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【正文】 沉壓后顏色異常 折射率不在范圍內(nèi) 調(diào)整 NH3和 SiH4流量比例使折射率達(dá)到要求。 PECVD控制系統(tǒng)示意圖 設(shè)備結(jié)構(gòu) 進(jìn)料腔 加熱腔 工藝腔 冷卻腔 氣壓計 氣壓開關(guān) 溫度計 電阻絲加熱 機械泵 羅茨泵 返回運輸馬達(dá)和 sensors Position sensors Driver 紅外加熱 出料腔 進(jìn)料腔 加熱腔氣壓 *102mbar 溫度： 400攝氏度 進(jìn)料腔：紅外加熱 加熱腔、工藝腔：電阻絲加熱 機械泵、羅茨泵抽真空：GV600 無水泵是一個裝有 3 對凸輪爪馬達(dá)的 4 沖程泵，包括一臺主泵和一臺備用泵。 ? 加熱系統(tǒng)：位于石英管外，有五個溫區(qū)。因此，必須控制氣體中的 SiH4濃度，不宜過高，并采用較高的 SiN比。這樣能保證氮化硅薄膜在 HF中有足夠低的腐蝕速率，并有較低的本征壓力，從而有良好的熱穩(wěn)定性和抗裂能力。硅烷會刺激皮膚、硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅顆粒會引起皮膚刺激。 PECVD特氣的性質(zhì)（ 2） ? 硅烷 (SiH4): 是一種無色、與空氣反應(yīng)并會引起窒息的氣體。 ? 暴露在氨氣中會對眼睛造成中度到重度的刺激。 PECVD:直接式 PECVD:間接式 ? 間接 PECVD的特點： ? 在微波激發(fā)等離子的設(shè)備里，等離子產(chǎn)生在反應(yīng)腔之外，然后由石英管導(dǎo)入反應(yīng)腔中。 ? 對電池的正表面進(jìn)行 H鈍化 ? 對電池正表面進(jìn)行保護，防止氧化 i n v e r t e d p y r a m i d sf i n g e rp p s i l i c o nnp p o x i d er e a r c o n t a c t o x i d e++p ++n +SiNx:H SiNx:H介紹 ? 正常的 SiNx的 Si/N之比為 ，即 Si3N4。但是PECVD沉積氮化硅的化學(xué)計量比會隨工藝不同而變化， Si/N變化的范圍在 。在這種設(shè)備里微波只激發(fā)NH3，而 SiH4直接進(jìn)入反應(yīng)腔。氨氣強烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。 ? 硅烷與空氣接觸會引起燃燒。 ? 緊急救助 ? 眼睛接觸：應(yīng)立即用水沖洗至少 15分鐘，水流不要太快，同時翻開眼瞼，立即尋求眼科處理；
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