【正文】 接件等微機(jī)械。 1965年，斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯 微鏡、微型傳感器方面取得成功。 1987年美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為 60～ 12μm的利用硅微型靜電機(jī)，顯示出利用硅微 加工工藝制造小可動(dòng)結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。 微型機(jī)械在國(guó)外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究 機(jī)構(gòu)的高度重視。美國(guó) MIT、 Ber keley、 Stanford\ATT的 15名科學(xué)家在上世紀(jì)八十年代末提出 小機(jī)器、大機(jī)遇：關(guān)于新興領(lǐng)域 微動(dòng) 力學(xué)的報(bào)告 的國(guó)家建議書，聲稱 由于微動(dòng)力學(xué) (微系統(tǒng) )在美國(guó)的緊迫性，應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國(guó)家的競(jìng)爭(zhēng)中走在 前面 ，建議中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年 5000萬美元，得到美國(guó)領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視，連續(xù)大力投資，并把航空航天、信息和 MEMS作為科技發(fā)展 的三大重點(diǎn)。美國(guó)宇航局投資 1億美元著手研制 發(fā)現(xiàn)號(hào)微型衛(wèi)星 ，美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)把 M EMS作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助 微型電子機(jī)械系統(tǒng)的研究的計(jì)劃，從 1998年開始，資助 MIT，加州大學(xué)等 8所大學(xué)和貝爾實(shí)驗(yàn)室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)，年資助額 從 100萬、 200萬加到 1993年的 500萬美元。 1994年發(fā)布的《美國(guó)國(guó)防部技術(shù)計(jì)劃》報(bào)告，把 M EMS列為關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目。美國(guó)國(guó)防部高級(jí)研 究計(jì)劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和支持 MEMS的研究和軍事應(yīng)用，現(xiàn)已建成一條 MEM S標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促進(jìn)新型元件 /裝置的研究與開發(fā)。美國(guó)工業(yè)主要致 力于傳感器、位移傳感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機(jī)構(gòu)參加了微型機(jī)械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學(xué)、斯坦 福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校、密執(zhí)安大學(xué)、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國(guó)家研究等。加州大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心 ( BSAC) 得到國(guó)防部和十幾家公司資助 1500萬元后，建立了 1115m2研究開發(fā) MEMS的超凈實(shí)驗(yàn)室。 日本通產(chǎn)省 1991年開始啟動(dòng)一項(xiàng)為期 10年 、耗資 250億日元的微型大型研究計(jì)劃，研制兩臺(tái)樣機(jī)，一臺(tái)用于醫(yī)療、進(jìn)入人體進(jìn)行診斷和微型手術(shù)，另一臺(tái)用于工業(yè)，對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng) 機(jī)和原子能設(shè)備的微小裂紋實(shí)施維修。該計(jì)劃有筑波大學(xué)、東京工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)、早稻田大學(xué)和富士通研究所等幾十家單位參加 。 歐洲工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家也相繼對(duì)微型系統(tǒng)的研究開發(fā)進(jìn)行了重點(diǎn)投資，德國(guó)自 1988年開始微加工十年計(jì)劃項(xiàng)目，其科技部于 1990～ 1993年撥款 4萬馬克支持 微系統(tǒng)計(jì)劃 研究，并把微系統(tǒng)列為本世紀(jì)初科技發(fā)展的重點(diǎn)，德國(guó)首創(chuàng)的 LIGA工藝，為 MEMS的發(fā)展提供了新 的技術(shù)手段，并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國(guó) 1993年啟動(dòng)的 7000萬法郎的 微系統(tǒng)與技術(shù) 項(xiàng)目。歐共體組成 多功能微系統(tǒng)研 究網(wǎng)絡(luò) NEXUS，聯(lián)合協(xié)調(diào) 46個(gè)研究所的研究。瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精密機(jī)械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了 MEMS的開發(fā)工作， 1992年投資為 1000萬美元。英國(guó)政府也制訂了納米科學(xué)計(jì)劃。在機(jī)械、光學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域列出 8個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行研究與開發(fā)。為了加強(qiáng)歐 洲開發(fā) MEMS的力量，一些歐洲公司已組成 MEMS開發(fā)集團(tuán)。 目前已有大量的微型機(jī)械或微型系統(tǒng)被研究出來，例如：尖端直徑為 5 μm的微型鑷子可以夾起一個(gè)紅血球，尺寸為 7mm 7mm 2mm的微型泵流量可達(dá) 250μl/min能開動(dòng)汽車，在磁場(chǎng)中飛行的機(jī)器蝴蝶，以 及集微型速度計(jì)、微型陀螺和信號(hào)處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合 (MIM U)。德國(guó)創(chuàng)造了 LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及微型 泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。美國(guó)加州理工學(xué)院在飛機(jī)翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的 1mm的微梁，控制其彎曲角度以影 響飛機(jī)的空氣動(dòng)力學(xué)特性。美國(guó)大批量生產(chǎn)的硅加速度計(jì)把微型傳感器 (機(jī)械部分 )和集成電路 (電信號(hào)源、放大器、信號(hào)處理和正檢正 電路等 )一起集成在硅片上 3mm 3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達(dá) 。 工藝基礎(chǔ)的基 本概念。雅斯貝而斯曾說： “如果歷史有一個(gè)軸心，那么我們就必須將這軸心作為一系列對(duì)全部人類都有意義的事件， …… 發(fā)生于公元前 800至 200年間的這種精神歷程似乎構(gòu)成了這樣一個(gè)軸心。 本文檔下載后可以修改編輯，歡迎下載收藏。 靜夜四無鄰，荒居舊業(yè)貧。 , January 21, 2023 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1以我獨(dú)沈久，愧君相見頻。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1故人江海別，幾度隔山川。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1乍見翻疑夢(mèng)，相悲各問年。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見青山。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時(shí) 37分 34秒 03:37: 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 1月 上午 3時(shí) 37分 :37January 21, 2023 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 2023年 1月 21日星期六 3時(shí) 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 上午 3時(shí) 37分 34秒 上午 3時(shí) 37分 03:37: 沒有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 , January 21, 2023 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無限完美。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時(shí) 37分 34秒 03:37: 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 1月 上午 3時(shí) 37分 :37January 21, 2023 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023年 1月 21日星期六 3時(shí) 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1空山新雨后，天氣晚來秋。 上午 3時(shí) 37分 34秒 上午 3時(shí) 37分 03:37: 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 , January 21, 2023 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。 03:37:3403:37:3403:371/21/2023 3:37:34 AM 1越是沒有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :37:3403:37Jan2321Jan23 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 03:37:3403:37:3403:37Saturday, January 21, 2023 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :37:3403:37:34January 21, 2023 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 21日星期六 上午 3時(shí) 37分 34秒 03:37: 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 1月 上午 3時(shí) 37分 :37January 21, 2023 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 1月 21日星期六 3時(shí) 37分 34秒 03:37:3421 January 2023 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 上午 3時(shí) 37分 34秒 上午 3時(shí) 37分 03:37: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感 謝 您 的 下 載 觀 看 專家告訴 演講完畢，謝謝觀看！