電鏡的成像過(guò)程ppt課件-在線瀏覽
2025-06-18 18:20本頁(yè)面
【正文】 向有明顯關(guān)系： 入射方向與試樣表面法線方向一致，圖像亮度最小 入射方向與試樣表面法線方向成一定角度時(shí)，圖像亮度增大 θ指電子束與樣品表面 法線的夾角 試樣表面有著不同程度的起伏，對(duì)應(yīng)著電子束與樣品表面法線不 同的夾角，二次電子數(shù)量不同，熒光屏上的圖像將呈現(xiàn)與試樣起伏程 度相對(duì)應(yīng)的亮度差異，得到試樣的形貌襯度，是二次電子像最重要的 襯度內(nèi)容。 a)束電子在原子實(shí)（原子核與緊密束縛的電子組成）的庫(kù)倫 場(chǎng)中減速形成能量連續(xù)的 X射線譜（韌致輻射） b)束電子與內(nèi)殼層電子相互作用，驅(qū)出束縛電子，原子處于 激發(fā)態(tài)，電子殼層留出一個(gè)空位，在隨后的去激過(guò)程，某個(gè) 外層電子發(fā)生躍遷填充這個(gè)空位，這個(gè)躍遷過(guò)程伴隨著能量 變化，原子以發(fā)射 X射線的形式釋放能量。這種 X射線稱為特征 X射 線。具有足夠能量的束電子可驅(qū)出內(nèi)層（ K、 L、 M）的電子，使原 子處于電離或激發(fā)態(tài)。這些躍遷導(dǎo)致某些可能的結(jié)果。對(duì)于內(nèi)層的電子的躍遷，該光子的能量正好處于 X射線電磁波 的譜段內(nèi)。它的特定能量表示了某個(gè)被激 發(fā)元素的特征，殼層的能級(jí)隨原子序數(shù)不同而變化，即使相鄰原子序數(shù)的原子其 殼層間的能量也有顯著的變化。 小結(jié) 四：掃描電鏡的成像 167。掃描光 柵的區(qū)域就是成像的區(qū)域。輸出 信號(hào)的實(shí)現(xiàn)是通過(guò)信號(hào)調(diào)制 CRT的 柵極，而 CRT的掃描和電子束的光 柵掃描同步，由掃描線圈同時(shí)控制。 線掃描：電子束在樣品上沿著某一 條線進(jìn)行掃描，接收的信號(hào)又被用 于 CRT的掃描成像。 放大倍率 SEM圖像的放大倍率是通過(guò)調(diào)整樣品與 CRT上圖像的比例來(lái)實(shí)現(xiàn)的。樣品上取樣面積的大小是放大倍率的函數(shù)。 象素 “象素”或“象元”尺寸是掃描電鏡中與放大倍率有關(guān)的一個(gè)重要概念。象素的面積越小，圖像的分辨率越高，可提供的信息越豐富。在供照相用的高分辨率 CRT上，最小的光點(diǎn)直徑通常是 。否則會(huì)產(chǎn)生象素重疊，當(dāng)產(chǎn)生到兩個(gè)以上的象素 重疊，會(huì)導(dǎo)致圖像模糊。樣品粗糙的情況下，其某些特征處于不同的工作距離，電子束照射到樣品上其電子束尺寸是不同的，取決于工作距離的遠(yuǎn)近。 RWDMmmM ????M為放大倍率，ＷＤ為工作距離，Ｒ為末級(jí)光闌半徑 a=R/WD 167。 ET探測(cè)器：該探測(cè)器由 EverhartThornley于 1960年研制 成功。由于該信號(hào)是光信號(hào)，所以它可以通過(guò)一個(gè)石英窗進(jìn)入與掃描電鏡的真空始終隔絕的光電倍增管，可產(chǎn)生一個(gè)增益為 105106的輸出脈沖，且噪音小、頻帶寬。 ET探測(cè)器的特點(diǎn)： ，引入的噪音小、頻帶寬，和電視 掃描頻率兼容。 。 TTL探測(cè)器 二次電子在透鏡磁場(chǎng)中做螺旋運(yùn)動(dòng)通過(guò)透鏡到達(dá)探測(cè)器，基本排除了背散射電子，收集到的是束電子產(chǎn)生的二次電子和背散射電子激發(fā)的二次電子，大大提高了分辨率。 固體探測(cè)器主要特點(diǎn)： 1）固體探測(cè)器一般為平整的薄片，尺寸各異。 3）對(duì)高
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