【正文】 加工過程中取電極平動量為0。 加工微凸起的步驟 周向加工對周向凹槽進行加工時，使用第三章中出現(xiàn)的周向凹槽電極。（如下圖51：）圖51 周向凹槽電極首先要保持電極位置不動，繼而電動機會帶動工件發(fā)生旋轉，就這樣工件在機床地驅動下進給了一周，便完成了對工件的周向凹槽加工。 軸向加工對軸向凹槽進行加工時，使用第三章中出現(xiàn)的軸向凹槽電極。（如下圖52：）圖52 軸向凹槽電極開始在整個加工中讓軸向凹槽電極1沿著工件的軸線運動，再用軸向凹槽電極2進行加工。這樣將加工過程分為兩步，可以增大電極的兩相鄰凸起的間隙，使電極加工的難度和成本降低，同時也提高了加工的效率。在這個加工的過程中，電極的損耗極小，沒有必要去更換電極，對于在電極上微凸起結構上不需要針對不同部位給出相應的補償。 電參數(shù)的正確匹配選取電火花加工過程中的電參數(shù)需要匹配于工件加工的面積。由于加工工件的面積會影響峰值電流、脈沖寬度，在加工中，峰值電流需要限制，不能過大，否則會導致電流密度變大，熱量非正常集中，容易導致拉弧的產(chǎn)生，使加工面的粗糙度值Ra增大以及加工質量下降，甚至會引起非正常放電，增大電極損耗。在以煤油為液體介質的環(huán)境中，對銅加工鋼，針對這項加工，提供的脈沖電壓下，就會使得加工損耗小于1%[23]。 檢測與分析 檢測方法在有效長度為290mm的圓管微結構內(nèi)，在中間和兩端這三處任意選取三個微結構部分，利用工具高倍顯微鏡檢測它們各自的長（L）、寬（D）、高（H）。 檢測結果對加工出的圓管進行檢驗，在圓管兩端中間A、B、C三處進行檢測長寬高，結果如下表（表52）所示。表52 圓管微結構尺寸試件位置L(um)D(um)H(um)AA1198197154A2198196153A3195200158平均值197197155BB1204199149B2201195145B3204200150平均值203198148CC1195194152C2201195156C3196192158平均值197193155試件表面的粗糙度Ra為： 。微結構表面的粗糙度Ra為： 。根據(jù)以上數(shù)據(jù)可以清楚地知道，圓管微結構結構試件是符合實驗要求的。圖53和圖54分別是圓柱表面微凸起不同倍數(shù)加工的放大圖。圖55是微凸起在顯微下的形貌圖。 圖53 20倍放大圖 圖54 10倍放大圖由以上放大圖明顯可以看出，制作出來的微凸起形狀是方形凸起陣列，符合設計要求。(a) 微凸起顯微鏡下平面輪廓光譜圖(b) 微凸起電子顯微立體三維圖(c) 微凸起儀器測試數(shù)值輸出顯示圖55 微凸起顯微形貌圖根據(jù)上面顯微形貌圖，圖55(a)是顯微鏡下平面輪廓所拍攝，圖55(b)是顯微下電子掃描呈現(xiàn)的立體三維圖，圖55(c)則是電子掃描在數(shù)據(jù)上所展現(xiàn)的圖形比例。我們可以很明確的根據(jù)以上比例和尺寸，微凸起結構是長寬都大約為200um，高為150um的立體，同樣符合實驗設計要求。 小結經(jīng)過磨削完成的待加工工件，會因為電火花加工而導致工件表面的應力平衡被破壞，使得工件微微有點彎曲，因此要在工件的彎曲恢復之后再進行工具的尺寸的測量，這樣才能減小測量中的誤差。經(jīng)過各項檢測，該實驗的微凸起結構的尺寸是要求符合要求的，形貌特征上也滿足微凸起長和寬為200um、間距為200um的要求，一定的允許誤差存在的范圍之內(nèi)，我們對加工精確度仍然有待提高。這次針對微型散熱器的圓柱表面實施微凸起加工，加大了圓柱表面積，使得散熱效果更好。第六章 設計總結與展望 設計總結在本次畢業(yè)設計中，首先通過比較分析對加工制定出方案，并且根據(jù)先前制定出的加工方案設計制造加工電極。本次畢業(yè)設計中制作出的專用夾具，通過一次裝夾同時完成對工件周向和軸向兩道工序的加工，這樣的工序降低對工件定位的難度，同時提高了加工的效率和加大了加工的行程，完成在長圓柱上的微凸起結構的加工。在設計試驗中，意識到在圓柱表面進行微凸起結構加工是一種精密加工，對表面精度的要求比較高，這就加大了高精密的表面微凸起加工的難度。 展望現(xiàn)階段，社會上針對微坑結構的加工技術研究還不成熟,尤其是對陣列形狀的加工應用完全沒有概念。由于微坑結構和微凸起結構一樣的都具有相應的幾何形狀,這非常適合于利用電火花放電加工,工具電極的制備是技術要求中的關鍵,利用電火花放電加工實現(xiàn)了對微尺度上復雜結構的精細操作。參考文獻[1] 趙萬生 .先進電火花加工技術［M］.國防工業(yè)出版社 , 2003 :10 .[2] 曹鳳國 .電火花加工技術 .化學工業(yè)出版社 .[3] 董德生等 .群孔的微細電火花加工技術研究 .電加工與模具 .2006 ,2 : 47 ～49 .[4] 周焱 .微細加工技術研究進展 ..機械工程師 .2006 , 11 :29 ～31 .[5] 唐勇軍等 .微細電火花加工技術的最新發(fā)展 .電加工與模具 ,2005 ,增刊 :36～39 .[6] 王振龍等 .微細電火花加工技術的研究進展 .中國機械工程 ,2002 ,13（10）:894 ～898 .[7] 狄士春等 .微細電火花線切割加工技術的研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢 .航空精密制造技術 ,2004 , 40（1）:12～15 .[8] 林子光等 .在機械零件表面進行激光微精處理的實驗研究 .應用激光聯(lián)刊 ,1989 ,4: 27～31 .[9] Ku. P. M，Li. K. Y，Effect of surface roughness orientation on the tentral film thickness .Elastohydro dynamic and related topics .proc of the 5th .LeedsLyon simposium on tribology .1977 .[10] 袁德 . ,1993 ,9 :23 ～24 .[11] 王振龍等 .微三維結構型腔的微細電火花加工 .微細加工技術，2000 ，1 :71 ～78 .[12] 董德生等 .群孔的微細電火花加工技術研究 .電加工與模具 .2006 . 2 . 47 ～49 .[13] 陳安駿 . ,2005 ，1 ～4 ，9 ～10 .[14] 苑偉政(李曉瑩) .微機械及微細加工技術 .機械科學與技術 ,1997 ,16（3）:503 ～504 .[15] :華中理工大學出版社，1992，1 .[16] 張勇(王振龍，胡富強，賈寶賢，李志勇，趙萬生 (哈爾濱工業(yè)大學機械工程系,黑龍江哈爾濱150001)) ) . 微細電火花加工中微細電極的制作與檢測技術研究 ,2004　,8 .[17] 蔡亦峰 . ,2002 ,9 :38 ～39 .[18] 趙波(程雪利 ,劉傳紹) .微細加工與裝備技術進展 .現(xiàn)代制造工程 ,2006 ,6 :143 ～146 .[19] 狄士春(王振龍 ,劉維東等) ．電極等損耗微細電火花加工技術[J] .電加工 ，1998(2) :1 ～3 .[20] 宋小中(劉正勛) .電致伸縮型電火花微細加工伺服系統(tǒng)的研究[J] .電加工 ,1995 (3) .[21] et Science ,1998 :236 ~247[7]M .Nesladek et al .Thin Solid Films ,1995 :184 ~188 .[22] Yoshihito Imai ，Takayuki Nakagawa ，Hidetaka Miyake ．Local actuator module for highly accurate microEDM[J] .Journal of Materials Processing Technology .2004 , 149 :328~333 .[23] seral .Surface and Coatings Technology :1991 :600~607 .致 謝經(jīng)過兩個多月的時間終于完成了這篇畢業(yè)設計，在完成這項設計的過程中遇到了無數(shù)的困難和挫折，不過基本都在薛功林和于海林老師以及同學的幫助下解決了。在此刻，我尤其要感謝我的論文指導老師于海林老師，他在設計中對我無私的幫助和指導，對我的設計和論文進行了無數(shù)次的修改和改進。此外還要感謝在這篇論文中所涉及到的教授和其他學者。在本次論文中，參考了數(shù)位學者的發(fā)表文獻，在其中深受各位學者研究成果啟發(fā)，對我的論文起到很大的幫助，使得我能順利完成這篇論文的寫作?！　∽詈筮€要感謝我的同學，同事以及朋友，他們?yōu)槲艺撐牡耐瓿商峁┝撕芏嗟乃夭?，也在論文的撰寫和排版中給與了我熱情的幫助?！　∮捎谖业膶W術水平有所欠缺，能力有所不足，故而論文難免存在不足之處，希望能夠得到各位老師的正確的批評和指正。最終，再次向給予我?guī)椭母魑焕蠋?、同學、同事以及朋友們致以深深地謝意！