電鏡結(jié)構(gòu)ppt課件-在線瀏覽
2025-06-18 18:20本頁(yè)面
【正文】 。遠(yuǎn)軸的電子通過(guò)透鏡是折射得比近軸電子要厲害的 多，以致兩者不交在一點(diǎn)上，結(jié)果在象平面成了一個(gè)滿散圓斑，半 徑為 還原到物平面，則 為球差系數(shù)，最佳值是 mm 。 18 α P’ 象 P’’ 透鏡 物 P 光軸 圖 84 球差 19 2）象差 磁場(chǎng)不對(duì)稱時(shí)，就出現(xiàn)象差。 這樣，圓形物點(diǎn)的象就變成了橢圓形的漫散圓斑，其平均半 徑為 還原到物平面 為象散引起的最大焦距差； 透鏡磁場(chǎng)不對(duì)稱，可能是由于極靴被污染，或極靴的機(jī)械不 對(duì)稱性，或極靴材料各項(xiàng)磁導(dǎo)率差異引起。 20 平面 B PA 透鏡平面 物 P 光軸 PB fA 平面 A 圖 85 象散 21 3）色差 電子的能量不同，從而波長(zhǎng)不一造成的，電子透鏡的焦距隨著電子能量而改變，因此，能量不同的電子束將沿不同的軌跡運(yùn)動(dòng)。 引起電子束能量變化的主要有兩個(gè)原因：一是電子的加速電壓不穩(wěn)定；二是電子束照射到試樣時(shí)，和試樣相互作用，一部分電子發(fā)生非彈性散射，致使電子的能量發(fā)生變化。 22 能量為 E的 電子軌跡 象 1 透鏡 物 P 光軸 圖 86 色差 能量為 E E的 電子軌跡 象 2 23 在電子透鏡中，球差對(duì)分辨本領(lǐng)的影響最為重要，因?yàn)闆](méi)有一種簡(jiǎn)便的方法使其矯正，而其它象差，可以通過(guò)一些方法消除 PAY ATTENTION 24 4）理論分辨距離 光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)基本上決定于象差和衍射，而象差基本上 可以消除到忽略不計(jì)的程度，因此，分辨本領(lǐng)主要取決于衍射。 顯微鏡的分辨極限是 電鏡情況下， ， 因此 可見(jiàn)，光闌尺寸過(guò)小，會(huì)使分辨本領(lǐng)變壞，這就是說(shuō)，光闌的最 佳尺寸應(yīng)該是球差和衍射兩者所限定的值 25 相對(duì)應(yīng)的最佳光闌直徑 式中的 f 為透鏡的焦距。 26 電子透鏡的場(chǎng)深和焦深 電子透鏡 分辨本領(lǐng)大 ， 場(chǎng)深（景深）大，焦深長(zhǎng) 。 焦深 是指在保持象清晰的前提下，象平面沿鏡軸可移動(dòng)的距離， 或者說(shuō)觀察屏或照相底版沿鏡軸所允許的移動(dòng)距離。 這種特點(diǎn)在電子顯微鏡的應(yīng)用和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上具有重大意義。在 的條件下，場(chǎng)深 如 埃， 弧度時(shí)， 大約是 1400埃，這就是說(shuō)， 厚度小于 1400埃的試樣，其間所有細(xì)節(jié)都可調(diào)焦成象。 27 α 2MX α R L2 L1 Qi 2X Q Df 透鏡 象平面 圖 89 場(chǎng)深示意圖 28 圖 17是焦深的示意圖?？梢?jiàn)，焦深是很大的。當(dāng)然，這一結(jié)果只有在 時(shí) 才是正確的，即便如此，所得的 也是很大的。 29 屏 透鏡 α L1 L2 Df 2d最小 M 圖 810 焦深示意圖 30 電鏡的主要結(jié)構(gòu) 目前，風(fēng)行于世界的大型電鏡，分辨本領(lǐng)為 2~3 埃，電壓為 100～ 500kV，放大倍數(shù) 50~1202200倍。它們能同時(shí)提供試樣的有關(guān)附加信息。另外，也有些設(shè)計(jì)，在高分辨時(shí)采取 短焦距，低分辨時(shí)采取長(zhǎng)焦
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