電子顯微鏡ppt課件-資料下載頁
2025-05-01 18:02本頁面
【正文】 表面．入射電子與試祥中的原于相互作用而產(chǎn)生二次電子．這些二次電子經(jīng)聚焦、加速 (10kV)后打到由閃爍體和光電倍增管組成的探測(cè)器上，形成二次電子信號(hào)。此信號(hào)隨試樣表面形貌、材料等因素而變，產(chǎn)生信號(hào)反差．經(jīng)視頻放大后，調(diào)制顯像管亮度．由于顯示器的偏轉(zhuǎn)線圈電流與掃描線圈中的電流同步，因此顯像管熒光屏上的任一點(diǎn)的亮度便與試樣表面上相應(yīng)點(diǎn)發(fā)出的二次電子數(shù)一一對(duì)應(yīng)．結(jié)果像電視一樣，在熒光屏上形成一試樣表面的像．圖像可直接觀察也可照相 (圖 )。 1． SEM原理和構(gòu)造 圖像放大倍數(shù)由顯像管屏幕尺寸和電子探針掃描區(qū)的尺寸之比來決定 (長度比 )．當(dāng)顯像管顯示面積不變時(shí)，調(diào)節(jié)樣品高度，改變鏡筒內(nèi)掃描線圈的掃描電流，就可以方便地改變圖像的放大倍數(shù)。掃描電鏡的分辨率主要取決于信噪比、電子束斑的直徑 (一般為 3~7nm)和入射電子束在樣品中的散射．此外，電源的穩(wěn)定度、外磁場(chǎng)的干擾等也對(duì)分辨率有影響．一般掃描電鏡的分辨率為 7nm左右。 2 掃描電鏡樣品的制備 掃描電鏡樣品需具有導(dǎo)電性，以便把照射到試樣表面的電子束的電子傳導(dǎo)出來．否則電子在試樣表面集中，形成電荷積累而不能成像。高聚物試樣導(dǎo)電性差，需要在試樣表面噴鍍一層導(dǎo)電層，鍍膜裝置見 。一般采用金、鉑或碳等材料．由于掃描電鏡觀察的是試樣的表面，電子束不需透過試樣，因此試樣不必太薄．試樣制備簡(jiǎn)單，試樣尺寸可在幾個(gè)毫米至幾個(gè)厘米的范圍．對(duì)一些薄膜或斷口可直接觀察。 ? 入射電子與試樣相互作用，除產(chǎn)生二次電子外，還可產(chǎn)生背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、 X射線及陰極熒光等信號(hào)，如圖 示．經(jīng)相應(yīng)的探測(cè)器接受放大后，可獲得由各種不同信號(hào)形成的圖像，如二次電子像、吸收電子像、背散射電子和俄歇電子像等由于上述各種信號(hào)在試樣中的散射范圍不同，所以分辨率也不同．在加速電壓為 20~30kV時(shí)，二次電子的分辨率約為幾納米， x光像的分辨率在微米的范圍，背散射電子像的分辨率在兩者之間 ? 應(yīng)用入射電子與試樣相互作用，產(chǎn)生的各種信號(hào)可對(duì)試祥進(jìn)行綜合結(jié)構(gòu)分析。特別是通過 X射線譜儀測(cè)定自試樣發(fā)出的特征 X射線譜，可進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分的定性定量分析。 4 電子探針顯微分析 5. 掃描電子顯微鏡在共混聚合物及其復(fù)合材料 的應(yīng)用 上左圖是 EPDM/PP共混型熱塑彈性體的掃描電鏡照片。白色區(qū)域?yàn)?PP的骨架，而黑區(qū)域?yàn)楸蝗軇┨崛?EPDM橡膠后的孔洞。上右圖為玻璃纖維 /環(huán)氧樹脂復(fù)合材料斷面的 SEM照片．可清晰地看出玻璃纖維在環(huán)氧樹脂中的分布。 a,c為鍍鎳 PET纖維 ,b,d為鍍鎳 PET纖維 /環(huán)氧樹脂復(fù)合材料斷面的 SEM照片． W Zeng, S T Tan, Polymer Composites 2022, 2022， 27(1), 2429
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