【正文】 設(shè)備入口處最終壓強(qiáng)應(yīng)在 247。 MPa之間； ? 空氣壓縮機(jī)可以由分立服務(wù)（水）中的繼電器自動控制； ? 因?yàn)槠溥\(yùn)行噪音，建議放置在遠(yuǎn)離設(shè)備的地方。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（一） ? 準(zhǔn)備工作 ? 打開配電箱總空開以及各電源空開，檢查配電系統(tǒng)是否正常； ? 打開空氣壓縮機(jī)以及冰水機(jī)、水泵； ? 打開工藝氣體氣瓶，檢查配氣盤每路減壓閥壓力是否適當(dāng)； ? 開啟設(shè)備 ? 開啟控制柜內(nèi)的 UPS； ? 順時針旋轉(zhuǎn)鑰匙【 LOCK】解除總電源的鎖定； ? 按下【 SYSTEM ON】按鈕并保持 3秒 ,啟動系統(tǒng)； ? 按下【 MANU】按鈕進(jìn)入“手動操作”模式； ? 檢查系統(tǒng)是否有報警，如果有，檢查并解除； ? 分子泵和粗抽泵預(yù)起 ? 首先打開分子泵電源的開關(guān)，如果有使用 UPS，最先要打開 UPS電源； ? 按下【 TURBO】按鈕，啟動加速分子泵； ? 按下【 ROUGH】按鈕，啟動粗抽泵； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（二） ? 設(shè)備檢查 ? 檢查磁控靶、陰極電弧靶、柱弧以及離子源的絕緣； ? 檢查所有引弧針安裝牢固； ? 檢查所有靶材的燒蝕情況，厚度等； ? 用吸塵器清潔真空室內(nèi)部； ? 工件的裝載 ? 將未鍍工件裝載到真空室中； ? 工件裝載完以后，不要立即鎖住前門，一定要在鍍膜要求的速度下旋轉(zhuǎn)，觀察是否有工件在離心力的作用下發(fā)生掛碰，或者距離過近，有可能發(fā)生危險的情況； ? 抽低真空 ? 調(diào)整節(jié)流閥的電位器到全開位置 （ 200） ； ? 按下【 V1】按鈕，啟動羅茨泵 ； ? 啟動復(fù)合真空計，使用自動模式 ； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（三） ? 抽高真空 Ⅰ ? 當(dāng)真空度達(dá)到 6Pa以下 時； ? 抬起【 V1】按鈕 （ V1指示燈滅）； ? 按下【 V2】和【 V3】按鈕（ V2和 V3指示燈亮）； ? 加熱烘烤 ? 如果需要，先啟動工件轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動，在溫度控制面板上設(shè)置溫度，再按下【 HEATING】 按鈕，對真空室內(nèi)工件加熱 ； ? 氬離子轟擊清洗 ? 當(dāng)分子泵系統(tǒng)抽真空至 1x102 Pa時 ； ? 調(diào)整節(jié)流閥 “ THROTTLE” 電位器至 25左右 ； ? 調(diào)整 Ar的氣體進(jìn)氣量和節(jié)流閥，使真空度達(dá)到大約 2 Pa； ? 按下轉(zhuǎn)架【 TURN】按鈕（轉(zhuǎn)架指示燈亮）； ? 按下偏壓 【 BIAS】 按鈕，啟動 BIAS電源，增加負(fù)偏壓到 400，直到 800v,此時，真空室內(nèi)會有輝光放電現(xiàn)象，維持放電 510分鐘； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（四） ? 抽高真空 Ⅱ ? 氬離子轟擊結(jié)束，停止進(jìn)氣、關(guān)閉偏壓；； ? 再次調(diào)整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到全開 （ 200） ； ? 分子泵系統(tǒng)抽真空至 Pa； ? 打開所有的 GMF，預(yù)熱一分鐘； ? 測漏率 ? 關(guān)閉 V3閥，通過真空計觀察真空度變化 ； ? 主弧轟擊 ? 調(diào)整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到鍍膜位置； ? 調(diào)整 N2 和 Ar的氣體質(zhì)量流量速率，并達(dá)到要求的真空度； ? 調(diào)整偏壓電源到要求的電壓； ? 逐一開啟所要用的 CAES； ； ? 保持主弧偏壓一段時間； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（五） ? 鍍膜 ? 調(diào)節(jié)節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到適當(dāng)位置； ? 按照工藝要求調(diào)節(jié)進(jìn)氣量、偏壓設(shè)定； ? 開啟陰極電弧源、磁控靶、柱弧、離子源等開始鍍膜； ? 工件卸載 ? 當(dāng)鍍膜結(jié)束，關(guān)閉偏壓電源、關(guān)閉供氣系統(tǒng) ； ? 抬起【 V3】、【 V2】按鈕（ V V ROOTS指示燈滅），關(guān)閉復(fù)合真空計； ? 大約 5分鐘后，溫度已降到開爐所需溫度時，按下【 VENT】按鈕，真空室放氣，取出所有的已鍍工件； ? 關(guān)機(jī)（下電） ? 如果所用的工作都結(jié)束了，關(guān)上真空室前門，對真空室抽真空，讓真空室保持在真空狀態(tài)下； ? 然后抬起 【 V3】【 V2】【 TURBO】按鈕，渦輪分子泵開始減速。抬起【 ROUGH】，關(guān)閉機(jī)械泵； ? 關(guān)閉工藝氣體，冷卻水（要等分子泵停止后關(guān)閉），壓縮空氣等； ? 約 40分鐘后，系統(tǒng)將自動關(guān)閉設(shè)備所有部分、下電； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本自動操作步驟 ? 打開主監(jiān)控界面 ? 在 Monitor界面上點(diǎn)擊 Recipe進(jìn)入工藝菜單界面 ? 在 Recipe界面上點(diǎn)擊 Transit； ? 選擇要運(yùn)行的工藝程序； ? Transit完成后； ? 進(jìn)入 Date界面，點(diǎn)擊 Next，檢查要運(yùn)行的工藝程序是否正確； ? 抬起 AUTO/MANU按鈕，這時 AUTO指示燈亮； ? 按下 RECYCLE按鈕，啟動自動鍍膜過程； ? 自動鍍膜過程結(jié)束后，系統(tǒng)會報警，告訴操作人員鍍膜結(jié)束； ? 在整個鍍膜過程中，要求一個有經(jīng)驗(yàn)的操作者要能時刻注意所有部分工作是否正常。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 生產(chǎn)過程的異常處理 ? 我們的設(shè)備會自動檢測設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況，一旦有異常發(fā)生， PC會發(fā)出警報，設(shè)備的操作人員根據(jù)報警的具體信息接觸故障，對于不能處理的問題，應(yīng)及時的報告給更高層的維護(hù)人員，對于不能處理的問題可致電丹普公司的售后服務(wù)部門，會給您恰當(dāng)?shù)慕鉀Q方案。 ? 一些比較普遍的問題描述及解決方法請參考設(shè)備使用說明書上的具體說明。 Prochina Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 完