為期 10年 、耗資 250億日元的微型大型研究計劃，研制兩臺樣機，一臺用于醫(yī)療、進入人體進行診斷和微型手術(shù)，另一臺用于工業(yè)，對飛機發(fā)動 機和原子能設(shè)備的微小裂紋實施維修。該計劃有筑波大學、東京工業(yè)大學、東北大學、早稻田大學和富士通研究所等幾十家單位參加 。 歐洲工業(yè)發(fā)達國家也相繼對微型系統(tǒng)的研究開發(fā)進行了重點投資，德國自 1988年開始微加工十年計劃項目，其科技部于 1990～ 1993年撥款 4萬馬克支持 微系統(tǒng)計劃 研究，并把微系統(tǒng)列為本世紀初科技發(fā)展的重點，德國首創(chuàng)的 LIGA工藝，為 MEMS的發(fā)展提供了新 的技術(shù)手段，并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國 1993年啟動的 7000萬法郎的 微系統(tǒng)與技術(shù) 項目。歐共體組成 多功能微系統(tǒng)研 究網(wǎng)絡(luò) NEXUS，聯(lián)合協(xié)調(diào) 46個研究所的研究。瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精密機械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了 MEMS的開發(fā)工作， 1992年投資為 1000萬美元。英國政府也制訂了納米科學計劃。在機械、光學、電子學等領(lǐng)域列出 8個項目進行研究與開發(fā)。為了加強歐 洲開發(fā) MEMS的力量，一些歐洲公司已組成 MEMS開發(fā)集團。 目前已有大量的微型機械或微型系統(tǒng)被研究出來，例如：尖端直徑為 5 μm的微型鑷子可以夾起一個紅血球，尺寸為 7mm 7mm 2mm的微型泵流量可達 250μl/min能開動汽車，在磁場中飛行的機器蝴蝶，以 及集微型速度計、微型陀螺和信號處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合 (MIM U)。德國創(chuàng)造了 LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機構(gòu)以及微型 泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學器件。美國加州理工學院在飛機翼面粘上相當數(shù)量的 1mm的微梁，控制其彎曲角度以影 響飛機的空氣動力學特性。美國大批量生產(chǎn)的硅加速度計把微型傳感器 (機械部分 )和集成電路 (電信號源、放大器、信號處理和正檢正 電路等 )一起集成在硅片上 3mm 3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達 。 工藝基礎(chǔ)的基 本概念。雅斯貝而斯曾說： “如果歷史有一個軸心，那么我們就必須將這軸心作為一系列對全部人類都有意義的事件， …… 發(fā)生于公元前 800至 200年間的這種精神歷程似乎構(gòu)成了這樣一個軸心。 本文檔下載后可以修改編輯，歡迎下載收藏。 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 , January 21, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1以我獨沈久，愧君相見頻。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1故人江海別，幾度隔山川。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1乍見翻疑夢，相悲各問年。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時 37分 34秒 03:37: 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 1月 上午 3時 37分 :37January 21, 2023 1行動出成果，工作出財富。 2023年 1月 21日星期六 3時 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點的射線向前。 上午 3時 37分 34秒 上午 3時 37分 03:37: 沒有失敗，只有暫時停止成功！。 , January 21, 2023 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1成功就是日復一日那一點點小小努力的積累。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時 37分 34秒 03:37: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 1月 上午 3時 37分 :37January 21, 2023 1少年十五二十時，步行奪得胡馬騎。 2023年 1月 21日星期六 3時 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來秋。 上午 3時 37分 34秒 上午 3時 37分 03:37: 楊柳散和風，青山澹吾慮。 , January 21, 2023 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1意志堅強的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時 37分 34秒 03:37: 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 1月 上午 3時 37分 :37January 21, 2023 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 1月 21日星期六 3時 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強不息。 上午 3時 37分 34秒 上午 3時 37分 03:37: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感 謝 您 的 下 載 觀 看 專家告訴 演講完畢，謝謝觀看！