真空合成ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-01-15 04:33本頁(yè)面
【正文】 都存在。真空 檢 漏方法 判 斷真 空系 統(tǒng) 確 實(shí) 漏 氣 之后，就 開 始著手 尋 找漏孔的所在位置。 檢查 的方法有：u 加 壓 法u 抽 氣 法加 壓 法 向被 檢 系 統(tǒng)內(nèi) 充以一定 壓 強(qiáng)的 氣 體或空 氣 ，使其 壓 強(qiáng)大于大氣壓 。 當(dāng) 系 統(tǒng) 上有漏孔 時(shí) ，充入的 氣 體便逸出，使用適 當(dāng) 的探測(cè) 器，就可以判 斷 有無(wú)漏孔以及漏孔的位置。216。水 壓 法： 放入水中， 觀 察有無(wú) 氣 泡216。聽音法：超 聲 波、聽 診 器聽 噓噓聲216。氣 泡法：容器外表面抹肥 皂 液， 觀 察是否有 皂 泡216。氣 體 撿 漏法： 1）充入 CO2，用浸有 NH3的 試紙觀 察是否 變 色 2）充入 NH3，用石蕊 試紙觀 察是否 變 色216。氣 敏半 導(dǎo) 體 檢 漏 儀 法抽氣法u 將 被抽系 統(tǒng)內(nèi) 部抽成 真 空，再用探 測(cè)氣 體（或物 質(zhì) ）施 與 系 統(tǒng) 外部可疑部位，如有漏孔，探 測(cè)氣 體（或物質(zhì) ）即通 過 漏孔 進(jìn) 入系 統(tǒng) ，此 時(shí) 用探 測(cè) 器就可 檢 示出來 ， 從 而判 斷 漏孔的位置及大小。216。靜態(tài) 法：相 對(duì)真 空 計(jì)216?；鸹ㄌ?測(cè) 器? 火花 檢 漏器法? 原理：利用高 頻發(fā) 生器，在 槍 的尖端 發(fā) 生高 頻電壓 ，引起 氣 體放 電 而出 現(xiàn) 火花，如遇漏孔，就 會(huì)形成一束明亮的小火花 鉆 入孔 內(nèi) 。? 火花 檢 漏器 還 可以粗略的估 計(jì) 系 統(tǒng) 的 真 空度：真 空度 /Pa 10210 101102 ﹤ 102火花 顏 色 紅 色 紫色 淡粉色 白 微白 無(wú)色第四 節(jié) 真 空系 統(tǒng) 其 它 部件 真 空系 統(tǒng) 所用材料主要指 真 空管道系 統(tǒng) 、 閥門 及 密封材料 等， 真 空管道系 統(tǒng) 材 質(zhì) 有金 屬 、橡皮和玻璃等幾 類 ， 它們 各有特點(diǎn)，究竟采用何 種視 具體情 況 而定。 與真 空元件之 間 的 聯(lián)結(jié) 可采用 焊 接、熔接、法 蘭盤聯(lián)結(jié) 等。 統(tǒng) 中的 閥門 分 為 金 屬閥門 和玻璃 真 空活栓 兩種 。 空系 統(tǒng) 中常用的密封材料有 真 空封油、 真 空封臘、 真 空封泥、 真 空漆和 環(huán)氧樹 脂等。? 真 空管道 :? 抽 氣 速率除 與泵 有 關(guān) 外 還與 管道的 設(shè)計(jì) 有 關(guān) 。 氣導(dǎo) 率 F（ L/s） 與 管道直 徑 D（ cm）、管道 長(zhǎng) 度 l（ cm）的 關(guān) 系為 :1)短而粗的管道 ,抽 氣 速率大2)并盡 量 減 少管道直 徑 和安裝方向的突 變3)與泵 的大小相匹配超高 真 空系 統(tǒng)抽 氣壓 力降低 放 氣 源壓 力升高動(dòng)態(tài) 平衡污 染物蒸 發(fā) 器壁 內(nèi)氣 體 滲透 氣 體清潔 烘 烤 ,輝 光放 電 容器材 質(zhì)真 空 鍍 膜? 真 空 鍍 膜 實(shí)質(zhì) 上是在高 真 空 狀態(tài) 下利用物理方法在 鍍 件的表面鍍 上一 層 薄膜的技 術(shù) ， 它 是一 種 物理 現(xiàn) 象。? 真 空 鍍 膜按其方式不同可分 為真 空蒸 發(fā)鍍 膜、 真 空 濺 射 鍍 膜和現(xiàn) 代 發(fā) 展起 來 的離子 鍍 膜。? 1)固體物 質(zhì) 在常 溫 和常 壓 下，蒸 發(fā) 量 極 低。 真 空度越高，蒸 發(fā) 源材料的分子越易于離 開 材料表面向四周散射。? 2)真 空度越高， 真 空室 內(nèi) 的分子越少，蒸 發(fā) 分子 與氣 體分子 碰 撞的 概 率就越小， 從 而能無(wú)阻 擋 地直 線達(dá) 到基片的表面。真 空 鍍 膜機(jī)? 作 業(yè) :? 什么是真空系 統(tǒng) ?包括哪幾部分 ?? 使用油 擴(kuò) 散 泵應(yīng)該 注意哪些事 項(xiàng) ?? 真空 測(cè) 量真空 計(jì) 有哪幾種？各自的基本 測(cè)量原理和 測(cè) 量范 圍 ?
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