多晶硅生產(chǎn)工藝---改良西門子法-資料下載頁(yè)
2024-11-10 15:25本頁(yè)面
【導(dǎo)讀】原高純?nèi)葰涔?，生成多晶硅沉積在硅芯上。等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的配套工藝。目前世界上絕大部分廠家均采用改良西門子。硅全球總產(chǎn)量的85％。但這種提煉技術(shù)的核心工藝僅僅掌握在美、德、日等7家主。這些公司的產(chǎn)品占全球多晶硅總產(chǎn)量的90%，它們形成的企業(yè)聯(lián)盟。實(shí)行技術(shù)封鎖，嚴(yán)禁技術(shù)轉(zhuǎn)讓。短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會(huì)改變。的競(jìng)爭(zhēng)狀態(tài)，很難相互取代。良西門子法仍然是最現(xiàn)實(shí)的作法。在目前高利潤(rùn)的狀況下，發(fā)展多晶硅工藝有一個(gè)良。不產(chǎn)生污染，具有明顯的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。干燥、包裝系統(tǒng)裝置，還原尾氣干法回收裝置；其他包括分析、檢測(cè)儀器，控制儀表，與之反應(yīng)在一個(gè)流化床反應(yīng)器中，生成擬溶解的三氯氫硅。反應(yīng)溫度為300度，該反應(yīng)是放熱的。凝SiНС13,SiC14，而氣態(tài)Н2,НС1返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。這些混合物進(jìn)行低溫分離，或再利用，或。硅鎂合金法工藝到目前為止還沒(méi)有用于大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)線。來(lái)降低能耗過(guò)高的問(wèn)題需要做進(jìn)一步改進(jìn)。
【正文】 裝置線。該方法的主要反應(yīng)有： Si+Mg—— Mg2Si Mg2Si + NH4Cl—— SiH4+MgCl26NH3 第一步反應(yīng)在真空或保護(hù)氣氛下進(jìn)行。第二步反應(yīng)在低溫液氨下進(jìn)行，其中生產(chǎn)的氯化鎂在液氨環(huán)境下與液氨絡(luò)合成六氨氯化鎂。由于成本過(guò)高，該方法目前還沒(méi)有應(yīng)用于千噸級(jí)規(guī)模的生產(chǎn)線上。硅鎂合金法工藝到目前為止還沒(méi)有用于大規(guī)模多晶硅生產(chǎn)線。該方法用于大規(guī)模生產(chǎn)線上主要要解決的問(wèn)題是 :1)液氨的循環(huán)利用。要實(shí)現(xiàn)液氨循環(huán)利用，必須實(shí)現(xiàn)從六氨氯化鎂絡(luò)合物中的氨分離出來(lái)，實(shí)現(xiàn)氨的循環(huán)利用 。2) 傳統(tǒng)的小松法制備硅烷氣體采用的是 批次式反應(yīng)，要實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)，該反應(yīng)需要改成連續(xù)式反應(yīng)，否則很難實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn) 。3) 該工藝中氨的循環(huán)量很大，需要補(bǔ)充大量的冷量，如何實(shí)現(xiàn)冷量和熱量的充分利用來(lái)降低能耗過(guò)高的問(wèn)題需要做進(jìn)一步改進(jìn)。 3. 氯硅烷歧化工藝 氯硅烷歧化反應(yīng)法，此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反應(yīng)來(lái)獲得硅烷： Si + 2H2 + 3SiC14—— 4SiHCl3 6SiHCl3—— 3SiH2Cl2 + 3SiC14 4SiH2Cl2—— 2SiH3Cl + 2SiHCl3 3SiH3Cl—— SiH2Cl2 + SiH4 整個(gè)過(guò)程是閉路，一方投入硅與氫，另一方獲得硅烷，因此排出物少，對(duì)環(huán)保環(huán)境有利，同時(shí)材料的利用率高。該方法已經(jīng)實(shí)現(xiàn)千噸級(jí)規(guī)模生產(chǎn)水平。美國(guó) REC( 前身為 Asimi) 采用該方法來(lái)制備硅烷氣體。
醫(yī)療健康相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1