電鏡結(jié)構(gòu)ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-05-01 18:20本頁(yè)面
【正文】 1）照明部分 （ 1）陰極：又稱燈絲，一般是由 ~ V 或 Y形狀。 （ 2）陽(yáng)極：加速?gòu)年帢O發(fā)射出的電子。為了安全，一般都是 陽(yáng)極接地，陰極帶有負(fù)高壓。 （ 3）控制極：會(huì)聚電子束；控制電子束電流大小，調(diào)節(jié)象的 亮度。 陰極、陽(yáng)極和控制極決定著電子發(fā)射的數(shù)目及其動(dòng)能，因此，人們 習(xí)慣上把它們通稱為“電子槍”。 （ 4）聚光鏡：由于電子之間的斥力和陽(yáng)極小孔的發(fā)散作用， 電子束穿過(guò)陽(yáng)極小孔后，又逐漸變粗，射到試樣上仍然過(guò)大。聚光 鏡就是為克服這種缺陷加入的，它有增強(qiáng)電子束密度和再一次將發(fā) 散的電子會(huì)聚起來(lái)的作用。 39 陰極（接 負(fù)高壓） 控制極（比陰極 負(fù) 100~1000伏） 陽(yáng)極 電子束 聚光鏡 試樣 圖 111 照明部分示意圖 40 2）成象放大部分 這部分有試樣室、物鏡、中間鏡、投影鏡等組成。 （ 1）試樣室：位于照明部分和物鏡之間，它的主要作用是通過(guò) 試樣臺(tái)承載試樣，移動(dòng)試樣。 （ 2）物鏡：電鏡的最關(guān)鍵的部分，其作用是將來(lái)自試樣不同點(diǎn) 同方向同相位的彈性散射束會(huì)聚于其后焦面上，構(gòu)成含有試樣結(jié)構(gòu) 信息的散射花樣或衍射花樣；將來(lái)自試樣同一點(diǎn)的不同方向的彈性 散射束會(huì)聚于其象平面上，構(gòu)成與試樣組織相對(duì)應(yīng)的顯微象。投射 電鏡的好壞，很大程度上取決于物鏡的好壞。 物鏡的最短焦距可達(dá) 1毫米，放大倍數(shù)約為 300倍，最佳分辨本 領(lǐng)可達(dá) 1埃，目前，實(shí)際的分辨本領(lǐng)為 2埃。 為了減小物鏡的球差和提高象的襯度，在物鏡極靴進(jìn)口表面和 物鏡后焦面上還各放一個(gè)光闌，物鏡光闌（防止物鏡污染）和襯度 光闌（提高襯度） 在分析電鏡中，使用的皆為雙物鏡加輔助透鏡，試樣置于上下 物鏡之間，上物鏡起強(qiáng)聚光作用，下物鏡起成象放大作用，輔助透 鏡是為了進(jìn)一步改善場(chǎng)對(duì)稱性而加入的。 41 近代高性能電鏡一般都設(shè)有兩 個(gè)中間鏡，兩個(gè)投影鏡。三級(jí)放大 放大成象成象和極低放大成象示意 圖如下所示 42 圖 112 （ a）高放大率 （ b）衍射 （ c）低放大率 物 物鏡 衍射譜 一次象 中間鏡 二次象 投影鏡 三次象 （熒光屏） 選區(qū)光闌 43 物鏡關(guān)閉 無(wú)光闌 中間鏡 （作物鏡用） 投影鏡 第一實(shí)象 （熒光屏） ???.普查象 圖 113 極低放大率象 44 3）顯象部分 這部分由觀察室和照相機(jī)構(gòu)組成。 在分析電鏡中，還有探測(cè)器和電子能量分析附件。 如下圖所示。 45 掃描發(fā)生儀 顯象管 和 XY 記錄儀 數(shù)據(jù) 處理 放大器 電子束 掃描線圈 入射光闌 電子能量 分析儀 能量選擇光闌 探測(cè)器 圖 114 掃描電子衍射和電子能譜分析附件示意圖 46 2 . 真空系統(tǒng) 為了保證真在整個(gè)通道中只與試樣發(fā)生相互作用，而 不與空氣分子發(fā)生碰撞，因此，整個(gè)電子通道從電子 槍至照相底板盒都必須置于真空系統(tǒng)之內(nèi)，一般真空 度為 毫米汞柱。 47 3 . 供電系統(tǒng) 透射電鏡需要兩部分電源： 一是供給電子槍的高壓部分， 二是供給電磁透鏡的低壓穩(wěn)流部分 。 電源的穩(wěn)定性 是電鏡性能好壞的一個(gè)極為重要的標(biāo)志。 所以，對(duì)供電系統(tǒng)的主要要求是產(chǎn)生高穩(wěn)定的加速電壓和 各透鏡的激磁電流。 近代儀器除了上述電源部分外，尚有自動(dòng)操作 程序控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。
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