電子束與材料的相互作用-資料下載頁
2025-05-03 08:20本頁面
【正文】 非彈性散射電子 (即特征能量損失電子)和分析區(qū)域的成分有關(guān)，因此，可以利用特征能量損失電子配合電子能量分析器來進行微區(qū)成分分析。 ? （ 5） 特征 X射線， 當樣品原子的內(nèi)層電子被入射電子激發(fā)或電離時。原子就會處于能量較高的激發(fā)狀態(tài)。此時外層電子將向內(nèi)層躍遷以填補內(nèi)層電子的空缺，從而使具有特征能量的 x射線釋放出來。 根據(jù)莫塞萊定律，如果我們用 x射線探測器測到了樣品微區(qū)存在某一種特征波長，就可以判定這個微區(qū)中存在著相應(yīng)的元素。 ? （ 6） 俄歇電子， 在入射電子激發(fā)樣品的特征 X肘線過程中，如果在原子內(nèi)層電子能級躍遷過程中釋放出來的能量并不以 x射線的形式發(fā)射出去，而是用這部分能量把空位層內(nèi)的另一個電子發(fā)射出去，這個被電離出來的電子稱為俄歇電子。 特別適用做 1nm左右范圍內(nèi)表層成分分析。 電子能譜 圖 95 電子與固體作用產(chǎn)生的發(fā)射電子譜（示意圖） 表 91 電子與材料相互作用產(chǎn)生的信號 及據(jù)之發(fā)展起來的分析方法 －二次電子像 －背散射電子像 － BSE －不同溫度下燒結(jié)樣品的 SEM圖 － TEM ZrO2－ CeO2陶瓷選區(qū)衍射
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