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磁控濺射工藝簡介ppt課件-資料下載頁

2025-05-01 23:13本頁面
  

【正文】 濺射原理解釋 二、濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 使靶材原子或分子等濺射出來并在管面經(jīng)過吸附、凝結(jié)、表面擴散遷移、碰撞結(jié)合形成穩(wěn)定晶核。然后再通過吸附使晶核長大成小島,島長大后互相聯(lián)結(jié)聚結(jié),最后形成連續(xù)狀薄膜。 三、磁控濺射原理解釋 四、反應(yīng)濺射 四、反應(yīng)濺射 四、反應(yīng)濺射 五、常見薄膜 五、常見薄膜 六、影響薄膜質(zhì)量的因素 請批評指正,謝謝!
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