特氣系統(tǒng)報告ppt課件-資料下載頁
2025-05-05 02:22本頁面
【正文】 B之 氣動閥進(jìn) 行 氣體 系 統(tǒng) 的 自動 分段隔 離 40 供 氣閥盤 VMB/VMP 41 41 VMB/VMP照片 42 42 VMB/VMP PID 43 43 式 與 集 體 化 閥盤 之比 較 44 44 傳統(tǒng) 式 集體 化 空 間 大 小 焊接 點 、 彎 曲 點 多 少 安 裝 復(fù)雜 佳 維護(hù)費用 低 高 安全性 稍差 較 佳 式 與 集 體 化 閥盤 之比 較 45 45 氣體 項目 特性 TLV or TEL Cl2 毒 、 腐 、 臭 500 ppb PH3 燃 、 毒 、 臭 300 ppb AsH3 燃 、 毒 、 臭 50 ppb SiH4 燃 、 毒 、 臭 5 ppm B2H6 燃 、 毒 、 臭 100 ppb HBr 毒 、 腐 、 臭 3 ppm SiH2Cl2 燃 、 毒 、 腐 、 臭 5 ppm(Ceiling) NF3 毒 、 腐 、 臭 10 ppm BCl3 毒 、 腐 、 臭 5 ppm (Ceiling) GeH4 燃 、 毒 、 臭 200 ppb N2O 助燃 50 ppm HCl 酸 5 ppm NH3 鹼 25 ppm H2 燃 4% (爆炸下限值 ) CH4 燃 5% (爆炸下限值 ) :一般工作人員每天工作 8小時 ， 每週工作 40小時 ， 終其一生不受傷之最高濃度 (一 ) Warm TLV Alarm 1 TLV (二 ) Warm 1 TLV Alarm 2 TLV 4. TEL:爆炸下限 5. Ceiling： 最高容許濃度 氣體 的 TLV值 46 46 氣體偵測 器的 種類 電 化 學(xué) 式 試紙 帶反 應(yīng) 式 紅 外 線 (IR) O O CO、CO SONO、 NO HHCN、 H2S、Cl HCl、 CClCOCl NHPH HF及一般可溶 于 水，且可解 離 成 離 子 狀態(tài)之化合物 Cl HF、HCl、 HBr、BCl SiHPH B2HAsH NH3…等 CH CO及碳 氫 化合物，除 O HN2等 雙 原子 氣體 47 47 偵測 方式 優(yōu)點 缺 點 電 化 學(xué) 式 、操作容易 濃度輸 出 為 直 線 形 之 選擇 性佳 格便宜 靈 敏度 補 充 電 解液 換 sensor 試紙 帶反 應(yīng) 式 (比色法 ) 濃 度 偵側(cè) 適當(dāng) 的 選擇 性 成本昂貴 色帶之 顏 色，造成校正困 難 經(jīng) 常更 換 色帶 應(yīng)時間較長 紅 外 線 (IR) 偵測 濕度 太高 ， 水 氣 容易破壞 腔 體 易 影響監(jiān)測 值 器的 優(yōu) 缺 點 比 較 48 187。 氣 瓶 柜 之 風(fēng) 管 187。 VMB之 風(fēng) 管 187。 制 程 機(jī)器臺 之 風(fēng) 管 (非 制 程 氣體排氣管 ) 187。 制 程 機(jī) 臺之 周圍環(huán)境 187。 氣體供應(yīng) 室的 環(huán)境 187。 備料鋼瓶 存 柜 187。 其他 (有 機(jī)械 接 點 的位置 ) 48 器的 布點 位置 49 187。 需符合 氣 流的方向 187。 需 考慮偵測氣體 比空 氣輕 或重 187。 是否 會 受到非目 標(biāo)物 之影 響 187。 是否 會 受 環(huán)境 污染物之影 響 187。 是否 會 受 環(huán)境 的 溫濕度 之影 響 187。 是否 會 受 電 磁 場 之干 擾 187。 是否方便日 后 之 維護(hù) 49 器的 布點 方式 50 5
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