太陽能電池片pecvppt課件-資料下載頁
2025-04-28 23:34本頁面
【正文】 料腔 進(jìn)料腔 加熱腔氣壓 *102mbar 溫度： 400攝氏度 進(jìn)料腔：紅外加熱 加熱腔、工藝腔：電阻絲加熱 機(jī)械泵、羅茨泵抽真空：GV600 無水泵是一個裝有 3 對凸輪爪馬達(dá)的 4 沖程泵，包括一臺主泵和一臺備用泵。 EH4200是一種大排水量真空泵，這種泵由一個三相電機(jī)通過液態(tài)流進(jìn)行驅(qū)動，其允許在較高的壓力下進(jìn)行操作。 PECVD過程 進(jìn)料腔 (1) 加熱腔 (2) 工藝腔 (3) 冷卻腔 (4) 出料腔 (5) 進(jìn)料腔：有預(yù)熱的作用 ,在載板進(jìn)入腔體后 , 先沖入 N2,再進(jìn)行抽真空 。 加熱腔： 在工藝中起著加熱的作用 。 工藝腔 ： 在等離子及真空條件下 ,硅烷與氨氣在 400 ?C時反應(yīng)生成 Si3N4,覆蓋在硅片表面上 。 進(jìn)料腔與出料腔 防止特色氣體溢出 , 增加安全性 . 使電池片體逐漸降低溫度 冷卻水＊６ 石英管＊６ 溫度設(shè)置 速度設(shè)置 氣壓設(shè)置 設(shè)置功率 實(shí)際功率 反射比率 角閥 氣體流量 冷卻水＊４ PECVD等離子體源簡圖 微波發(fā)生器 真空腔 基片 PECVD電池片檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) ? 看顏色是否合格（合格的顏色為深藍(lán)，藍(lán)色，淡藍(lán)） ? 色差和水印不超過整體面積的 5% ? 鍍膜后的折射率在 — ，膜厚在 80 177。 5nm（生產(chǎn)過程中取每批次任意 6片進(jìn)行折射率和膜厚的測定） 鍍膜后電池片 正常片 常見缺陷 表面發(fā)白 表面臟片 色差 白點(diǎn) 水紋片 PECVD異常處理 異常 診斷 措施 整體鍍膜顏色不符合要求 氮化硅層厚度偏離正常范圍 調(diào)整帶速至顏色符合要求，偏紫增加帶速，偏藍(lán)降低帶速。 鍍膜顏色不穩(wěn)定 微波反射功率異常，或微波有泄漏 停止工藝，重新安裝微波天線或更換石英管。 沉壓后顏色異常 折射率不在范圍內(nèi) 調(diào)整 NH3和 SiH4流量比例使折射率達(dá)到要求。 壓強(qiáng)達(dá)不到工藝要求 腔體有漏氣 重新開腔擦拭密封圈或更換密封圈、更換或重裝石英管或其管口密封圈，嚴(yán)重時用氦檢儀做漏氣點(diǎn)檢查并排除異常。 腔體內(nèi)有硅片碎片 載板掛鉤變形或傳動軸異常 有掛鉤變形的載板要及時更換，傳動軸擦拭或有異常請設(shè)備檢修。 Thank you!
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