【正文】 主要技術(shù)指標(biāo)如下：材料：多晶硅硅片或單晶硅硅片適用硅。冷卻區(qū)域安排在敷層區(qū)域之后，主要負(fù)責(zé)為載板及被敷層和已進(jìn)行過(guò)鈍化處理后的硅片在離開系統(tǒng)前進(jìn)行冷卻。這個(gè)敷層區(qū)是由幾排相同的線性等離子體源組成， GHz，所使用的工藝氣體為硅烷（SiH4）和氨氣（NH3）。接下來(lái)是覆層區(qū)域和最后的冷卻區(qū)域。工藝腔在功能上被分為三大區(qū)域。該設(shè)備適合所有常用形狀及尺寸的硅片并可以同時(shí)裝載多個(gè)硅片進(jìn)行PECVD氮化硅敷層及鈍化處理。太陽(yáng)能電池在爐子出口處的溫度不超過(guò)40℃。其技術(shù)優(yōu)勢(shì)為：快速升溫：在較短加熱區(qū)中密集安裝了紅外燈管來(lái)實(shí)現(xiàn)在400～875℃之間的升溫，速率可達(dá)到75℃/秒以上。%　　分檔：124 檔（4）本項(xiàng)目采用的快速燒結(jié)爐，是由美國(guó)BTU公司生產(chǎn)的專用于太陽(yáng)能電池電極和背場(chǎng)燒結(jié),烘干和燒結(jié)工藝互適。 95%　　最大電池破片率：amp?！　〗z網(wǎng)印刷最大規(guī)格：380x460mm　　最大印刷面積：170x170mm　　刮刀最小和最大速度：0333mm/sec　　刮刀最小和最大壓力：0–150N　?、谌詣?dòng)太陽(yáng)能電池片測(cè)試分選設(shè)備技術(shù)指標(biāo)　　電池尺寸：125mmx125mm、156mmx156mm、210mmx210mm　　電池厚度：　每小時(shí)電池產(chǎn)量：12501440 片　　生產(chǎn)線產(chǎn)能：amp。lt。lt。gt。、充電、試驗(yàn)和成品電池的分選都是在生產(chǎn)線上完成的。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印刷行程，在電池表面上制作出正、負(fù)兩個(gè)電極。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過(guò)漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。意大利Baccini股份有限公司在80年代初期開創(chuàng)性地將絲網(wǎng)印刷用于制造太陽(yáng)能電池，并率先實(shí)行全流水線生產(chǎn)。該設(shè)備采用精密主軸制造技術(shù)，精密滾動(dòng)導(dǎo)軌技術(shù)，線絲恒張緊力自動(dòng)控制技術(shù)，排線導(dǎo)輪的制造、翻新及耐用度技術(shù)，并通過(guò)對(duì)砂漿供給系統(tǒng)的研究和應(yīng)用，具備了先進(jìn)的雙向正反切割兩根300毫米多晶硅、單晶硅的性能，與過(guò)去采用內(nèi)圓切割技術(shù)相比，具有翹曲度小、平行度好、總厚度公差離散性小、刃口切割損耗小、表面損傷層淺、硅片表面粗糙度低等優(yōu)點(diǎn)，且一臺(tái)全自動(dòng)硅片多線切片機(jī)的生產(chǎn)能力相當(dāng)于幾十臺(tái)內(nèi)圓切片機(jī)的生產(chǎn)能力，從而使硅片切割表面精度、質(zhì)量、切割效率、機(jī)床穩(wěn)定性等性能指標(biāo)處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。該爐是一種高效節(jié)能型熔硅鑄錠爐，采用石墨電阻加熱方式，運(yùn)用先進(jìn)計(jì)算機(jī)控制技術(shù)，通過(guò)加熱、溶解、成長(zhǎng)、退火、冷卻等工作程序,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步定向凝固，生產(chǎn)出高質(zhì)量、大規(guī)格的多晶硅錠。（1）本項(xiàng)目采用的多晶硅鑄錠爐主要用于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅錠的大生產(chǎn)，它采用先進(jìn)的多晶硅定向凝固技術(shù)，將硅料高溫熔融后通過(guò)特殊工藝定向冷凝結(jié)晶，從而達(dá)到太陽(yáng)能電池生產(chǎn)用多晶硅品質(zhì)的要求。對(duì)設(shè)備基本要求一是配備先進(jìn)，自動(dòng)化程度高，生產(chǎn)連續(xù)性好，提高單機(jī)自動(dòng)化水平、增加批次裝片量、提高單機(jī)生產(chǎn)效率和設(shè)備能效；二是性能可靠，環(huán)保節(jié)能；操作方便，適應(yīng)性強(qiáng)，尤其是適合大尺寸、薄硅片的工藝技術(shù)設(shè)備，以節(jié)約硅材料降低成本；三是具有先進(jìn)的檢測(cè)功能和網(wǎng)絡(luò)內(nèi)外的雙向交流功能；四是在生產(chǎn)線中，提高自動(dòng)化水平，設(shè)備間機(jī)械手自動(dòng)傳送、在線檢測(cè)、提高整線生產(chǎn)效率，減少人工干預(yù)，降低碎片率。項(xiàng)目具有生產(chǎn)過(guò)程能耗低、單晶硅太陽(yáng)電池和多晶硅太陽(yáng)電池的協(xié)調(diào)生產(chǎn)；同時(shí)項(xiàng)目投資方掌握了較好的太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化技術(shù)，平均轉(zhuǎn)換率達(dá)到18%以上，技術(shù)成熟，體現(xiàn)了低成本、低能耗、高轉(zhuǎn)換效率的特點(diǎn)。本項(xiàng)目生產(chǎn)線主要工藝采用離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝和固相結(jié)晶法生產(chǎn)太陽(yáng)能電池片。中國(guó)光電發(fā)展技術(shù)中心的陳哲良采用液相外延法在冶金級(jí)硅片上生長(zhǎng)出硅晶粒，并設(shè)計(jì)了一種類似于晶體硅薄膜太陽(yáng)能電池的新型太陽(yáng)能電池，稱之為“硅粒”太陽(yáng)能電池，但有關(guān)性能方面的報(bào)道還未見到。 液相外延（LPE）法的原理是通過(guò)將硅熔融在母體里，降低溫度析出硅膜。多晶硅薄膜電池除采用了再結(jié)晶工藝外，另外采用了幾乎所有制備單晶硅太陽(yáng)能電池的技術(shù)，這樣制得的太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率明顯提高。但在非硅襯底上很難形成較大的晶粒,并且容易在晶粒間形成空隙。多晶硅薄膜太陽(yáng)能電池通常是在厚度350～450μm的高質(zhì)量硅片上制成，目前制備多晶硅薄膜電池工藝多采用化學(xué)氣相沉積法，包括：低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）和等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）工藝；液相外延法（LPPE）和濺射沉積法也可用來(lái)制備多晶硅薄膜電池。主要生產(chǎn)工藝先進(jìn)性評(píng)價(jià)目前，硅系列太陽(yáng)能電池制作工藝技術(shù)一般都采用表面織構(gòu)化、發(fā)射區(qū)鈍化、分區(qū)摻雜等技術(shù)。本項(xiàng)目各生產(chǎn)工序平面布局按照正常生產(chǎn)流程設(shè)置，設(shè)備布置合理有序，盡量減少半成品或者中間產(chǎn)品的不合理輸送，合理節(jié)約能源消耗。廠區(qū)交通運(yùn)輸組織合理，做到人貨分流。變電站設(shè)置在負(fù)荷中心，減少輸配電中的線損率。遵照國(guó)家現(xiàn)行的生產(chǎn)安全、管理方便、結(jié)合廠區(qū)現(xiàn)狀因地制宜利用土地，交通運(yùn)輸組織合理，衛(wèi)生條件良好，廠容廠貌美觀大方等。在滿足生產(chǎn)工藝，符合防火安全，衛(wèi)生要求前提下，因地制宜，合理布局，提高土地利用率。100=。本項(xiàng)目供電、供水均由義烏市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)專線供給，本項(xiàng)目的能源供應(yīng)是有保障的。具體見表54。年用水量：W=； ：=；建設(shè)項(xiàng)目綜合能耗估算。 年用電量W=（5081165564）30024+（564+165）30016=； 折標(biāo)煤量：等價(jià)值==；當(dāng)量值==.建設(shè)項(xiàng)目用水量核算項(xiàng)目用水具體情況見表53。根據(jù)上述估算，無(wú)功補(bǔ)償后，工作時(shí)間為300天。本項(xiàng)目用能系統(tǒng)圖建設(shè)項(xiàng)目用能量核算建設(shè)項(xiàng)目用電量核算項(xiàng)目供配電設(shè)備見表51，項(xiàng)目主要用電設(shè)備用電負(fù)荷估算表見表52。生產(chǎn)、生活、消防用水由義烏自來(lái)水廠供給，生產(chǎn)用水主要是硅片清洗制絨、去磷硅用水，其余為循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水及綠化、道路清洗用水和生活用水。本項(xiàng)目屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2005年本)》第一類鼓勵(lì)類第十六條輕工中第13款“高技術(shù)綠色電池產(chǎn)品制造（無(wú)汞堿錳電池、氫鎳電池、鋰離子電池、高容量密封型免維護(hù)鉛酸蓄電池、燃料電池、鋅空氣電池、太陽(yáng)能電池）”國(guó)內(nèi)投資項(xiàng)目，受到國(guó)家、地方相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策的支持。aSi薄膜太陽(yáng)能電池由于使用非常少的半導(dǎo)體材料，成熟的大面積沉積工藝，相比之下，消耗的能量更少，如晶片電池每峰瓦需要硅材料1520g，而薄膜電池每峰瓦僅需要硅材料100400mg。多晶硅與單晶硅相比，不僅省掉了拉單晶的過(guò)程，而且工藝上要更簡(jiǎn)單一些，單耗更少。產(chǎn)業(yè)鏈上其中的每一個(gè)環(huán)節(jié)都會(huì)涉及到能量的消耗與傳遞。項(xiàng)目建設(shè)符合國(guó)家相關(guān)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃和政策，屬我省當(dāng)前產(chǎn)業(yè)發(fā)展重點(diǎn)。太陽(yáng)能光伏發(fā)電具有巨大市場(chǎng)和發(fā)展?jié)摿?。改造提升現(xiàn)有光伏設(shè)備制造技術(shù)，重點(diǎn)開發(fā)低成本、低能耗、高質(zhì)量太陽(yáng)能級(jí)多晶硅材料生產(chǎn)裝備、多晶硅鑄錠爐、多線切割機(jī)及硅錠破錠設(shè)備、薄膜電池生產(chǎn)裝備以及相應(yīng)檢測(cè)設(shè)備等。以提高太陽(yáng)能光電轉(zhuǎn)化效率為核心，重點(diǎn)發(fā)展高效晶體硅電池及組件、薄膜電池組件制造產(chǎn)業(yè)；鼓勵(lì)發(fā)展大面積超薄晶體硅切片，減少材料損耗；積極探索和改進(jìn)硅材料提純技術(shù)，爭(zhēng)取在物理冶金法等工藝上取得突破，降低產(chǎn)品能耗和控制污染物排放；嚴(yán)格控制新建多晶硅提純項(xiàng)目；積極培育和推進(jìn)太陽(yáng)能電池及組件生產(chǎn)用EVA(乙烯醋酸乙烯共聚物)、TPT(聚氟乙烯復(fù)合膜)、銀漿和超白玻璃等輔助材料產(chǎn)業(yè)。（2）大力發(fā)展光伏產(chǎn)業(yè)。實(shí)施百條道路太陽(yáng)能照明計(jì)劃，在全省選擇100條道路應(yīng)用太陽(yáng)能照明。重點(diǎn)任務(wù)（1）重點(diǎn)建設(shè)光伏示范基地。產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面，基本建立具有浙江特色的新能源產(chǎn)業(yè)體系。發(fā)展目標(biāo)推廣應(yīng)用方面，基本建立新能源推廣應(yīng)用的長(zhǎng)效機(jī)制。國(guó)家出臺(tái)的方針政策表明，該項(xiàng)目符合相關(guān)國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策。2009年3月23日，為貫徹實(shí)施《可再生能源法》，落實(shí)國(guó)務(wù)院節(jié)能減排戰(zhàn)略部署，加強(qiáng)政策扶持，加快推進(jìn)太陽(yáng)能光電技術(shù)在城鄉(xiāng)建筑領(lǐng)域的應(yīng)用，財(cái)政部、住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部聯(lián)合發(fā)布了《加快推進(jìn)太陽(yáng)能光電建筑應(yīng)用的實(shí)施意見》，當(dāng)天財(cái)政部還頒布了《太陽(yáng)能光電建筑應(yīng)用財(cái)政補(bǔ)助資金管理暫行辦法》，其中對(duì)建筑用太陽(yáng)能給出了明確的補(bǔ)貼政策。同時(shí)提出把發(fā)展高效能源材料技術(shù)作為今后發(fā)展的前沿技術(shù)之一：重點(diǎn)研究太陽(yáng)能電池相關(guān)材料及其關(guān)鍵技術(shù)、燃料電池關(guān)鍵材料技術(shù)、高容量?jī)?chǔ)氫材料技術(shù)、高效二次電池材料及關(guān)鍵技術(shù)、超級(jí)電容器關(guān)鍵材料及制備技術(shù)，發(fā)展高效能量轉(zhuǎn)換與儲(chǔ)能材料體系。同時(shí)與之配套的《可再生能源法實(shí)施細(xì)則》將在上網(wǎng)電價(jià)和分?jǐn)倷C(jī)制等關(guān)鍵方面支持可再生能源的發(fā)展。到2010年，太陽(yáng)能發(fā)電總?cè)萘窟_(dá)到30萬(wàn)千瓦，到2020年達(dá)到180萬(wàn)千瓦。在城市的建筑物和公共設(shè)施配套安裝太陽(yáng)能光伏發(fā)電裝置，擴(kuò)大城市可再生能源的利用量，并為太陽(yáng)能光伏發(fā)電提供必要的市場(chǎng)規(guī)模。本項(xiàng)目需新建空壓站。（3）壓縮空氣根據(jù)生產(chǎn)工藝設(shè)備要求，項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程中送料、自動(dòng)分析等多道工序中需用到壓縮空氣。生產(chǎn)污水和地面沖洗水經(jīng)收集后，通過(guò)廠區(qū)污水管網(wǎng)，排入廠區(qū)的污水處理站，處理方法采用三級(jí)沉淀、加藥凝聚、末端過(guò)濾的方法處理。②清下水管系統(tǒng)生產(chǎn)工藝過(guò)程中產(chǎn)生的設(shè)備冷卻水和廠區(qū)雨水均通過(guò)排水暗渠匯集后直接排入廠區(qū)及市政雨水管網(wǎng)。根據(jù)清污分流的原則，工廠排水系統(tǒng)劃分為生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水及清下水的清污分流排水制。排水工程根據(jù)工藝方案，本項(xiàng)目投產(chǎn)后產(chǎn)生的廢水主要為職工生活污水、硅片清洗廢水和地面沖洗水等。具體用水量詳見表36。廠區(qū)內(nèi)建有供生產(chǎn)、生活、消防的管網(wǎng)給水系統(tǒng)，供水系統(tǒng)完善合理。由市政供水干管接入廠區(qū)，供水管徑為DN200。（2）供水和排水給水工程本項(xiàng)目在公司廠區(qū)內(nèi)組織實(shí)施。供電方式一般采用放射式與樹干式相結(jié)合。生產(chǎn)配電：本項(xiàng)目車間動(dòng)力電源均為三相四線制加PE線，即TNS系統(tǒng)。變壓器容量6400kVA。供電電源完全可以供應(yīng)本項(xiàng)目的用電需要。5%，電源頻率為50177。 本項(xiàng)目主要新增設(shè)備清單 序號(hào) 設(shè)備名稱 型號(hào)規(guī)格 單位 數(shù)量 制造廠 一 引進(jìn)設(shè)備 1 清洗制絨機(jī) AC TEX2640 臺(tái) 4 德國(guó)RENA等 2 濕法刻蝕機(jī) SP ETCH2640 臺(tái) 4 德國(guó)RENA等 3 減反射膜制造設(shè)備（PECVD） 4管410 臺(tái) 8 德國(guó)centrotherm等 4 全自動(dòng)太陽(yáng)能電池片印刷設(shè)備 臺(tái) 4 意大利Baccini等 5 全自動(dòng)太陽(yáng)能電池片測(cè)試分選設(shè)備 臺(tái) 4 意大利Baccini等 6 燒結(jié)爐 CDF7210B 臺(tái) 4 美國(guó) 7 多線切割機(jī) 臺(tái) 10 日本 二 國(guó)產(chǎn)設(shè)備 1 多晶鑄錠爐 R134501/UM 臺(tái) 18 中電48所 2 剖錠機(jī) QP5008 臺(tái) 4 國(guó)產(chǎn) 3 去磷硅玻璃清洗機(jī) HYB4000T 臺(tái) 4 國(guó)產(chǎn) 4 閉管擴(kuò)散爐 DS300 臺(tái) 8 國(guó)產(chǎn) 5 甩干機(jī) AMT6 臺(tái) 8 國(guó)產(chǎn) 6 空氣調(diào)節(jié)及凈化設(shè)備 40STDE670WS/E180WS 臺(tái) 12 國(guó)產(chǎn) 7 空壓機(jī) 10m3/min螺桿式 套 3 市場(chǎng)采購(gòu)公用工程本項(xiàng)目的公用工程介紹如下：（1）電力本項(xiàng)目的負(fù)荷等級(jí)為三類負(fù)荷。此外，硅烷燃燒塔、污水處理站等也是電池片生產(chǎn)的必備設(shè)施。水質(zhì)中微粒粒徑不宜大于10微米，供水溫度宜在1520℃。除以上設(shè)備外，還需要供電、動(dòng)力、給水、排水、暖通、真空等公用設(shè)施。我國(guó)在太陽(yáng)能電池生產(chǎn)許多關(guān)鍵設(shè)備已基本和國(guó)際水平相當(dāng)，且性價(jià)比優(yōu)勢(shì)十分明顯，已占據(jù)了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的絕大部分，但仍有部分設(shè)備整體水平和國(guó)外差距較大，如全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)和自動(dòng)分檢機(jī)由于核心技術(shù)無(wú)法取得突破，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線幾乎全部采用了進(jìn)口設(shè)備。主要用能設(shè)備本項(xiàng)目在設(shè)備選用上，是為了提高電池的最終產(chǎn)品質(zhì)量、光電轉(zhuǎn)換效率及整線生產(chǎn)效率，同時(shí)降低生產(chǎn)成本出發(fā)，根據(jù)產(chǎn)品定位，選用適用的國(guó)內(nèi)外先進(jìn)設(shè)備。檢測(cè)分選：為了保證產(chǎn)品質(zhì)量得一致性，通常要對(duì)每個(gè)電池測(cè)試，并按電流和功率大小進(jìn)行分類，可根據(jù)電池效率進(jìn)行分級(jí)。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過(guò)率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個(gè)盡可能低的接觸電阻。由于增強(qiáng)對(duì)光的吸收性的同時(shí)，氫原子對(duì)太陽(yáng)電池起到很好的表面和體內(nèi)鈍化作用，從而提高了電池的短路電流和開路電壓。擴(kuò)散過(guò)程遵從如下反應(yīng)式：4POCL3 ＋3O2（過(guò)量）→ 2P2O5＋2CL2（氣）2P2O5＋5Si → 5SiO 2 + 4P背腐蝕去磷硅玻璃和邊緣PN節(jié)：用化學(xué)方法除去擴(kuò)散層SiO2與HF生成可溶于水的SiF62，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻P2O5的SiO2）溶解，化學(xué)反應(yīng)為：SiO2 ＋6HF → H2（SiF6）＋2H2O減反射：采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不但可以減少光的反射，由于在制備SiNx減反膜過(guò)程中大量的氫原子進(jìn)入，能夠起到很好的表面鈍化和體鈍化的效果，這對(duì)于具有大量晶界的多晶硅材料而言，由于晶界的懸掛健被飽和，從而降低了復(fù)合中心的作用。擴(kuò)散的最高溫度可達(dá)到850900℃。擴(kuò)散、刻蝕：多數(shù)廠家都選用p型硅片來(lái)制作太陽(yáng)電池，那么一般用POCL3液態(tài)源作為擴(kuò)散源。而后進(jìn)行硅片表面絨化，現(xiàn)在常用的硅片的厚度 180(m左右。硅片檢測(cè)設(shè)備能夠自動(dòng)裝片和卸片，并且能夠?qū)⒉缓细衿贩诺焦潭ㄎ恢茫瑥亩岣邫z測(cè)精度和效率。其中，光伏硅片檢測(cè)儀對(duì)硅片表面不平整度進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)檢測(cè)