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藍(lán)寶石項(xiàng)目晶體生長技術(shù)研究報(bào)告-資料下載頁

2025-05-13 23:27本頁面
  

【正文】 的擴(kuò)充幅度,預(yù)期將是未來營收成長的動(dòng)能。截止2011年2月28日,GT Solar已收到了四批對其藍(lán)寶石晶體生長系統(tǒng)的訂單。其中兩份分別來自江蘇吉星新材料公司及九江賽翡科技有限公司;訂單總價(jià)值超過8400萬美元,還有一份來自韓國OCI Company, Ltd.,訂單價(jià)值3330萬美元;最后一份訂單也來自亞洲,具體什么公司未獲知,訂單價(jià)值4160萬美元。這些訂單的簽署標(biāo)志著GT Solar正式邁進(jìn)LED設(shè)備市場。圖33 GT Solar先進(jìn)的HEM法藍(lán)寶石生長爐圖34 藍(lán)寶石爐生長控制界面(由圖33中放大)圖334為GT Solar先進(jìn)的HEM法藍(lán)寶石生長爐。**;重量約2噸;;功率80KVA;100KG的晶體生長周期小于等于18天;A軸從下向上生長;低應(yīng)力;單爐臺(tái)產(chǎn)能大于100000TIE(TIE = two inch equivalence, 2寸等價(jià))。以上是爐子的一些參數(shù),詳細(xì)情況有待進(jìn)一步考察。公司產(chǎn)品見附件六。 俄羅斯VNIISIMS圖35 VNIISIMS公司藍(lán)寶石長晶爐(臺(tái)灣越峰長晶設(shè)備)圖36 VNIISIMS公司藍(lán)寶石長晶爐生長的藍(lán)寶石單晶俄羅斯材料研究機(jī)構(gòu)Vniisims 公司(Russian Research Institute for the synthesis of Materials)。Vniisims 公司在研發(fā)各式晶石的長晶技術(shù)上已有50 多年的歷史(自1954 年設(shè)立至今),已累積了非常豐富的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)與成果,成功地生長制造出很多的人工晶體,多數(shù)已提供作為國防工業(yè)與半導(dǎo)體工業(yè)之關(guān)鍵零組件的材料之用。圖336是Vniisims公司的藍(lán)寶石長晶爐和所生長的藍(lán)寶石單晶。臺(tái)灣越峰電子材料股份有限公司使用的就是這種長晶爐,該設(shè)備的長晶方法是KY法。 江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司天龍光電()已掌握拉晶法(CZ法)與泡生法(KY法)兩種藍(lán)寶石晶體生長技術(shù),目前最大晶體可切8吋藍(lán)寶石基板,目前除已掌握日本代工訂單外,國內(nèi)合作意向廠商眾多。不過據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露,天龍的爐子不帶熱場,不含工藝,只管賣空殼,價(jià)格較低,40 60W RMB之間。暫無其它資料,有待進(jìn)一步考察。 江蘇常州市祺科機(jī)械制造有限公司圖37為常州祺科公司的QK系列藍(lán)寶石單晶爐,該單晶爐是采用直拉法工藝生長藍(lán)寶石、激光、氧化物固體單晶材料,可在真空、大氣或充入惰性氣體、在可控的局部壓力狀態(tài)下運(yùn)行??刹捎弥蓄l或電阻電源加熱??梢陨a(chǎn)2英寸、4英寸藍(lán)寶石晶體,LED襯底材料。具體資料詳見公司主頁:。圖37 常州祺科公司的QK系列藍(lán)寶石單晶爐 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所圖38為上海光機(jī)所溫度梯度法藍(lán)寶石單晶爐。暫無其它資料!圖38 上海光機(jī)所溫梯法藍(lán)寶石單晶爐 光谷光電暫無資料! 日本住金暫無資料!據(jù)業(yè)內(nèi)人士說爐子較好,價(jià)格較貴,200W以上。但一直無法獲得相關(guān)爐子信息,也不知道國內(nèi)有沒廠家在用。 日本第一機(jī)電暫無資料! 生產(chǎn)流程準(zhǔn)備原料填充原料及架設(shè)晶種爐體抽真空晶體與坩堝分離原料熔化熔接晶種晶頸生長晶體生長爐體加熱冷卻取出晶體Sapphireingot藍(lán)寶石單晶生長流程Sapphireingot宏觀檢測鉆取晶圓棒晶圓棒定向晶圓棒切片鑲埋、研磨、拋光及腐蝕微硬度分析微觀檢測計(jì)算位錯(cuò)密度檢驗(yàn)合格藍(lán)寶石晶片加工流程圖39 藍(lán)寶石單晶生長和晶片加工流程圖圖39為藍(lán)寶石單晶生長和晶片加工流程圖,其中藍(lán)寶石單晶生長流程是以臺(tái)灣越峰藍(lán)寶石單晶爐和KY法生長技術(shù)為例。具體流程詳見附件七。 總結(jié)高品質(zhì)、低成本的晶體材料生長技術(shù)是世界各國關(guān)注的難點(diǎn)和重點(diǎn)。從目前的技術(shù)水平來看,先進(jìn)的藍(lán)寶石長晶技術(shù)由美國、日本與俄羅斯掌握,由于藍(lán)寶石材料有著較強(qiáng)的軍工應(yīng)用背景需求,因此各國均將該項(xiàng)技術(shù)列為高度機(jī)密內(nèi)容,其中美國與日本對長晶技術(shù)嚴(yán)密封鎖,其它國家難以取得關(guān)鍵技術(shù)。國內(nèi)自主研發(fā)的藍(lán)寶石晶體生長設(shè)備,是基于傳統(tǒng)方法和技術(shù)開發(fā)建設(shè)的實(shí)驗(yàn)室級(jí)產(chǎn)品。與美國、俄羅斯、烏克蘭等國相比,我國的單晶爐大多技術(shù)原理方法落后,設(shè)備自動(dòng)化程度低,晶體尺寸小,質(zhì)量難以達(dá)到光學(xué)級(jí)水平,材料利用率低,成本高,成果轉(zhuǎn)化及規(guī)模生產(chǎn)不足,產(chǎn)品市場競爭力弱。因此臺(tái)灣與中國廠商的藍(lán)寶石長晶技術(shù)基本主要來自俄羅斯和烏克蘭。就技術(shù)差別來看,美國Rubicon采用ES2技術(shù),在2009年公司宣布成功生長出“世界上最大的藍(lán)寶石晶體”,重量高達(dá)200kg,可用以切出12吋藍(lán)寶石基板,Rubicon宣稱ES2技術(shù)產(chǎn)品缺陷率低于其它技術(shù)。美國Crystal Systems則采HEM熱交換法,日本廠商則多以拉晶(Czochralski Method,CZ 法) 與導(dǎo)模法為主(Edgedefined Filmfed Growth,EFG法),俄羅斯以KY法(Kyropulos Method,又稱泡生法)為主,臺(tái)灣與中國廠商長晶技術(shù)主要源于俄羅斯KY法,俄羅斯長晶技術(shù)轉(zhuǎn)讓費(fèi)低,規(guī)?;a(chǎn)后成本仍具吸引力。目前藍(lán)寶石基板仍多以CZ法與KY法為主流,藍(lán)寶石基板以24吋為主,基于成本因素與設(shè)備廠商開發(fā)進(jìn)程,預(yù)估短期轉(zhuǎn)至68吋機(jī)率仍較低。5. 國外藍(lán)寶石襯底企業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展 國外因南韓、臺(tái)灣與大陸等地區(qū)LED廠自2009年以來陸續(xù)擴(kuò)充有機(jī)金屬化學(xué)氣相磊晶(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)設(shè)備產(chǎn)能,帶動(dòng)全球藍(lán)寶石晶棒需求增加,然2009年全球藍(lán)寶石晶棒廠擴(kuò)產(chǎn)趨于保守,致使2010年全球藍(lán)寶石晶棒供貨不足,以2吋藍(lán)寶石基板為例,其價(jià)格已由2009年上半的7美元持續(xù)上漲至2010年底的30美元左右,于此背景下,2010年下半起全球主要藍(lán)寶石晶棒廠紛紛擴(kuò)產(chǎn)。圖40為2010年2吋晶圓的美國國內(nèi)售價(jià)走勢。截止3月底,已降至25美元左右。圖40 2吋晶圓的美國國內(nèi)售價(jià)走勢,橫軸的時(shí)間沒有特殊規(guī)律因歷經(jīng)全球藍(lán)寶石晶棒供貨不足現(xiàn)象,全球主要藍(lán)寶石晶棒廠雖陸續(xù)擴(kuò)產(chǎn),然因各廠擴(kuò)產(chǎn)腳步不一,且藍(lán)寶石晶棒新進(jìn)業(yè)者家數(shù)漸增,此將導(dǎo)致2011年全球藍(lán)寶石晶棒廠商別產(chǎn)能占有率產(chǎn)生變化。依全球藍(lán)寶石晶棒廠商別月產(chǎn)能來看,美商Rubicon于2009年至2010年上半居全球龍頭地位,不過,韓廠Sapphire Technology Company (STC)因擴(kuò)產(chǎn)腳步相對較快,已于2010年第3季超越Rubicon,主因STC于南韓政府扶植計(jì)畫中獲資金支持,有利于2011年(含)后其加速藍(lán)寶石晶棒擴(kuò)產(chǎn)腳步。 2011年雖全球藍(lán)寶石晶棒主要廠商擴(kuò)產(chǎn)速度不一,但依其擴(kuò)產(chǎn)目標(biāo)來看,韓廠STC可望躍居全球藍(lán)寶石晶棒龍頭地位,此將導(dǎo)致美國Rubicon與俄羅斯Monocrystal排名分別后退至第2與第3,且因臺(tái)廠越峰積極擴(kuò)產(chǎn),2011年底可望躍升至全球第4地位,故日廠京瓷(Kyocera)與并木精密寶石(Namiki Precision Jewel,簡稱并木)排名將分別后退至第5與第6;而2011年韓廠Astek亦可望居第7地位,其于全球藍(lán)寶石晶棒市場影響力將上揚(yáng)。2011年因南韓、大陸等地區(qū)藍(lán)寶石晶棒新進(jìn)廠商家數(shù)增加,預(yù)測2011年底美國、%;相較之下,因韓廠STC可望居全球晶棒廠產(chǎn)能之冠,%,考量南韓尚有Hansol LCD、LG Siltron等業(yè)者已自2010年以來陸續(xù)跨足藍(lán)寶石晶棒事業(yè),預(yù)料2011年韓廠于全球晶棒產(chǎn)業(yè)地位將持續(xù)上揚(yáng)。圖41為全球前7大晶棒廠擴(kuò)產(chǎn)前后月產(chǎn)能變化。圖42為2011年全球藍(lán)寶石晶棒廠商月產(chǎn)能擴(kuò)充目標(biāo)占有率。2009~2011年全球藍(lán)寶石晶棒廠商月產(chǎn)能變化注1:日廠京瓷與并木是由3吋藍(lán)寶石基板片數(shù)換算為晶棒長度,其他廠商則以2吋藍(lán)寶石基板為基準(zhǔn)計(jì)算而來。注2:2011年是指各廠商擴(kuò)產(chǎn)目標(biāo),然實(shí)際擴(kuò)產(chǎn)速度將不一致。注3:韓廠STC為Sapphire Technology Company縮寫。資料來源:DIGITIMES,2010/12圖41 全球前7大晶棒廠擴(kuò)產(chǎn)前后月產(chǎn)能變化2011年全球藍(lán)寶石晶棒廠商月產(chǎn)能擴(kuò)充目標(biāo)占有率一覽注1:日廠京瓷與并木是由3吋藍(lán)寶石基板片數(shù)換算為晶棒長度,其他廠商則以2吋藍(lán)寶石基板為基準(zhǔn)計(jì)算而來。注2:此為2011年各廠商擴(kuò)產(chǎn)目標(biāo),然實(shí)際擴(kuò)產(chǎn)速度將不一致。資料來源:DIGITIMES,2010/12圖42 2011年全球藍(lán)寶石晶棒廠商月產(chǎn)能擴(kuò)充目標(biāo)占有率藍(lán)寶石晶棒主要生產(chǎn)技術(shù)中,以凱氏法與VHGF法于量產(chǎn)效益表現(xiàn)相對較佳,其中,采用凱氏法的廠商有美商Rubicon、俄羅斯Monocrystal、臺(tái)廠越峰、韓廠Astek;采用VHGF法的廠商則為韓廠STC。至于日廠京瓷與并木,均采用EFG法。依全球藍(lán)寶石晶棒地區(qū)別月產(chǎn)能擴(kuò)充目標(biāo)占有率來看,%居冠,% %,且Hansol LCD、LG Siltron、Biemt等韓廠已自2010年以來陸續(xù)跨足藍(lán)寶石晶棒事業(yè),預(yù)料2011年韓廠于全球晶棒產(chǎn)業(yè)地位將持續(xù)上揚(yáng)。 相較之下,美國、俄羅斯及日本地區(qū)于全球合計(jì)產(chǎn)能占有率將由2010年底的59%%%,意味原先美國與俄羅斯于全球晶棒市場居領(lǐng)先地位局勢將產(chǎn)生改變。 國內(nèi) 國內(nèi)(含臺(tái)灣)藍(lán)寶石襯底基片生產(chǎn)廠家名單1. 臺(tái)灣越峰電子材料股份有限公司2. 臺(tái)灣鑫晶鉆科技股份有限公司3. 臺(tái)灣兆晶科技股份有限公司4. (聯(lián)電集團(tuán))臺(tái)灣兆遠(yuǎn)科技股份有限公司5. (大同集團(tuán))臺(tái)灣晶美應(yīng)用材股份有限公司6. 臺(tái)灣中美矽晶制品股份有限公司7. 臺(tái)灣合晶科技股份有限公司8. 臺(tái)灣竹科半導(dǎo)體材料有限公司9. 臺(tái)灣尚志半導(dǎo)體股份有限公司10. 哈爾濱工大奧瑞德光電技術(shù)有限公司11. 云南藍(lán)晶科技有限責(zé)任公司12. 重慶四聯(lián)光電科技有限公司13. 青島嘉星晶電科技股份有限公司14. 深圳愛彼斯通半導(dǎo)體材料有限公司15. 合肥科晶材料技術(shù)有限公司16. 揚(yáng)州華夏集成光電有限公司17. 重慶川儀自動(dòng)化股份有限公司晶體科技分公司18. 北京國晶輝紅外光學(xué)科技有限公司19. 浙江天通電子股份有限公司20. 蘇州天力晶體有限公司21. 天津賽法晶片技術(shù)有限公司22. 成都東駿激光股份有限公司23. 四川鑫通新材料有限責(zé)任公司24. 江蘇元亮科技有限公司25. 焦作市科瑞斯達(dá)光電材料有限公司26. 27. 浙江巨化集團(tuán)興化公司晶體材料廠(已停產(chǎn)) 國內(nèi)(含臺(tái)灣)藍(lán)寶石襯底基片正在上馬的廠家名單1. 臺(tái)灣晶元光電股份有限公司2. 常州歐亞藍(lán)寶光電科技有限公司3. 貴陽市工業(yè)投資(集團(tuán))有限公司4. 協(xié)鑫光電科技(江蘇)有限公司5. 浙江水晶光電科技股份有限公司6. 長治虹源科技晶體有限公司7. 江蘇吉星新材料有限公司8. 九江賽翡藍(lán)寶石科技有限公司9. 西安神光安瑞光電科技有限公司10. 浙江東晶電子股份有限公司(北京
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