【正文】 設備入口處最終壓強應在 247。 MPa之間； ? 空氣壓縮機可以由分立服務（水）中的繼電器自動控制； ? 因為其運行噪音，建議放置在遠離設備的地方。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（一） ? 準備工作 ? 打開配電箱總空開以及各電源空開，檢查配電系統(tǒng)是否正常； ? 打開空氣壓縮機以及冰水機、水泵； ? 打開工藝氣體氣瓶，檢查配氣盤每路減壓閥壓力是否適當； ? 開啟設備 ? 開啟控制柜內的 UPS； ? 順時針旋轉鑰匙【 LOCK】解除總電源的鎖定； ? 按下【 SYSTEM ON】按鈕并保持 3秒 ,啟動系統(tǒng)； ? 按下【 MANU】按鈕進入“手動操作”模式； ? 檢查系統(tǒng)是否有報警，如果有，檢查并解除； ? 分子泵和粗抽泵預起 ? 首先打開分子泵電源的開關，如果有使用 UPS，最先要打開 UPS電源； ? 按下【 TURBO】按鈕，啟動加速分子泵； ? 按下【 ROUGH】按鈕，啟動粗抽泵； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（二） ? 設備檢查 ? 檢查磁控靶、陰極電弧靶、柱弧以及離子源的絕緣； ? 檢查所有引弧針安裝牢固； ? 檢查所有靶材的燒蝕情況，厚度等； ? 用吸塵器清潔真空室內部； ? 工件的裝載 ? 將未鍍工件裝載到真空室中； ? 工件裝載完以后，不要立即鎖住前門，一定要在鍍膜要求的速度下旋轉，觀察是否有工件在離心力的作用下發(fā)生掛碰，或者距離過近，有可能發(fā)生危險的情況； ? 抽低真空 ? 調整節(jié)流閥的電位器到全開位置 （ 200） ； ? 按下【 V1】按鈕，啟動羅茨泵 ； ? 啟動復合真空計，使用自動模式 ； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（三） ? 抽高真空 Ⅰ ? 當真空度達到 6Pa以下 時； ? 抬起【 V1】按鈕 （ V1指示燈滅）； ? 按下【 V2】和【 V3】按鈕（ V2和 V3指示燈亮）； ? 加熱烘烤 ? 如果需要，先啟動工件轉架轉動，在溫度控制面板上設置溫度，再按下【 HEATING】 按鈕，對真空室內工件加熱 ； ? 氬離子轟擊清洗 ? 當分子泵系統(tǒng)抽真空至 1x102 Pa時 ； ? 調整節(jié)流閥 “ THROTTLE” 電位器至 25左右 ； ? 調整 Ar的氣體進氣量和節(jié)流閥，使真空度達到大約 2 Pa； ? 按下轉架【 TURN】按鈕（轉架指示燈亮）； ? 按下偏壓 【 BIAS】 按鈕，啟動 BIAS電源，增加負偏壓到 400，直到 800v,此時，真空室內會有輝光放電現(xiàn)象，維持放電 510分鐘； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（四） ? 抽高真空 Ⅱ ? 氬離子轟擊結束，停止進氣、關閉偏壓；； ? 再次調整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到全開 （ 200） ； ? 分子泵系統(tǒng)抽真空至 Pa； ? 打開所有的 GMF，預熱一分鐘； ? 測漏率 ? 關閉 V3閥，通過真空計觀察真空度變化 ； ? 主弧轟擊 ? 調整節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到鍍膜位置； ? 調整 N2 和 Ar的氣體質量流量速率，并達到要求的真空度； ? 調整偏壓電源到要求的電壓； ? 逐一開啟所要用的 CAES； ； ? 保持主弧偏壓一段時間； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本手動操作步驟（五） ? 鍍膜 ? 調節(jié)節(jié)流閥的【 THROTTLE】電位器到適當位置； ? 按照工藝要求調節(jié)進氣量、偏壓設定； ? 開啟陰極電弧源、磁控靶、柱弧、離子源等開始鍍膜； ? 工件卸載 ? 當鍍膜結束，關閉偏壓電源、關閉供氣系統(tǒng) ； ? 抬起【 V3】、【 V2】按鈕（ V V ROOTS指示燈滅），關閉復合真空計； ? 大約 5分鐘后，溫度已降到開爐所需溫度時，按下【 VENT】按鈕，真空室放氣，取出所有的已鍍工件； ? 關機（下電） ? 如果所用的工作都結束了，關上真空室前門，對真空室抽真空，讓真空室保持在真空狀態(tài)下； ? 然后抬起 【 V3】【 V2】【 TURBO】按鈕，渦輪分子泵開始減速。抬起【 ROUGH】，關閉機械泵； ? 關閉工藝氣體，冷卻水（要等分子泵停止后關閉），壓縮空氣等； ? 約 40分鐘后，系統(tǒng)將自動關閉設備所有部分、下電； Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 基本自動操作步驟 ? 打開主監(jiān)控界面 ? 在 Monitor界面上點擊 Recipe進入工藝菜單界面 ? 在 Recipe界面上點擊 Transit； ? 選擇要運行的工藝程序； ? Transit完成后； ? 進入 Date界面，點擊 Next，檢查要運行的工藝程序是否正確； ? 抬起 AUTO/MANU按鈕，這時 AUTO指示燈亮； ? 按下 RECYCLE按鈕，啟動自動鍍膜過程； ? 自動鍍膜過程結束后，系統(tǒng)會報警，告訴操作人員鍍膜結束； ? 在整個鍍膜過程中，要求一個有經驗的操作者要能時刻注意所有部分工作是否正常。 Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 生產過程的異常處理 ? 我們的設備會自動檢測設備的運轉情況，一旦有異常發(fā)生， PC會發(fā)出警報，設備的操作人員根據報警的具體信息接觸故障，對于不能處理的問題，應及時的報告給更高層的維護人員，對于不能處理的問題可致電丹普公司的售后服務部門，會給您恰當?shù)慕鉀Q方案。 ? 一些比較普遍的問題描述及解決方法請參考設備使用說明書上的具體說明。 Prochina Email: TEL:861082924110,4145 FAX:861082923941 完