感光性高分子的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用-資料下載頁(yè)
2025-06-26 05:31本頁(yè)面
【正文】 經(jīng)后烘,使光刻膠膜粘附更堅(jiān)固。再用濕法刻蝕,將電路圖形永久地保留在硅片卜。同時(shí)采用熱擴(kuò)散和離子注入進(jìn)行摻雜,最后用去膠劑去除光刻膠膜,在硅片上形成永久性的工程設(shè)計(jì)圖形。在集成電路或半導(dǎo)體分立器件的制做過(guò)程中往往需要多次甚至幾次的光刻,每次光刻均需要完成上述的工序循環(huán)。 通過(guò)這次對(duì)感光性高分子學(xué)習(xí)和查找相關(guān)資料，我了解了感光材料技術(shù)的誕生、發(fā)展、應(yīng)用。再結(jié)合課上老師所講述的知識(shí)，更加加深了我對(duì)感光材料技術(shù)在我們生活中的重要性。這一材料的發(fā)展十分的迅速，因?yàn)楦泄飧叻肿硬牧暇哂械统杀?、分辨率價(jià)格比高、靈敏度高、歷史保真性好等優(yōu)點(diǎn)，又巨大的發(fā)展前景。從廣義講,以高分子材料為基體材料,與其他感光物質(zhì),如銀化合物等復(fù)合構(gòu)成的感光材料也屬于高分子感光材料。只是高分子材料本身在這種符復(fù)合材料中只起擔(dān)載和保護(hù)作用。作為新型光加工材料,感光高分子在印刷制版、電子工業(yè)和金屬材料的精密加工等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。目前關(guān)于感光高分子材料的重要性已是無(wú)可置疑的了。經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)科學(xué)家的不懈努力，現(xiàn)在已經(jīng)擁有很多種類，而且在許多領(lǐng)域已經(jīng)占有重要的地位，相信在繼續(xù)研究下還會(huì)得到進(jìn)一步突進(jìn)。參考文獻(xiàn)〔J〕.感光科學(xué)與光化學(xué),2003,21(5):346~356〔J〕.電子產(chǎn)品世界,2004,6:97~99〔M〕.北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2001〔J〕.半導(dǎo)體技術(shù),2003,28(12):12~16［Ｊ］．精細(xì)與專用化學(xué)品，2008，17（9）：2831〔J〕.精細(xì)化工,2005,22(5):348~353駱光林,[J].2005,10,3840.〔M〕.北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2001AaronH〔J〕.半導(dǎo)體國(guó)際,2006,(05):22
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