內(nèi)層制程試車作業(yè)管理規(guī)范-資料下載頁
2025-04-08 13:08本頁面
【正文】 處4依測試板的蝕刻程式，觀察開始有蝕刻不淨(jìng)處，並量出長度，再除以蝕刻段的全長，計算出蝕刻點。5蝕刻點計算方式：[1（蝕刻乾淨(jìng)的有效長度/蝕刻段的有效長度）] 100%6蝕刻點未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)時，檢視蝕刻槽的噴嘴、噴壓、速度與藥液，若有異常則調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)值。測試目的: 測試蝕刻段蝕刻是否均勻 測試材料: 39mil 2/2 20”24”測試板 檢驗工具: MRX量測儀,PP紙 檢驗標(biāo)準(zhǔn):10%↓,測試方法:1依內(nèi)層板流程至前處理(微蝕槽不開),把基板表面均分成25個區(qū)域，以MRX量測儀量測每一區(qū)域的銅厚，並計算其平均值為A3內(nèi)層後處理蝕刻段共有3槽，測試其蝕刻均勻性時需分3 次1)測試第一槽時，將3槽關(guān)閉 2）測試3槽時方式同上，須關(guān)閉其餘2槽4蝕刻完畢後（水洗完畢）把PP墊蓋上,以MRX量測每PP上每一空格處蝕刻後的殘銅厚度，並計算其平均值為B5計算其蝕刻均勻性U%，計算公式如下：U% =[R/2（AB）] 100% 其中R值為同一面咬蝕量的最大值與最小值的差異6未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)，在準(zhǔn)備新的測試板上重複上述步驟，直至均勻性達(dá)到13%以下為止測試目的: 測試蝕刻段蝕刻的側(cè)蝕情況測試材料: 39mil 1/1 20”24”測試板檢驗工具: 測試底片 檢驗標(biāo)準(zhǔn): 3↑ 測試方法:1確認(rèn)制程參數(shù)條件無誤後再進行測試2把板子走完DES線後做切片,量測線路上下線寬,厚度,並量測底片設(shè)計之線寬計算蝕刻因數(shù),上噴下噴都需量測 EF=H/[(AB)/2] 3若有未達(dá)標(biāo),則進行分析(可能原因:噴嘴,噴壓,角度,藥液等)並進行調(diào)整測試目的: 測試顯影線去膜效果是否正常 測試材料: 39mil 1/1 20”24”測試板 檢驗工具: 量尺,秒錶 檢驗標(biāo)準(zhǔn): 40%177。5%, 測試方法:1準(zhǔn)備基板10PNL,做前處理、壓膜,用透明底片對其進行曝光靜置15分鐘後待用2將測試板放入去膜段，測試板放置時須緊密連靠，此時記錄第一片板子經(jīng)過去膜槽的時間，以米尺量測去膜槽的長度，推算出實際速度與設(shè)定速度是否符合3第一片板子出去膜段時，立即將去膜液噴壓,傳動關(guān)閉，打開去膜槽的上蓋板,觀察去膜情況4依測試板的去膜程度，於開始有去膜不淨(jìng)處做記錄，以米尺量測並除以去膜槽的全長，計算出去膜點。測試完畢後,打開噴壓,傳動,將測試板取出5去膜點計算方式：[1（去膜乾淨(jìng)的有效長度/去膜槽有效長度）] 100%6去膜點未達(dá)標(biāo)準(zhǔn)時，檢視去膜槽的噴嘴、噴壓及速度，若有異常則調(diào)整至標(biāo)準(zhǔn)值。11 / 11
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