硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工藝研究畢業(yè)論文-資料下載頁(yè)
2025-06-19 03:04本頁(yè)面
【正文】 ：5POCl3→3PCl5+P2O5 （1－5）在擴(kuò)散氣氛中常常通有一定量的氧氣，可使生成的PCl5進(jìn)一步分解，使五氯化磷氧化成P2O5，從而可以得到更多的磷原子沉積在硅片表面上。另外也可避免PCl5對(duì)硅片的腐蝕作用，可以改善硅片表面，反應(yīng)式如下：4PCl5+5O2→2P2O5+10Cl2↑ （1－6）生成的P2O5在擴(kuò)散溫度下繼續(xù)與硅反應(yīng)得到磷原子，其反應(yīng)式如下：2P2O5+5Si→5SiO2+4P↓ （1－7） 由于POCl3的飽和蒸汽壓很高，淀積在硅片表面的磷原子完全可以達(dá)到在該擴(kuò)散溫度下的飽和值（即該溫度下磷在硅中的固溶度），并不斷地?cái)U(kuò)散進(jìn)入硅本體，形成高濃度的發(fā)射區(qū)[[1] 李一龍，賴國(guó)勝. 硅太陽(yáng)電池制備工藝. 吉林大學(xué)出版社 ]。在1100℃下，1021/cm3左右[[2] 趙積善. 電工與電子技術(shù). 附電工與電子技術(shù)自學(xué)考試大綱. 中國(guó)電力出版社[3] 趙玉文,林安中1 晶體硅太陽(yáng)電池及材料[J] 太陽(yáng)能學(xué)報(bào),1999 .(特刊) :852941[4] 安其霖,曹國(guó)深,李國(guó)欣,等. 太陽(yáng)電池原理與工藝[M] . 上海:上?？茖W(xué)技 術(shù)出版社,1984.[5] 黃漢云. 太陽(yáng)能光伏發(fā)電應(yīng)用原理. 化學(xué)工業(yè)出版社[6] 時(shí)間：20091016 10:23:26 來(lái)源：國(guó)外電子元器件 作者：何堂貴、唐廣 電子科技大學(xué)致 謝本文從選題的確定，論文的寫作、修改到最后定稿得到了我的指導(dǎo)老師張志華老師悉心指導(dǎo)，我非常感謝老師和各個(gè)出版社給予我?guī)椭?，讓我從中學(xué)到了很多知識(shí)，在你們的幫助下我在逐漸的成長(zhǎng)。在大學(xué)的三年中，我也非常感謝我的老師和關(guān)心我的同學(xué)們，在你們關(guān)心和呵護(hù)下讓我在大學(xué)生活中過(guò)的很開(kāi)心，同時(shí)也非常感謝各位老師在學(xué)習(xí)上給我的細(xì)心指導(dǎo)和耐心的教導(dǎo)我們。在大家的關(guān)愛(ài)下，我不在是從前那一個(gè)天天愛(ài)玩的女孩，我已經(jīng)長(zhǎng)大了學(xué)會(huì)自己能獨(dú)立去面對(duì)所遇到的困難和挫折。此外，還要感謝光伏工程學(xué)院給我提供了一個(gè)這么好的學(xué)習(xí)環(huán)境，感謝學(xué)院關(guān)心我的其他老師，感謝你們這三年來(lái)對(duì)我關(guān)愛(ài)和幫助，在你們的幫助下我才能夠順利的完成論文，真的非常感謝你們，謝謝！ 作者：李 清 2010年9月于江西渝州科技職業(yè)學(xué)院光伏工程學(xué)院]。因此，POCl3氣氛中擴(kuò)散可以獲得很高的表面雜質(zhì)濃度。該擴(kuò)散模式（裝置如圖3所示）除了具有設(shè)備簡(jiǎn)單，操作方便，適合批量生產(chǎn)，擴(kuò)散的重復(fù)性、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)以外，還具有如下的優(yōu)點(diǎn)：（1） 封閉的雙面擴(kuò)散有很好的吸雜效應(yīng)；（2） 摻雜源中的氯在工藝過(guò)程中有清潔作用；（3） 摻雜劑的、管式爐的工藝過(guò)程容易保持潔凈；（4） 沉積非常均勻。圖3 POCl3擴(kuò)散模式的裝置示意圖因此該擴(kuò)散模式是工業(yè)化生產(chǎn)中較為常用的方式。4 結(jié)論 晶體硅太陽(yáng)電池的主要工藝制作過(guò)程包括制絨、擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結(jié)等，每道工序的相關(guān)控制參數(shù)都直接或間接地與電池電性能參數(shù)相關(guān)聯(lián)。對(duì)于擴(kuò)散工序而言，擴(kuò)散的均勻性直接體現(xiàn)在硅片形成的PN結(jié)結(jié)深差異性上，均勻性好反映出結(jié)深差異性小，反之亦然。而不同的PN結(jié)結(jié)深其燒結(jié)條件不一樣。從另一方面，同樣的燒結(jié)條件生產(chǎn)應(yīng)用于擴(kuò)散均勻性好的在制電池片，其歐姆接觸性能、填充因子等電性能參數(shù)一致性好，最終體現(xiàn)在太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)換效率一致性的可控性。用實(shí)驗(yàn)方法分析影響晶體硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散均勻性的氣氛?qǐng)鲆蛩丶捌涔に囌{(diào)節(jié)優(yōu)化改善方法，在工藝調(diào)試過(guò)程中需要注意這些氣氛?qǐng)鲆蛩厥窍嗷リP(guān)聯(lián)影響的，一般先優(yōu)化改善均流板的均勻分流設(shè)計(jì)和廢氣排放位置因素，再綜合工藝氣體流量、排氣量等其他相關(guān)因素系統(tǒng)調(diào)整爐內(nèi)壓強(qiáng)平衡。通過(guò)擴(kuò)散均勻性的優(yōu)化調(diào)節(jié)?？梢院芎玫馗纳铺?yáng)電池的填充因子FF、并聯(lián)電阻Rsh、串聯(lián)電阻Rs和開(kāi)路電壓Ucc等電性能，從而降低電池的制造成本。擴(kuò)散的要求是獲得適合于太陽(yáng)電池PN結(jié)所需的姐深和擴(kuò)散層方塊電阻。線結(jié)的表面濃度低，電池短波響應(yīng)好，但會(huì)引起串聯(lián)電阻增加，只有提高電極柵線的密度，才能有效的提高電池的填充因子，這樣就增加了工藝難度；如果表面濃度太大，會(huì)引起重?fù)诫s效應(yīng)，使得電池的開(kāi)路電壓、短路電流下降，在實(shí)際電池制作中，應(yīng)綜合考慮各種因素。5 致謝大學(xué)生活一晃而過(guò)，回首走過(guò)的歲月，心中倍感充實(shí)，當(dāng)我寫完這篇畢業(yè)論文的時(shí)候，有一種如釋重負(fù)的感覺(jué)，感慨良多。感謝培養(yǎng)教育我的學(xué)校，濃厚的學(xué)術(shù)氛圍，舒適的學(xué)習(xí)環(huán)境我將終生難忘！祝母校蒸蒸日上，永創(chuàng)輝煌！祝校長(zhǎng)財(cái)源滾滾，仕途順利！感謝老師對(duì)我傾囊賜教，諸位恩師的諄諄訓(xùn)誨我將銘記在心。祝恩師們身體健康，家庭幸福！感謝我的林逢春老師，他們嚴(yán)謹(jǐn)細(xì)致、一絲不茍的作風(fēng)一直是我工作、學(xué)習(xí)中的榜樣；他們循循善誘的教導(dǎo)和不拘一格的思路給予我無(wú)盡的啟迪。 在論文即將完成之際，我的心情無(wú)法平靜，從開(kāi)始進(jìn)入課題到論文的順利完成，有多少可敬的師長(zhǎng)、同學(xué)、朋友給了我無(wú)言的幫助，在這里請(qǐng)接受我誠(chéng)摯的謝意！6參考文獻(xiàn) 【1】李一龍、賴國(guó)勝、樊農(nóng)艷《硅太陽(yáng)電池制備工藝》?！?】楊金煥、于代叢、葛亮一《太陽(yáng)能光伏發(fā)電應(yīng)用技術(shù)》?！?】王君一、徐任學(xué)《太陽(yáng)能利用技術(shù)》?！?】趙建華。過(guò)去十年硅太陽(yáng)電池研究的進(jìn)展。擴(kuò)散技術(shù)，【5】杜永超、韓志剛、秦美蓉等提高硅太陽(yáng)電池效率的措施。第八屆光伏會(huì)議論文集，2003 14
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