【正文】 極電流使陽極電流約為 ，對零件進(jìn)行轟擊。 1蒸鍍中，注意觀察蒸發(fā)舟、料面及控制柜面板參數(shù)情況，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。 1蒸鍍完閉按各膜系要求作鍍后烘烤、延時處理。自動充氣、開門，卸下基片架。 三、關(guān)機 關(guān)門，按紅色“ POWER OFF‖鍵，機組在條件滿足時自動將“ DPI、 DP2‖關(guān)閉， 50分鐘后自動將羅茨泵、機械泵及機組電器關(guān)閉。手動關(guān)閉機組電源開關(guān)。 關(guān)閉冷水機及外部循環(huán)水，關(guān)閉氣源。關(guān)閉電源箱總電源。 ZZSX1350型鍍膜機 作業(yè)手順書 ? 一、目的和適用范圍 ? 本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用 ZZSX800型鍍膜機鍍制多層膜的操作方法及過程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部 ZZSX800型鍍膜機操作。 ? 二、開機流程 ： ? 開電源、氣源、水源。 ? 開機組電源、開機械泵、擴(kuò)散泵。 ? 開充氣閥、開門。 ? 處理真空室（清潔等），關(guān)門、開機械泵、開預(yù)抽閥。 ? 測低真空，開羅茨泵、關(guān)預(yù)抽閥、開前級閥、開高閥。 ? 開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。 ? 測高真空、開膜厚儀。 ? 預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。 ? 關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)膜厚儀。 ? 關(guān)真空測量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級閥、關(guān)機械泵。 ? 1降溫、充氣、開門、取工件。 ? 、鍍膜前準(zhǔn)備： ? 、膜料采用光譜純結(jié)晶態(tài)氟化鎂 (MgF2)。每次啟用新膜料，必須先做預(yù)熔及試鍍試驗，確認(rèn)膜料沒問題后再投入生產(chǎn)。 ? 、蒸發(fā)源：采用電阻熱蒸發(fā)方式，蒸發(fā)載體為高純度鉬片制成的小舟，鉬片厚度為 ，鉬片裝料部分的尺寸為 25 25 5mm（或?qū)ｉT成型的鉬舟）。制成的鉬舟應(yīng)在濃度為 15％的氫氧化鈉溶液中浸泡十分鐘，水洗徹底去除堿溶液后，用酒精、乙醚混合液擦拭干凈。使用前，應(yīng)在真空狀態(tài)下空載。通電讓其發(fā)紅熱處理。經(jīng)上述處理的鉬舟即可投入使用。 ? *ZZSX 800機鉬舟尺寸 20 20 4(mm) ? 、按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。 ? 、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無法定出晶片的使用周期。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時，應(yīng)及時更換晶片；或?qū)⒕断虏潦靡幌虏⑶鍧嵦筋^各觸點，保持良好接觸。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗。 ? 、膜層厚度控制。 ? （各零件控制數(shù)據(jù)見專門工藝數(shù)據(jù)文件）。一旦晶控儀失控，應(yīng)立即改用恒定蒸發(fā)電流、蒸發(fā)速率，時間控制法完成繼續(xù)蒸鍍。 ? 。單層氟化鎂減反膜的反射色，決定了膜層的厚度，膜層反射色在某一特定的顏色時表征了該膜層的厚度，其對應(yīng)關(guān)系如下：（膜厚為該膜的光學(xué)厚度） ? 反射色 白 黃偏橙 橙 ? 膜厚（ nm） 0—100 101—112 113—118 ? λ。 （ nm） 0—400 404—448 452—472 ? 反射色 橙品紅 品紅 品紅偏紫 ? 膜厚（ nm） 119—123 124—125 126—128 ? λ。 （ nm） 476—492 496—500 504—512 ? 反射色 紅紫 紫偏紅 紫 ? 膜厚（ nm） 129—130 131—132 133—137 ? λ。 （ nm） 516—520 524—528 532—548 ? 反射色 紫偏藍(lán) 藍(lán)偏紫 藍(lán) 藍(lán)偏白 ? 膜厚（ nm） 138—140 141—150 151—159 160—175 ? λ。 （ nm） 552—560 561—600 601—636 640 ? 膜厚超過 160nm反射色由藍(lán)轉(zhuǎn)白到 200nm后進(jìn)入第二周期。第二周期的膜色隨膜厚變化趨勢為：紫 藍(lán) —綠 —黃 —橙 —品紅 —紅；高折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色色彩濃，顏色純，低折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色夾有白色成份所以色彩淡，但二者在相同膜厚時，反射色色素基本相同。 ? 在真空室看到的膜色與冷卻后在日光燈下看到的膜色略有不同，是由于出真空室后的漂移和觀測角度不同所造成的。 ? λ。超過 650nm時的膜厚確認(rèn)，應(yīng)有分光光度計測試比較片確定。 ? 操作步驟與注意事項。 ? 、接通水源、氣源、電源，打開機器總電源。 ? 、開維持泵、截止閥、擴(kuò)散泵。因擴(kuò)散泵預(yù)熱要 ，所以在擴(kuò)散泵開啟后 1小時內(nèi)不作下步操作。 ? 、開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。 ? .處理真空室： ? a、清潔真空室相關(guān)夾具、部件 (使用吸塵器、銅絲刷、毛刷等 )。 ? b、安裝、調(diào)整蒸發(fā)源 (蒸發(fā)源鉬舟安裝，參見附件 )蒸發(fā)舟電極柱連接應(yīng)緊固，若有一邊先亮情況發(fā)生時應(yīng)及時調(diào)整。 ? c、裝填膜料，加料應(yīng)適量，勿使舟內(nèi)膜料太多積累。 ? d、放置鏡片架，注意平穩(wěn)可靠。應(yīng)先使扇片上部放好，再使扇片下部落到位，并要讓扇片在旋轉(zhuǎn)架內(nèi)可以微量移動，以免熱脹冷縮后被卡住。 ? e、檢查擋板動作，及移動位置，必要時調(diào)整氣動閥門。 ? f、檢查膜厚儀工作情況，必要時清潔探頭、更換晶片 ? 、關(guān)門、開機械泵、開預(yù)抽閥、開烘烤、啟動工件慢旋轉(zhuǎn)（約 20V），測低真空。 ? 、在真空度達(dá) 3 102 Pa左右啟動羅茨泵； ? 、真空度 ≤5Pa時，關(guān)閉預(yù)抽閥，開前級閥，開高閥 (擴(kuò)散泵加熱 80分鐘以上 )。 ? 、開啟真空測量，膜厚測量，按膜厚儀專用文件說明選擇控制數(shù)據(jù)。 ? 、在烘烤溫度達(dá)預(yù)定值（正常情況 300℃ ）， Fzh—2K復(fù)合真空計真空度達(dá) 4 103Pa左右，可開始預(yù)熔膜料，使之充分熔化。 ? 、膜料充分預(yù)熔后，調(diào)小蒸發(fā)電流，啟動膜厚儀，打開擋板，蒸鍍。 ? 、調(diào)節(jié)蒸鍍電流，控制蒸鍍速率為 。膜厚到位時檔板自動關(guān)閉，切斷蒸發(fā)源。 ? 、關(guān)閉烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)真空測量、關(guān)高閥、關(guān)膜厚儀， (若不再操作則關(guān)擴(kuò)散泵 )。 ? 、真空室降溫至 270℃ 時，充氣，開門，取出工件。取工件時應(yīng)先把扇片略往上推，再抬高扇片下部把扇片端出真空室。 ? 、若繼續(xù)操作，則重復(fù) 。 ? 、關(guān)門、開機械泵、開預(yù)抽閥約 15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機械泵。 ? 、停維持泵、停機組電源，停電、停氣。 ? 、在擴(kuò)散泵停止工作 2小時以后，停水。（因循環(huán)水管道已改為金屬管道，且為了縮短開機員工作時間，允許晚班不停水直接下班。但如第二天為休息日，則開機員應(yīng)在第二天上午到廠關(guān)閉循環(huán)水。） ? 、其它： ? 、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類的物品、工具、紗布進(jìn)入。 ? 、機組在蒸鍍了 200層膜左右時，必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。 ? 、機組在冷鍍過鏡片后，無論真空室部件是否干凈，都必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。 ? 、保持機組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機，排除故障后再啟動。 ? 、機組一旦停電，應(yīng)切斷總電源及各按鈕，來電后逐步啟動。 ? 、機組 —旦停水，應(yīng)切斷擴(kuò)散泵，停止正常蒸鍍操作，關(guān)閉烘烤，約 10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴(kuò)散泵。 ? 、應(yīng)隨時注意循環(huán)冷卻水供給情況。 ? 、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項。 ? 、根據(jù)專用工作記錄表，做好各罩記錄。 ? 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時間、膜厚數(shù)據(jù)及要求、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時真空度、關(guān)門至開門時間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。車間可結(jié)合生產(chǎn)記錄設(shè)計表格，報工程科審核后投入使用。 ? 、做好機組異常情況、故障及維修記錄。（專用記錄本，保存 10年。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實際維修、排除記錄及說明；作業(yè)員、維修員簽名。 鍍膜開機員鍍制手順書 ? 【 實施要求 】 ? 認(rèn)真細(xì)致的確認(rèn)。 ? 實事求是的填寫。 ? 踏踏實實的工作。 ? 【 實施目的 】 ? 全面推行 TPM管理，使鍍膜開機員有了更高的認(rèn)識。 ? 【 實施過程 】 ? 二十二項過程確認(rèn)。 ? 備傘員對玻璃確認(rèn)交接給開機員。 ? 開機員檢查玻璃確認(rèn)。（件號、單面等） ? 開機員對傘片擺放平衡確認(rèn)。 ? 進(jìn)鍍膜真空室確認(rèn)。 ? 擋板是否清潔或更換確認(rèn)。 ? 電子槍坩鍋清潔平整確認(rèn)。 ? 膜料擺放或擺放正中確認(rèn)。 ? 電子槍磁場導(dǎo)塊平行確認(rèn)。 ? 電子槍燈絲正常確認(rèn)。 ? 晶控晶片擺放確認(rèn)。 ? 1膜系（幾層）確認(rèn)。 ? 1開機員對真空室再次確認(rèn)。 ? 1開機員認(rèn)真填寫開機記錄確認(rèn)。 ? 1領(lǐng)班對開機過程一一確認(rèn)。 ? 1領(lǐng)班對開機記錄確認(rèn)。 ? 1開機員開機前準(zhǔn)備確認(rèn)。 ? 1開機員抽真空 5分鐘認(rèn)真觀察確認(rèn)。 ? 1開機員觀察記錄確認(rèn)。 ? 1鍍后曲線確認(rèn)。 ? 鍍后牢固度幾級確認(rèn)。 ? 2均勻性（上、中、下）確認(rèn)。 ? 2開機員對鍍完后過程仔細(xì)記錄確認(rèn)。 大型鍍膜機牢固度情況表 01233月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月光馳1300南光1300北儀800萊寶1104韓儀1050北儀1350韓儀1200012341月 3月 5月 7月 9月 11月光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機維修狀況表 0102030405060708090第一季度 第二季度 第三季度 第四季度光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機玻璃報廢情況