《太陽能電池片pecv》ppt課件-文庫吧
2025-04-13 23:34 本頁面
【正文】 一步加強(qiáng)了對電池的鈍化。 PECVD:直接式 PECVD:間接式 ? 間接 PECVD的特點(diǎn)： ? 在微波激發(fā)等離子的設(shè)備里，等離子產(chǎn)生在反應(yīng)腔之外，然后由石英管導(dǎo)入反應(yīng)腔中。在這種設(shè)備里微波只激發(fā)NH3，而 SiH4直接進(jìn)入反應(yīng)腔。 ? 間接 PECVD的沉積速率比直接的要高很多，這對大規(guī)模生產(chǎn)尤其重要。 PECVD的工藝原理 ? 通入的特氣（硅烷和氨氣）在高溫和微波源的激發(fā)下電離，形成等離子態(tài)，并沉積在硅片的表面。膜的厚度主要與溫度，腔體內(nèi)微波源的功率和鍍膜時(shí)間有關(guān)。 ? 反應(yīng)室通入反應(yīng)氣體 ? 硅烷 SiH4 ? 氨氣 NH3 ? 在微波源的激發(fā)下電離形成等離子態(tài) ? SiNx:H沉積在硅片上 等離子體產(chǎn)生圖例 SixNyHz的形成過程 ???? 2yx4 0 034 HHNSiNHS iH z℃???? ???? HS iHSiSS iH℃ 6HiH332234 0 04等離子體??? ??? HNNNH℃ 3HH2224 0 03等離子體PECVD特氣的性質(zhì)（ 1） ? 氨氣（ NH3） : 是一種刺激性、無色、氣體。 ? 氨氣會(huì)嚴(yán)重灼傷眼、皮膚及呼吸道。當(dāng)它在空氣中的濃度超過15%時(shí)有立即造成火災(zāi)及爆炸的危險(xiǎn)。 ? 暴露在氨氣中會(huì)對眼睛造成中度到重度的刺激。氨氣強(qiáng)烈地刺激鼻子、喉嚨和肺。癥狀包括灼傷感、咳嗽、喘息加重、氣短、頭痛及惡心。過度暴露會(huì)影響中樞神經(jīng)系統(tǒng)并會(huì)造成痙攣和失去知覺。暴露在 5000ppm下 5分鐘會(huì)造成死亡。 ? 緊急救助 ? 眼睛接觸：用大量的水沖洗，立即進(jìn)行醫(yī)療處理。 ? 吸入：將人員移到空氣清新處，若呼吸困難，則輸氧，并迅速進(jìn)行醫(yī)務(wù)處理。 ? 皮膚接觸：用大量水沖洗，立即脫掉被污染的衣服，并立即進(jìn)行藥物處理。 PECVD特氣的性質(zhì)（ 2） ? 硅烷 (SiH4): 是一種無色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體。 ? 硅烷與空氣接觸會(huì)引起燃燒。它的首要危害是引起嚴(yán)重的熱灼傷。嚴(yán)重時(shí)會(huì)致命。如沒有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近，不要試圖在切斷氣源之前滅火。 ? 硅烷會(huì)刺激眼睛，硅烷分解產(chǎn)生的無定型二氧化硅顆粒會(huì)引起眼睛刺激。 ? 吸入高濃度的硅烷會(huì)引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。過度吸入會(huì)引起肺炎和腎病。硅烷會(huì)刺激皮膚、硅烷分解產(chǎn)生無定型二氧化硅顆粒會(huì)引起皮膚刺激。 ? 緊急救助 ?
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1