俄歇電子能譜-資料下載頁(yè)
2024-12-31 07:56本頁(yè)面
【正文】 筒鏡分析器（ CMA）。 ? 兩個(gè)同心的圓筒。樣品和內(nèi)筒同時(shí)接地，在外筒上施加一個(gè)負(fù)的偏轉(zhuǎn)電壓，內(nèi)筒上開(kāi)有圓環(huán)狀的電子入口和出口。 ? 激發(fā)電子槍放在鏡筒分析器的內(nèi)腔中，也可以放在鏡筒分析器外。 ? 俄歇電子從入口位置進(jìn)入兩圓筒夾層，因外筒加有偏轉(zhuǎn)電壓，最后使電子從出口進(jìn)入檢測(cè)器。若連續(xù)地改變外筒上的偏轉(zhuǎn)電壓，就可在檢測(cè)器上依次接收到具有不同能量的俄歇電子。 ? 從能量分析器輸出的電子經(jīng)電子倍增器、前置放大器后進(jìn)入脈沖計(jì)數(shù)器，最后由 XY記錄儀或熒光屏顯示俄歇譜 —俄歇電子數(shù)目 N隨電子能量 E的分布曲線(xiàn)。 1rEUr??? ????△ 要求： 不同能量的電子通過(guò)分析器后最大限度地被分離，以便選出某種能量的電子 (色散特性－獲得高分辨率 ) 具有相同能量、不同發(fā)射角的電子要盡可能會(huì)聚于一點(diǎn) (聚焦特性－獲得高靈敏度 )。 上述兩方面要求相互矛盾，應(yīng)根據(jù)具體問(wèn)題 做折衷選擇 半球型 能量分析器 (拒斥場(chǎng)型 ) △ 樣品、 G1接地－－ 形成無(wú)場(chǎng)空間 電子按原有方向前進(jìn) △ G G3接負(fù)電位 Vr－－ 對(duì)電子形成拒斥場(chǎng) △ G4接地－ 減小電場(chǎng)滲透和電位畸變， 提高分辨率 △ 收集極接正高壓－－ 收集電子 收集電子能量 E0 e|Vr| 收集電流 Ic = N(E)dE 高通分析器 :只有能量高于阻擋勢(shì)的粒子才可能被接收 為得到 N(E)：取一次微分 dN(E)/dE: 取兩次微分 缺點(diǎn)：分辨率不高，檢測(cè)靈敏度低 ??0E 俄歇電子有很強(qiáng)的背底噪音 . 微分法 俄歇圖譜采用微分后曲線(xiàn)的負(fù)峰能量 作為俄歇?jiǎng)幽苓M(jìn)行標(biāo)定 主要參數(shù) 〇 能量分辨率 ： 由 CMA決定 絕對(duì)分辨率 : 譜峰的半寬度 Δ E (FWHM) 相對(duì)分辨率 : R=(Δ E/Eo) 100% （ Eo:通過(guò)分析器后電子的能量峰值） 分辨本領(lǐng)： Eo/Δ E 通常： Δ E： 510eV。 Eo:10002023eV。 R % 空間分辨率 ：由電子槍最小束斑決定， 目前一般 商品掃描俄歇的最小束斑直徑小于 500A。采用場(chǎng)發(fā) 射俄歇電子槍束斑直徑可以小于 60A。 厚度分辨率 ： 5－ 30197。 ? 〇 靈敏度 ? 絕對(duì)靈敏度 :最小可檢測(cè)量 (以克表示 ) – 相對(duì)靈敏度：最低檢測(cè)濃度－－ – 從多組分樣品中檢測(cè)出某種元素的比例 – (用百分濃度或 ppm、 ppb表示 ) ? ? 影響檢測(cè)的靈敏度主要因素：儀器傳輸率T和信噪比 傳輸率 T： (Transmission) 當(dāng)入射電子束為單色，并有均勻的角分布時(shí) T = Ω /4π Ω：入射電子的有效立體角 入口立體角大，傳輸率高，靈敏度高 傳輸率與入口和出口縫隙寬度 (半角 Δα)的關(guān)系 T =Δαsinα 0 為兼顧傳輸率與分辨率，一般取 Δα為 6176。 10176。，此時(shí) T = 710％。 信噪比 ： S/N 筒鏡分析器的收集電流為一極窄能量間隔內(nèi)的電流，取得同樣大小信號(hào)， CMA的收集極電流僅為四柵拒斥場(chǎng)分析器的 10－ 4。 IN：散粒噪聲 IC：收集極電流 CMA的散粒噪聲將比四柵拒斥場(chǎng)分析器減小100 倍，信噪比提高 2個(gè)量級(jí)。 具有筒鏡能量分析器的 AES，其檢測(cè)靈敏度為%量級(jí)，即 1000ppm 。 cN II ? 逸出深度范圍小 1nm 空間分辨率小 10nm 和離子刻蝕結(jié)合可以分析深度成分分析 要求高真空。 定量分析不是很準(zhǔn)確。 俄歇電子能譜的特點(diǎn)： 思考題 ? 俄歇能譜產(chǎn)生的原理 ? 俄歇電子能譜的定性和定量分析依據(jù) ? 俄歇電子能譜的應(yīng)用 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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