低壓擴散應(yīng)用于晶硅太陽電池的可行性工作總結(jié)報告-資料下載頁
2025-08-02 23:34本頁面
【正文】 藝探索中各氣氛流量、時間、溫度的不斷調(diào)試修正，形成一套適合設(shè)備現(xiàn)狀、生產(chǎn)實際和技術(shù)要求的工藝是本技術(shù)的創(chuàng)新點。四、低壓擴散特點及應(yīng)用情況低壓擴散技術(shù)特點非常突出，工藝中低的雜質(zhì)源飽和蒸氣壓、提高了雜質(zhì)的分子自由程，它對156尺寸的硅片每批次產(chǎn)量1000片的情況下其擴散均勻性仍優(yōu)于5%，是高品質(zhì)擴散的首選與環(huán)境友好型的生產(chǎn)方式。有研究表明，降低擴散爐工作腔內(nèi)的氣壓會提高擴散爐管內(nèi)氣流的均勻性，避免湍流產(chǎn)生，從而提高擴散的均勻性。目前，國外先進的低壓擴散技術(shù)可使晶體硅電池在高至120Ω/sq 的方塊電阻范圍內(nèi)仍具有優(yōu)異的擴散均勻性，為晶體硅太陽能電池效率的進一步提高奠定了基礎(chǔ)。此外，低壓擴散還有諸多優(yōu)點，例如隨著方阻均勻性的提高，這樣帶來的效果是在設(shè)備體積不變的情況下產(chǎn)能大幅提升。另外，采用低壓工藝以后，擴散過程化學(xué)品的吸收效率大幅提高，可大大降低工藝過程中化學(xué)品的用量，節(jié)省成本。鑒于低壓擴散所具有的高均勻性、高產(chǎn)能、和低消耗的優(yōu)勢，低壓擴散爐能夠在低成本和小占地面積的情況下生產(chǎn)高品質(zhì)的太陽電池，為晶體硅太陽電池擴散工藝設(shè)定了全新標(biāo)準(zhǔn)，是未來擴散工藝發(fā)展的趨勢。五、科技成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)化經(jīng)費投入情況，包括總經(jīng)費和科研經(jīng)費投入情況。 項目自2016年12月底完成以來，已應(yīng)用于公司新生產(chǎn)線，投入規(guī)?；a(chǎn)，同時，將項目研發(fā)過程中形成的核心技術(shù)，關(guān)鍵材料和技術(shù)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。經(jīng)紹興興業(yè)會計師事務(wù)所有限公司審計，項目投入技術(shù)開發(fā)經(jīng)費合計萬元，包括：科研用材料費萬元，人員經(jīng)費萬元，測試費萬元，水電費萬元。六、 成果轉(zhuǎn)化、產(chǎn)業(yè)化完成的技術(shù)和經(jīng)濟效益指標(biāo)。項目實施以來，已較好完成合同規(guī)定的技術(shù)、研制出低壓擴散工藝，設(shè)計出合適的工藝參數(shù)，生產(chǎn)成本降低5～10%，~%。關(guān)鍵材料和技術(shù)擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。 項目還培養(yǎng)了公司一批優(yōu)秀專業(yè)技術(shù)人員。本項目通過公司技術(shù)人員的努力，已獲得成功，并應(yīng)用于公司大生產(chǎn)中，銷往歐洲國家，應(yīng)用于太陽能電站、建筑工程、廣告牌供電等領(lǐng)域。七、推廣應(yīng)用的條件和背景、存在的問題該項目的工業(yè)化，相比較于國內(nèi)相同產(chǎn)品的工藝有較大提高，成本有較大下降。該項目的投產(chǎn)可極大地推動國內(nèi)太陽能行業(yè)的發(fā)展，為我國可再生能源的開發(fā)利用打開更好的發(fā)展空間。 7
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