太陽能電池片pecvppt課件-文庫吧在線文庫
【正文】 x增加而增加 ? PECVD的鈍化作用 ? 由于太陽電池級硅材料中不可避免的含有大量的雜質(zhì)和缺陷，導(dǎo)致硅中少子壽命及擴散長度降低從而影響電池的轉(zhuǎn)換效率。 ? 間接 PECVD的沉積速率比直接的要高很多，這對大規(guī)模生產(chǎn)尤其重要。癥狀包括灼傷感、咳嗽、喘息加重、氣短、頭痛及惡心。它的首要危害是引起嚴重的熱灼傷。 ? 吸入：盡快移到空氣清新處，如有必要須進行輸氧或人工呼吸。 PECVD的影響因素 ? 4．氣體流量 ? 影響氮化硅膜沉積速率的主要氣體是 SiH4。 ? 6．反應(yīng)壓力、和反應(yīng)室尺寸等都是影響氮化硅薄膜的性能工藝參數(shù)。 ? 冷卻系統(tǒng)的優(yōu)點 : ? 沒有消耗凈室空氣 ? 不同管間無熱干涉 ? 爐環(huán)境的溫度沒有被熱空氣所提升 ? 空氣運動（通風(fēng)裝置）沒有使房間污染 ? 噪音水平低 PECVD冷卻系統(tǒng)示意圖 PECVD真空系統(tǒng) ? 真空系統(tǒng) ? 真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。 PECVD過程 進料腔 (1) 加熱腔 (2) 工藝腔 (3) 冷卻腔 (4) 出料腔 (5) 進料腔：有預(yù)熱的作用 ,在載板進入腔體后 , 先沖入 N2,再進行抽真空 。 腔體內(nèi)有硅片碎片 載板掛鉤變形或傳動軸異常 有掛鉤變形的載板要及時更換，傳動軸擦拭或有異常請設(shè)備檢修。 5nm（生產(chǎn)過程中取每批次任意 6片進行折射率和膜厚的測定） 鍍膜后電池片 正常片 常見缺陷 表面發(fā)白 表面臟片 色差 白點 水紋片 PECVD異常處理 異常 診斷 措施 整體鍍膜顏色不符合要求 氮化硅層厚度偏離正常范圍 調(diào)整帶速至顏色符合要求，偏紫增加帶速，偏藍降低帶速。 PECVD控制系統(tǒng) ? Setup: 舟的資料的更改，工藝內(nèi)容的更改，使用權(quán)限 ? 的更改， LIFT位置的更改， CMS安區(qū)系統(tǒng) （安裝的感應(yīng)器將監(jiān)控重要系統(tǒng)的運行情況，而一旦不受管的計算機的控制，CMS將會發(fā)生作用，所有的錯誤信息也都會在 CIM上得以簡潔的文本方式顯示出來）的更改等。 ? LIFT：機械臂系統(tǒng)，使舟在機械臂作用下在小車、槳、儲存區(qū)之間互相移動。 ? 5．反應(yīng)氣體濃度 ? SiH4的百分比濃度及 SiH4/NH3流量比，對沉積速率、氮化硅膜的組分及物化性質(zhì)均有重大影響。但是，功率密度
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