昆明理工大學開題報告-三維微納米精密位移平臺及微小力測量系統(tǒng)設計-資料下載頁
2025-01-21 17:26本頁面
【正文】 HoLMES M。HOCKEN R，TRUMPER D．The long range scanning stage：a novel platform for scanned probe microscopy[J]．Prec．Eng．，2000，24：191一209．王生懷,陳育榮,王淑珍,謝鐵邦．三維精密位移系統(tǒng)的設計[J]．光學精密工程，2010，18(1)∶1751821 馬立，榮偉彬，孫立寧．三維納米級微動工作臺的設計與分析[J]．光學精密工程，2006，14(6)：1017—1024．1 李慶祥，王東生，李玉和．現代精密儀器設計[M]．第一版．北京：清華大學出版社．2004：172一176．1 王生懷，謝鐵邦，王選擇．大行程納米級二維位移工作臺[J]．機械設計與制造，2008，8：133135．1—51單片機項目教程. 北京：北京理工大學出版社，179—2051海濤. 微小力測量系統(tǒng)的實驗研究. 傳感器與微系統(tǒng)，2009，28（11）：8—111張涵. ：電子工業(yè)出版社，—1281高衛(wèi)東. ：北京航空航天大學出版社，—45指導教師意見： 指導教師（簽字）： 年 月 日學院畢業(yè)設計（論文）工作領導小組意見： 組長（簽字）： 年 月 日第7頁，共5頁
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