特氣系統(tǒng)報告ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-01 02:22 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 氣 瓶 柜 管路 設計 24 24 組 件 氣動 (N2)控制 閥（ Air Valve） 手 動 控制 閥 （ Manual Valve） 逆止 閥 (Check Valve) 調(diào)壓閥 (Regulator) 壓 力 傳感 器 (Pressure Transmitter) 真空 產(chǎn) 生器 (Vacuum Generator) 氣體過濾 器 (Line Filter) 流量 偵測 器 (Flow Sensor) 限流孔 (Orofice) 25 25 瓶 柜 安全 防護設計 抽 氣裝 置 UV/IR火焰 偵測 器 消防 灑水頭 氣體泄露偵測 器 鋼 瓶 緊 急 關斷閥 (Valve Shutter) 過 流量 開關裝置 高 壓測試 管路 設計 現(xiàn)場 EMO、 遠端 停 機開關 26 26 排 氣 管 保 溫 棉 消 防管 EMO Valve Shutter 加 熱線 觸 控面板 瓶 柜 附 屬 配件 27 氣 瓶 柜 內(nèi)可能漏 氣處 (例如 :鋼 瓶 頭 、 壓 力 調(diào) 整器、 壓 力控制器 … 等 )提供至少 m/sec風 速 27 瓶 柜排氣量設計 鋼瓶模式 排氣量 2鋼 式之 氣 瓶 柜 300 立方英尺／每分鐘 3鋼 式之 氣 瓶 柜 450立方英尺／每分鐘 排氣量會 影 響 防爆 半徑 28 28 瓶 柜 的 緊 急 關斷時機 氣體 泄露 火災 報警 地震儀器作動 過流量報警 EMO 氣柜關斷 29 187。 停止 氣 瓶 柜 供 氣 187。 由 氣 瓶 柜將 一次 側(cè) 管路 Vent并 Purge干凈 187。 充填 PN2保 壓 187。 記錄鋼 瓶出口 壓 力值 與機 臺供 應壓力 值 187。 關閉 控制箱之電源 斷 路器 187。 確認鋼瓶閥關閉 187。 關斷氣體供應 室 相關電 力 29 注 一：若有任何施工可能 導致 管路 斷裂 以致 于氣體 外 泄 之考量 ， 除 Vent外 ， 尚 須 進 行30次以上之 Cycle Purge。 另外 ， 若 為惰性氣體 ， 則 不需 進行 Vent動 作 。 注 二：具 Valve Shutter裝置之 鋼 瓶 于斷電后隨即關閉 出口 閥 ， 若 無 此裝置 則 需由 人員手動將 出口 閥關 閉 。 停 電處 理程序 30 187。 氣體 室裝 偵煙 感知器 187。 可燃性 氣體 加裝 UV/IR火焰 偵測 器 187。 可燃性 氣體 加裝消防 灑 水 頭 ? Cl2： 因 會與水 起激烈反 應 ，不可安裝 噴 水 頭 187。 與 自 動廣播 系 統(tǒng)連線 187。 氣體 室 環(huán) 境可 考慮 加裝「 極 早期火 焰 預警 偵測器 30 設計 31 31 測試項 目 驗 收內(nèi)容 出 廠時 面填充 PN2 保 壓 (12 bar) He泄露測試 2 109 微粒子 測試 1. PN2流量 ? 30 ml/sec 2. 微粒子 ? 5 EA/ft3 at ?m 3. 微粒子 0 EA/ft3 at 大 于 ?m H2O含量 測試 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. H2O濃 度差 10 ppb O2含量 測試 1. PN2流量 ? 10 LPM 2. O2濃度 差 10 ppb 瓶 柜 的 驗 收 規(guī) 格 32 32 單 套管：惰性 氣體 雙 套管： 腐蝕 性 /可燃性 /毒性 一般要求 SiH PH AsH3 316L EP管 (ElectroPolish) 316L BA管 (Bright Anneal) 316 AP管 (未 經(jīng)處理 之素管 ) 依氣體特性 依制程需求 33 187。 輸 送距
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