微電子技術(shù)發(fā)展的-資料下載頁
2025-06-29 12:48本頁面
【正文】 武器裝備 制導(dǎo)、戰(zhàn)場偵察（化學(xué)、震動）、武器智能化 制導(dǎo)、戰(zhàn)場偵察（化學(xué)、震動）、武器智能化 ）、 生物醫(yī)學(xué) 疾病診斷、藥物研究、微型手術(shù)儀器、 疾病診斷、藥物研究、微型手術(shù)儀器、植入式儀器 信息和通訊 光開關(guān)、波分復(fù)用器、集成化 組件 組件、 光開關(guān)、波分復(fù)用器、集成化RF組件、打印噴頭 娛樂消費(fèi)類 游戲棒、虛擬現(xiàn)時眼鏡、 游戲棒、虛擬現(xiàn)時眼鏡、智能玩具 MEMS 大機(jī)器加工 小機(jī)器， 小機(jī)器，小 機(jī)器加工微 機(jī)器 微機(jī)械 用微電子加 工技術(shù) MEMS系統(tǒng) 系統(tǒng) 從頂層向下 X光鑄模 壓 光鑄模+壓 光鑄模 塑技術(shù) (LIGA) 微系統(tǒng) 國防、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境 國防、 航空航天、 生物醫(yī)學(xué)、 監(jiān)控、汽車都有廣泛應(yīng)用。 監(jiān)控、汽車都有廣泛應(yīng)用。 2000年有 年有120140億美元市場 年有 億美元市場 相關(guān)市場達(dá)1000億美元 億美元 相關(guān)市場達(dá) 2年后市場將迅速成長 年后市場將迅速成長 分子和原子級加工 從底層向上 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 從廣義上講， 是指集微型傳感器、 從廣義上講，MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器、 是指集微型傳感器 微型執(zhí)行器、 信號處理和控制電路、接口電路、 信號處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于 一體的微型機(jī)電系統(tǒng) MEMS技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域，它幾乎涉 技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域， 技術(shù)是一種多學(xué)科交叉的前沿性領(lǐng)域 及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子、機(jī)械、光學(xué)、 及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子、機(jī)械、光學(xué)、 物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、 物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、 在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、 在航空 環(huán)境監(jiān)控、 環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有 領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景 微慣性傳感器及微型慣性測量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、 微慣性傳感器及微型慣性測量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、 衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、 衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防 抱死系統(tǒng)(ABS)、穩(wěn)定控制和玩具 抱死系統(tǒng) 、 微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進(jìn)、 微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進(jìn)、傷員救護(hù) MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、高密度存儲和顯示、 系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、 系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療 高密度存儲和顯示、 光譜分析、 光譜分析、信息采集等等 已經(jīng)制造出尖端直徑為5μ 的可以夾起一個紅細(xì)胞 已經(jīng)制造出尖端直徑為 μm的可以夾起一個紅細(xì)胞 的微型鑷子， 的微型鑷子，可以在磁場中飛行的象蝴蝶大小的飛 機(jī)等 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 MEMS技 技 術(shù)及其產(chǎn) 品的增長 速度非常 之高， 之高，并 且目前正 處在加速 發(fā)展時期 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 微電子與生物技術(shù)緊密結(jié)合的以DNA(脫氧 脫氧 微電子與生物技術(shù)緊密結(jié)合的以 核糖核酸)芯片等為代表的生物工程芯片將 核糖核酸 芯片等為代表的生物工程芯片將 是21世紀(jì)微電子領(lǐng)域的另一個熱點(diǎn)和新的經(jīng) 世紀(jì)微電子領(lǐng)域的另一個熱點(diǎn)和新的經(jīng) 濟(jì)增長點(diǎn) 它是以生物科學(xué)為基礎(chǔ)，利用生物體、生物組織或細(xì)胞 它是以生物科學(xué)為基礎(chǔ)，利用生物體、 等的特點(diǎn)和功能， 等的特點(diǎn)和功能，設(shè)計(jì)構(gòu)建具有預(yù)期性狀的新物種或新 品系，并與工程技術(shù)相結(jié)合進(jìn)行加工生產(chǎn)， 品系，并與工程技術(shù)相結(jié)合進(jìn)行加工生產(chǎn)，它是生命科 學(xué)與技術(shù)科學(xué)相結(jié)合的產(chǎn)物 具有附加值高、資源占用少等一系列特點(diǎn)， 具有附加值高、資源占用少等一系列特點(diǎn)，正日益受到 廣泛關(guān)注。目前最有代表性的生物芯片是DNA芯片 廣泛關(guān)注。目前最有代表性的生物芯片是 芯片 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 采用微電子加工技術(shù)， 采用微電子加工技術(shù)，可以在指甲蓋大小 的硅片上制作出包含有多達(dá)10萬種 萬種DNA基 的硅片上制作出包含有多達(dá) 萬種 基 因片段的芯片。 因片段的芯片。利用這種芯片可以在極快 的時間內(nèi)檢測或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化等情 這無疑對遺傳學(xué)研究、疾病診斷、 況，這無疑對遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾 病治療和預(yù)防、 病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重 要的作用 Stanford和Affymetrix公司的研究人員已 和 公司的研究人員已 經(jīng)利用微電子技術(shù)在硅片或玻璃片上制作 出了DNA芯片。包括 芯片。 余種DNA基因片 基因片 出了 芯片 包括6000余種 余種 基因 段 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 A B C D MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 MEMS技術(shù)和 技術(shù)和DNA芯片 技術(shù)和 芯片 電 、 光 、 聲 、 熱 、 磁 力 等 外 界 信 號 的 采 集 —各 種 傳感器 信息輸 入與模/ 數(shù)傳輸 信 息 處 理 信息輸 出與數(shù)/ 模轉(zhuǎn)換 信息存儲 執(zhí) 行 器 、 顯 示 器 等 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片 作業(yè) 敘述Moore定律的內(nèi)容 定律的內(nèi)容 敘述 解釋等比例縮小定律110 /
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