微電子學(xué)概論chappt課件-資料下載頁
2025-05-12 04:24本頁面
【正文】 工學(xué)院（ CIT） 組成的研究小組提出了一個 “數(shù)字推進(jìn)概念 ”方案 。 硅片上有集成電路來開啟和控制每個微推進(jìn)器 。 整個推進(jìn)系統(tǒng)還可充當(dāng)衛(wèi)星的散熱器 ， 以進(jìn)一步減小衛(wèi)星的有效載荷 。 制作方法可以用目前已成熟的MEMS 及 LIGA 技術(shù) 。圖為他們于 99年初發(fā)表了 3 5陣列的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機(jī) 。 微推進(jìn)器 ? 組成 : 由 5到 6片芯片疊在一起，內(nèi)有混合燃燒室、噴口噴管、兩個泵和兩個閥以及冷卻管道的 多器件集成系統(tǒng)。用液態(tài)氧和乙醇作燃料 ? 性能：能產(chǎn)生 15N的推力，推力重量比達(dá) 1500:1， 是大火箭推進(jìn)器的 10~100倍，反映了微系統(tǒng)的潛力 微推進(jìn)器 新概念的微型雙組元火箭發(fā)動機(jī)結(jié)構(gòu)圖 ?采用微電子加工技術(shù)，可以在 指甲蓋大小的硅片上制作出包含有多達(dá) 10萬種 DNA基因片段的芯片。 利用這種芯片可以在極快的時間內(nèi)檢測或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化等情況，這無疑對遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重要的作用 ?Stanford和 Affymetrix公司的研究人員已經(jīng)利用微電子技術(shù)在硅片或玻璃片上制作出了 DNA芯片。包括 6000余種 DNA基因片段 A B C D 結(jié) 束 語 MEMS技術(shù) 一般意義上的系統(tǒng)集成芯片 廣義上的系統(tǒng)集成芯片 電 、 光 、聲 、 熱 、磁力等外界信號的采集 —各種傳感器 執(zhí)行器、顯示器等 信息輸入與模 / 數(shù)傳輸 信息處理 信息輸出與數(shù) / 模轉(zhuǎn)換 信息存儲 The systemonachip of the future? 微電子器件、納電子器件、自旋電子器件、 光電子器件、 MEMS器件 微電子 納電子 宏電子 MEMS 作業(yè) MEMS工藝與微電 子工藝技術(shù)有哪些區(qū)別。 列舉幾種你所知道的 MEMS器件，并簡述其用途。
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