【正文】 1800 300*24 2 多線切割機(jī) 750 525 700 300*24 3 剖錠機(jī) 260 182 243 300*24 4 全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷設(shè)備 310 248 331 300*24 5 減反射膜制造設(shè)備PECVD 450 315 420 300*24 6 燒結(jié)爐 600 300 400 300*24 7 單片分篩儀 144 101 134 300*24 8 自動(dòng)焊接機(jī) 220 154 205 300*24 9 擴(kuò)散爐 440 264 352 300*24 10 全自動(dòng)硅片清洗機(jī) 130 91 121 300*24 11 太陽(yáng)能電池層壓機(jī) 264 185 246 300*24 12 全自動(dòng)沖洗甩干機(jī) 240 168 224 300*24 13 等離子體刻蝕機(jī) 190 133 177 300*24 14 制純水設(shè)備 110 66 110 300*24 15 空調(diào)系統(tǒng) 940 564 806 300*16 16 動(dòng)力及輔助工程 275 165 236 300*16 17 合計(jì) 8023 5081 4062 6505 注：設(shè)備需用系數(shù)取自于《工礦企業(yè)電氣工程師手冊(cè)》中需用系數(shù)表。根據(jù)上述估算，無(wú)功補(bǔ)償后，工作時(shí)間為300天。用電設(shè)備有功功率合計(jì)：2694kW。 年用電量W=（5081165564）30024+（564+165）30016=； 折標(biāo)煤量：等價(jià)值==；當(dāng)量值==.建設(shè)項(xiàng)目用水量核算項(xiàng)目用水具體情況見(jiàn)表53。項(xiàng)目用水具體情況 序號(hào) 用水類(lèi)型和指標(biāo) 數(shù)量（m3/年） 1 生產(chǎn)車(chē)間 196500 2 生活用水 7200 3 循環(huán)冷卻補(bǔ)充水 7200 4 道路、綠化等 900 5 不可預(yù)見(jiàn)水量 900 合計(jì) 212700新水：項(xiàng)目設(shè)計(jì)平均日用水量約709t/d，年運(yùn)行天數(shù)以300天計(jì)。年用水量：W=； ：=；建設(shè)項(xiàng)目綜合能耗估算。（等價(jià)）。具體見(jiàn)表54。項(xiàng)目新增用能量表 序號(hào) 能源種類(lèi) 單 位 使用量 折算系數(shù) 折標(biāo)煤(tce) 1 電 萬(wàn)kWh/年 （等價(jià)） （當(dāng)量） t/萬(wàn)kWh 2 新水 萬(wàn)m3/年 / 萬(wàn)m3 3 綜合能耗 tce/年 － 電以等價(jià)值計(jì) 電以當(dāng)量值計(jì) 從表54可知，項(xiàng)目主要能源消耗種類(lèi)為電能，耗能工質(zhì)自來(lái)水對(duì)綜合能耗的貢獻(xiàn)值較小。本項(xiàng)目供電、供水均由義烏市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)專(zhuān)線供給，本項(xiàng)目的能源供應(yīng)是有保障的。項(xiàng)目單位產(chǎn)品綜合能耗計(jì)算本項(xiàng)目單位產(chǎn)品綜合能耗(當(dāng)量值)=247。100=。建設(shè)項(xiàng)目合理用能評(píng)估項(xiàng)目總圖布置方案評(píng)價(jià)本項(xiàng)目總平面設(shè)計(jì)按照《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范》GB5018793和《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（GB500162006）的要求，總圖布置功能分區(qū)明確，工藝流程順暢，人流、貨流應(yīng)分流通暢，環(huán)境安全衛(wèi)生，生產(chǎn)、生活管理方便。在滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝，符合防火安全，衛(wèi)生要求前提下，因地制宜，合理布局，提高土地利用率。重視工廠總圖布置的美觀，充分體現(xiàn)現(xiàn)代工業(yè)建筑的特色。遵照國(guó)家現(xiàn)行的生產(chǎn)安全、管理方便、結(jié)合廠區(qū)現(xiàn)狀因地制宜利用土地，交通運(yùn)輸組織合理，衛(wèi)生條件良好，廠容廠貌美觀大方等。廠區(qū)的生產(chǎn)區(qū)、倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)、輔助區(qū)既相對(duì)獨(dú)立，又緊密結(jié)合，形成一個(gè)有機(jī)的整體布置合理，便于生產(chǎn)管理。變電站設(shè)置在負(fù)荷中心，減少輸配電中的線損率。在工藝生產(chǎn)時(shí)，可以做到緊聯(lián)便捷，動(dòng)力管線短捷，以節(jié)約能量，從而節(jié)約投資。廠區(qū)交通運(yùn)輸組織合理，做到人貨分流。廠區(qū)建筑物朝向基本呈南北朝向，采光通風(fēng)良好。本項(xiàng)目各生產(chǎn)工序平面布局按照正常生產(chǎn)流程設(shè)置，設(shè)備布置合理有序，盡量減少半成品或者中間產(chǎn)品的不合理輸送，合理節(jié)約能源消耗。因此本項(xiàng)目總體布局滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝流程的需要，也符合節(jié)能、安全的要求。主要生產(chǎn)工藝先進(jìn)性評(píng)價(jià)目前，硅系列太陽(yáng)能電池制作工藝技術(shù)一般都采用表面織構(gòu)化、發(fā)射區(qū)鈍化、分區(qū)摻雜等技術(shù)。開(kāi)發(fā)的電池主要有平面單晶硅電池和刻槽埋柵電極單晶硅電池。多晶硅薄膜太陽(yáng)能電池通常是在厚度350～450μm的高質(zhì)量硅片上制成，目前制備多晶硅薄膜電池工藝多采用化學(xué)氣相沉積法，包括：低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）和等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝；液相外延法（LPPE）和濺射沉積法也可用來(lái)制備多晶硅薄膜電池。化學(xué)氣相沉積主要是以SiH2ClSiHClSicl4或SiH4,為反應(yīng)氣體,在一定的保護(hù)氣氛下反應(yīng)生成硅原子并沉積在加熱的襯底上，襯底材料一般選用Si、SiOSi3N4等。但在非硅襯底上很難形成較大的晶粒,并且容易在晶粒間形成空隙。解決這一問(wèn)題辦法是先用LPCVD在襯底上沉熾一層較薄的非晶硅層，再將這層非晶硅層退火，得到較大的晶粒，然后再在這層籽晶上沉積厚的多晶硅薄膜，因此，再結(jié)晶技術(shù)無(wú)疑是很重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，目前采用的技術(shù)主要有固相結(jié)晶法和中區(qū)熔再結(jié)晶法。多晶硅薄膜電池除采用了再結(jié)晶工藝外，另外采用了幾乎所有制備單晶硅太陽(yáng)能電池的技術(shù)，這樣制得的太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率明顯提高。德國(guó)費(fèi)萊堡太陽(yáng)能研究所采用區(qū)館再結(jié)晶技術(shù)在FZ Si襯底上制得的多晶硅電池轉(zhuǎn)換效率為19％，日本三菱公司用該法制備電池，%。 液相外延（LPE）法的原理是通過(guò)將硅熔融在母體里，降低溫度析出硅膜。％。中國(guó)光電發(fā)展技術(shù)中心的陳哲良采用液相外延法在冶金級(jí)硅片上生長(zhǎng)出硅晶粒，并設(shè)計(jì)了一種類(lèi)似于晶體硅薄膜太陽(yáng)能電池的新型太陽(yáng)能電池，稱(chēng)之為“硅粒”太陽(yáng)能電池，但有關(guān)性能方面的報(bào)道還未見(jiàn)到。 多晶硅薄膜電池由于所使用的硅遠(yuǎn)較單晶硅少，又無(wú)效率衰退問(wèn)題，并且有可能在廉價(jià)襯底材料上制備，其成本遠(yuǎn)低于單晶硅電池。本項(xiàng)目生產(chǎn)線主要工藝采用離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝和固相結(jié)晶法生產(chǎn)太陽(yáng)能電池片。多晶硅薄膜電池除采用了再結(jié)晶工藝外，采用了幾乎所有制備單晶硅太陽(yáng)能電池的技術(shù)。項(xiàng)目具有生產(chǎn)過(guò)程能耗低、單晶硅太陽(yáng)電池和多晶硅太陽(yáng)電池的協(xié)調(diào)生產(chǎn)；同時(shí)項(xiàng)目投資方掌握了較好的太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化技術(shù)，平均轉(zhuǎn)換率達(dá)到18%以上，技術(shù)成熟，體現(xiàn)了低成本、低能耗、高轉(zhuǎn)換效率的特點(diǎn)。項(xiàng)目主要用能系統(tǒng)節(jié)能評(píng)估主要用能設(shè)備評(píng)估本項(xiàng)目在設(shè)備選用上，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用國(guó)內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備。對(duì)設(shè)備基本要求一是配備先進(jìn)，自動(dòng)化程度高，生產(chǎn)連續(xù)性好，提高單機(jī)自動(dòng)化水平、增加批次裝片量、提高單機(jī)生產(chǎn)效率和設(shè)備能效；二是性能可靠，環(huán)保節(jié)能；操作方便，適應(yīng)性強(qiáng)，尤其是適合大尺寸、薄硅片的工藝技術(shù)設(shè)備，以節(jié)約硅材料降低成本；三是具有先進(jìn)的檢測(cè)功能和網(wǎng)絡(luò)內(nèi)外的雙向交流功能；四是在生產(chǎn)線中，提高自動(dòng)化水平，設(shè)備間機(jī)械手自動(dòng)傳送、在線檢測(cè)、提高整線生產(chǎn)效率，減少人工干預(yù)，降低碎片率?？傮w上，本項(xiàng)目絕大部分用能設(shè)備均為行業(yè)內(nèi)先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備，有效提高了能源和原輔材料的利用效率。（1）本項(xiàng)目采用的多晶硅鑄錠爐主要用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅錠的大生產(chǎn)，它采用先進(jìn)的多晶硅定向凝固技術(shù)，將硅料高溫熔融后通過(guò)特殊工藝定向冷凝結(jié)晶，從而達(dá)到太陽(yáng)能電池生產(chǎn)用多晶硅品質(zhì)的要求。是一種適用于長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，高精度、高可靠性、自動(dòng)化程度高的智能化大生產(chǎn)設(shè)備。該爐是一種高效節(jié)能型熔硅鑄錠爐，采用石墨電阻加熱方式，運(yùn)用先進(jìn)計(jì)算機(jī)控制技術(shù)，通過(guò)加熱、溶解、成長(zhǎng)、退火、冷卻等工作程序,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步定向凝固，生產(chǎn)出高質(zhì)量、大規(guī)格的多晶硅錠。主要技術(shù)參數(shù):產(chǎn)品尺寸：840*840*280(mm)最大裝料：450(Kg)保溫罩最大行程：350(mm)下?tīng)t體最大行程：900(mm) 冷爐極限真空度： (Pa)允許漏氣率：5 (Pa/h)定向結(jié)晶速度：(cm/h)腔體內(nèi)徑：1840(mm)主體外形尺寸：4300*4000*4500(mm)（2）本項(xiàng)目采用日本進(jìn)口先進(jìn)的全自動(dòng)多線切割機(jī)。該設(shè)備采用精密主軸制造技術(shù)，精密滾動(dòng)導(dǎo)軌技術(shù)，線絲恒張緊力自動(dòng)控制技術(shù)，排線導(dǎo)輪的制造、翻新及耐用度技術(shù)，并通過(guò)對(duì)砂漿供給系統(tǒng)的研究和應(yīng)用，具備了先進(jìn)的雙向正反切割兩根300毫米多晶硅、單晶硅的性能，與過(guò)去采用內(nèi)圓切割技術(shù)相比，具有翹曲度小、平行度好、總厚度公差離散性小、刃口切割損耗小、表面損傷層淺、硅片表面粗糙度低等優(yōu)點(diǎn)，且一臺(tái)全自動(dòng)硅片多線切片機(jī)的生產(chǎn)能力相當(dāng)于幾十臺(tái)內(nèi)圓切片機(jī)的生產(chǎn)能力，從而使硅片切割表面精度、質(zhì)量、切割效率、機(jī)床穩(wěn)定性等性能指標(biāo)處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。主要技術(shù)參數(shù)：最大可加工工件的尺寸：156長(zhǎng)300mm 同時(shí)可切2根125長(zhǎng)300mm 同時(shí)可切2根鋼絲行走方式：具有往復(fù)（雙向）走線和單向走線的功能鋼絲線速度：最大1000m/min切片方式（進(jìn)給）：下切方式切片進(jìn)給速度：～快速進(jìn)給、快速退回速度：50～500m/min最大鋼絲線存儲(chǔ)量：300km/每卷主機(jī)尺寸：約2700mm（寬）1750（進(jìn)深）2530mm（高）主機(jī)重量：約5000kg噪音：80分貝以下（3）本項(xiàng)目采用的是意大利進(jìn)口的全自動(dòng)太陽(yáng)能電池片印刷設(shè)備及測(cè)試分選設(shè)備。意大利Baccini股份有限公司在80年代初期開(kāi)創(chuàng)性地將絲網(wǎng)印刷用于制造太陽(yáng)能電池，并率先實(shí)行全流水線生產(chǎn)。該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過(guò)漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印刷行程，在電池表面上制作出正、負(fù)兩個(gè)電極。該生產(chǎn)線仍處于領(lǐng)先地位并已發(fā)展到由配置有集成直線電機(jī)的計(jì)算機(jī)來(lái)控制。、充電、試驗(yàn)和成品電池的分選都是在生產(chǎn)線上完成的?！、偃詣?dòng)太陽(yáng)能電池片印刷設(shè)備技術(shù)指標(biāo)電池尺寸：125mmx125mm、156mmx156mm、210mmx210mm　　電池厚度：　　每小時(shí)電池產(chǎn)量：12501440 片　　生產(chǎn)線產(chǎn)能：amp。gt。95%　　最大電池破片率：amp。lt。%　　絲網(wǎng)印刷居中誤差：amp。lt。177?！　〗z網(wǎng)印刷最大規(guī)格：380x460mm　　最大印刷面積：170x170mm　　刮刀最小和最大速度：0333mm/sec　　刮刀最小和最大壓力：0–150N　?、谌詣?dòng)太陽(yáng)能電池片測(cè)試分選設(shè)備技術(shù)指標(biāo)　　電池尺寸：125mmx125mm、156mmx156mm、210mmx210mm　　電池厚度：　每小時(shí)電池產(chǎn)量：12501440 片　　生產(chǎn)線產(chǎn)能：amp。gt。 95%　　最大電池破片率：amp。lt。%　　分檔：124 檔（4）本項(xiàng)目采用的快速燒結(jié)爐，是由美國(guó)BTU公司生產(chǎn)的專(zhuān)用于太陽(yáng)能電池電極和背場(chǎng)燒結(jié),烘干和燒結(jié)工藝互適。由快速熱處理太陽(yáng)能電池金屬化爐和紅外烘干爐組成。其技術(shù)優(yōu)勢(shì)為：快速升溫：在較短加熱區(qū)中密集安裝了紅外燈管來(lái)實(shí)現(xiàn)在400～875℃之間的升溫，速率可達(dá)到75℃/秒以上。快速降溫：由安裝在網(wǎng)帶上下的冷水壁來(lái)實(shí)現(xiàn)在875℃和400℃之間的降溫速度可達(dá)65℃/秒以上。太陽(yáng)能電池在爐子出口處的溫度不超過(guò)40℃。主要技術(shù)指標(biāo)：最高溫度:1050℃工作溫度范圍：干燥區(qū)：100400℃；燒結(jié)區(qū)：2001000℃可控加熱溫區(qū)：干燥區(qū)：3 ； 燒結(jié)區(qū)：6加熱區(qū)長(zhǎng)度：干燥區(qū)：90英寸（）燒結(jié)區(qū)：60英寸(152厘米)工作空間尺寸：PVD614 網(wǎng)帶寬 14英寸（）網(wǎng)帶上方高度：（19厘米）網(wǎng)帶離地高度：36英寸（914厘米）外形尺寸：L9320W965H1680(毫米)（5）本項(xiàng)目采用的減反射膜制造設(shè)備(PECVD)，是由德國(guó)進(jìn)口的，PECVD設(shè)備是晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線制備減反射鈍化膜的主要設(shè)備，也是整條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。該設(shè)備適合所有常用形狀及尺寸的硅片并可以同時(shí)裝載多個(gè)硅片進(jìn)行PECVD氮化硅敷層及鈍化處理。全自動(dòng)化操作非常簡(jiǎn)易并且將成品破損率降到最低。工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。首先為加熱區(qū)，將敷層的硅片表面溫度被穩(wěn)定需要的設(shè)定值。接下來(lái)是覆層區(qū)域和最后的冷卻區(qū)域。這個(gè)敷層的工序是連續(xù)進(jìn)行的，載板在通過(guò)敷層的工藝進(jìn)程中速度是恒定的。這個(gè)敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成， GHz，所使用的工藝氣體為硅烷（SiH4）和氨氣（NH3）。等離子體的有效區(qū)域直到延伸到載滿(mǎn)硅片的載板從等離子體源上面通過(guò)后的數(shù)厘米。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負(fù)責(zé)為載板及被敷層和已進(jìn)行過(guò)鈍化處理后的硅片在離開(kāi)系統(tǒng)前進(jìn)行冷卻。通過(guò)系統(tǒng)的工藝參數(shù)的設(shè)定可將敷層有效率控制在20 到 100 nm/min 之間。主要技術(shù)指標(biāo)如下：材料：多晶硅硅片或單晶硅硅片