【正文】 化。 ? 、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥約 15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機(jī)械泵。 ? 、保持機(jī)組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機(jī)，排除故障后再啟動(dòng)。 ? 、做好機(jī)組異常情況、故障及維修記錄。 ? 備傘員對玻璃確認(rèn)交接給開機(jī)員。 ? 電子槍燈絲正常確認(rèn)。 ? 1開機(jī)員抽真空 5分鐘認(rèn)真觀察確認(rèn)。 大型鍍膜機(jī)牢固度情況表 01233月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月光馳1300南光1300北儀800萊寶1104韓儀1050北儀1350韓儀1200012341月 3月 5月 7月 9月 11月光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機(jī)維修狀況表 0102030405060708090第一季度 第二季度 第三季度 第四季度光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機(jī)玻璃報(bào)廢情況 。 ? 1領(lǐng)班對開機(jī)記錄確認(rèn)。 ? 膜料擺放或擺放正中確認(rèn)。 ? 【 實(shí)施目的 】 ? 全面推行 TPM管理，使鍍膜開機(jī)員有了更高的認(rèn)識。 ? 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時(shí)間、膜厚數(shù)據(jù)及要求、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時(shí)真空度、關(guān)門至開門時(shí)間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。 ? 、機(jī)組在蒸鍍了 200層膜左右時(shí)，必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。取工件時(shí)應(yīng)先把扇片略往上推，再抬高扇片下部把扇片端出真空室。 ? 、在真空度達(dá) 3 102 Pa左右啟動(dòng)羅茨泵； ? 、真空度 ≤5Pa時(shí)，關(guān)閉預(yù)抽閥，開前級閥，開高閥 (擴(kuò)散泵加熱 80分鐘以上 )。 ? 、開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。第二周期的膜色隨膜厚變化趨勢為：紫 藍(lán) —綠 —黃 —橙 —品紅 —紅；高折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色色彩濃，顏色純，低折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色夾有白色成份所以色彩淡，但二者在相同膜厚時(shí)，反射色色素基本相同。 ? （各零件控制數(shù)據(jù)見專門工藝數(shù)據(jù)文件）。使用前，應(yīng)在真空狀態(tài)下空載。 ? 預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部 ZZSX800型鍍膜機(jī)操作。 1蒸鍍中，注意觀察蒸發(fā)舟、料面及控制柜面板參數(shù)情況，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。 將充氧流量計(jì)旁開關(guān)撥至“ ON‖位置。壽命值＞ 697。 按黃色“ RUN‖按鈕，待“ RV‖預(yù)抽閥燈閃爍。 ? 、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項(xiàng)。） ? 七、注意事項(xiàng)： ? 、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類的物品、工具、紗布進(jìn)入。 ? 、真空室降溫至規(guī)定值時(shí)（ 270℃ 左右），開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。 ? 、開烘烤，烘烤溫度設(shè)定為 300℃ 。 ? f、修正補(bǔ)償板位置的確認(rèn)或更換。 ? 、開維持泵、擴(kuò)散泵。 ? 1降溫、充氣、開門、取工件。 ? 開充氣閥、開門。 預(yù)熔完畢后，點(diǎn)擊電腦程序上充氧界面的“ Extemal(for pc)‖,關(guān)閉充氧，再點(diǎn) OK。 關(guān)閉電源箱總電源。 ? 關(guān)機(jī) 關(guān)門，按黃色“ START‖按鈕。 按黃色“ START‖按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。對 IRCUT膜用 TIO2（ 6）、 SIO2（ 4）。(通常需 50分鐘 ) 打開電子槍控制柜電源； 若有鍍需充氧的膜料，則打開氧氣瓶閥門。 ? 四、關(guān)機(jī)： 關(guān)門：將門關(guān)上，并將門鎖順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)將門鎖上，若前次是自動(dòng)開門則可跳過 2步； 在功能鍵盤中按下“ VACUUM SELECT‖鍵，再按下“ VENT‖鍵使之消去黃色； 真空室開始抽氣，待高閥打開 5分鐘后，功能鍵盤中按下“ VACUUM SELECT‖鍵，出現(xiàn)“ HIGH‖鍵按下此鍵使之消去黃色，此時(shí)高閥關(guān)閉隨后擴(kuò)散泵關(guān)閉，機(jī)械泵、羅茨泵繼續(xù)工作直至擴(kuò)散泵油溫降至100℃ 以下（擴(kuò)散泵中溫度計(jì)顯示油溫）自動(dòng)停止工作； 機(jī)械泵、羅茨泵停止后關(guān)冷凍機(jī)（ POLYCOLD），先關(guān)壓縮機(jī)開關(guān)，再關(guān)電源開關(guān)。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“ AUTO‖或“ START‖，則按右邊第一個(gè)鍵“ RET‖或“ ABOUT‖換屏。（對應(yīng)關(guān)系請參見附注） 清掃真空室：打開擋板，用銅絲刷、吸塵器、三角刮刀清潔電子槍（主要是坩堝）、擋板。 1再開 POLYCOLD壓縮機(jī)開關(guān)。 ? 預(yù)熔完畢，依次關(guān)閉電子槍高壓、燈絲預(yù)置、燈絲電流，并將控制旋鈕調(diào)節(jié)到“自動(dòng)”狀態(tài)。 關(guān)總電源。 2按“鍍膜結(jié)束”按鈕，鍍后恒溫時(shí)間結(jié)束后，關(guān)閉烘烤，關(guān)烘烤后時(shí)間到達(dá)后，關(guān)機(jī)組高閥，進(jìn)入真空室冷卻階段。 1自動(dòng)鍍制開始時(shí)，應(yīng)用手持遙控盒上 X、 Y位移、掃描幅度旋鈕調(diào)節(jié)光斑，使之處于膜料中心及相應(yīng)的掃描面積。 真空到 *103PA后，可對膜料進(jìn)行手動(dòng)預(yù)熔。護(hù)板等更換見 《 護(hù)板更換周期管理 》 。 打開電控柜上方進(jìn)氣閥門。 ? 按控制面板上“ MAIN POWER‖的“ OFF‖按鈕。上述動(dòng)作完成后，開始進(jìn)入等待真空度和溫度到達(dá)工藝設(shè)定值的界面，到達(dá)后，進(jìn)入自動(dòng)蒸鍍階段。 ? 根據(jù)膜系要求裝填膜料，并與坩鍋號相對應(yīng)。 ? 打開“ POLYCOLD‖電源開關(guān)； ? 打開電子槍控制柜電源開關(guān)并按下“ ON‖按鈕。 ? AR1300型鍍膜機(jī) 作業(yè)手順書 ? 一 開機(jī) ? 打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門（先開出水，后開進(jìn)水），再打開冷水機(jī)電源及泵和壓縮機(jī)的開關(guān)。 ? 如出現(xiàn)停電、停氣、停水，機(jī)組程序可能會(huì)受傳輸信號或電壓高低的影響而不穩(wěn)定，因此開機(jī)員一定要注意晶片 LIFE值變化，若有變化時(shí)，機(jī)臺晶片不能切換的必須重新更換晶片，可切換的，切換后看是否穩(wěn)定，如不穩(wěn)定，進(jìn)行更換。 ? 安裝前用軟毛刷刷一遍加熱器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干凈，把加熱器安裝在支撐架上后，再安裝加熱器正負(fù)極電源線，開加熱，看是否正常 ? 。 ? 1污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高閥門板及真空室內(nèi)壁表面，再用干凈的汗衫布蘸丙酮反復(fù)清擦幾遍，直到內(nèi)壁門板表面發(fā)亮即可。 ? 光弛 AR1300機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號 72小時(shí)以上時(shí)更換護(hù)板。 ? 三、真空計(jì)、護(hù)板、真空室、旋轉(zhuǎn)架的維護(hù)與處理： ? 真空計(jì)在使用兩月后，在工程師指導(dǎo)下，用干凈的汗衫布蘸無水乙醇乙醚混合物擦拭。 ? 清洗陰極絕緣子時(shí)，可擰下燈絲固定螺栓，取出絕緣子用金相砂紙打磨。 ? 燈絲變形、或由燈絲原因引起蒸發(fā)速率、功率不穩(wěn)定時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換。 ? 皮帶松動(dòng)，傳動(dòng)皮帶是否松動(dòng)或呈劣化應(yīng)更換。點(diǎn)檢有助于設(shè)備使用人熟悉設(shè)備的結(jié)構(gòu)和性能，有利于設(shè)備的合理使用，還能及早發(fā)現(xiàn)故障征兆，避免非計(jì)劃停機(jī)造成的損失。而定期進(jìn)行的維修活動(dòng)（檢查、保養(yǎng)和監(jiān)測）能有計(jì)劃地開展，也是以設(shè)備的正確使用和經(jīng)常維護(hù)為依托的。 ? 大型鍍膜機(jī)設(shè)備實(shí)行四定：定使用人，定檢修人，定規(guī)程制度和定備件。 作成 : 林華 2022年 4月 18日 鳳凰富士能光學(xué)有限公司 上部分 全面推行鍍膜 TPM管理 總經(jīng)理方針 : 做人、做事、經(jīng)典 QCD。 ? 大型鍍膜機(jī)設(shè)備為之公司主要管理設(shè)備，公司領(lǐng)導(dǎo)直接過問管理，如維修和變動(dòng)均需報(bào)批。正確的使用和經(jīng)常性的高質(zhì)量維護(hù)，是保證設(shè)備預(yù)期的無故障工作的必要條件，因?yàn)樵O(shè)備設(shè)計(jì)的無故障工作時(shí)間或使用壽命（設(shè)備工作能力達(dá)到允許的極限狀態(tài)之前的實(shí)際工作時(shí)間），是以按規(guī)定條件（環(huán)境、工作方法、工作規(guī)范、經(jīng)常維護(hù)等）使用維護(hù)為前提的。各企業(yè)應(yīng)根據(jù)本企業(yè)生產(chǎn)和設(shè)備特點(diǎn)，確定需進(jìn)行點(diǎn)檢的主要生產(chǎn)設(shè)備和各設(shè)備的點(diǎn)檢項(xiàng)目，有重點(diǎn)地進(jìn)行點(diǎn)檢。 ? 機(jī)器緊固件，機(jī)器操作過程中，有否異聲或震動(dòng)情況，緊固件（螺帽等）經(jīng)常性檢查上緊。 ? 對已變形、滑牙等螺絲、螺帽應(yīng)及時(shí)更換。 ? 在使用過程中，如發(fā)現(xiàn)陽極中間的進(jìn)氣錐及防護(hù)圈有污染物，可將防護(hù)圈取下，用金相砂紙打磨進(jìn)氣錐上的污染物，對防護(hù)圈可用 240＃砂紙打磨清除。 ? 檢查離子源氣流覆蓋面積是否為整個(gè)基片表面。其他72小時(shí)更換 ? 萊寶 1104機(jī)停用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號 72小時(shí)以上更換護(hù)板，使用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制 240小時(shí)以上更換護(hù)板。 ? 1被擴(kuò)散泵污染的高閥門板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙 240＃打磨去除黃色油漬。 ? 噴砂時(shí)應(yīng)取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。 ? 晶控儀的穩(wěn)定會(huì)受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)），故每隔 15天左右，開機(jī)員在換班、休息后上班、或停電后上班時(shí)均要對進(jìn)出水管進(jìn)行對換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進(jìn)水質(zhì)方可重新安裝。 ? 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊、變形、斷裂。 ? 按電腦主機(jī)啟動(dòng)鈕，啟動(dòng)電腦。若其值在 5944KHZ以下，則應(yīng)考慮切換晶片。若 OK則開始對燈絲預(yù)熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點(diǎn)擊“ SKIP‖跳過）。 ? 關(guān)閉 XTC/。 打開進(jìn)氣閥門（進(jìn)水閥旁）。 ? 二、鍍膜 用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對坩堝及坩堝周圍進(jìn)行打掃，將電 子槍擋板送噴砂處理。 抽真空過程中，記錄機(jī)組各數(shù)據(jù)表。 1按 MDC360晶控儀面板上“ START‖按鈕，在程序單中選擇鍍制零件所需程序，再按“ START‖，開始自動(dòng)鍍制。 2將旋轉(zhuǎn)參數(shù)調(diào)節(jié)為 7轉(zhuǎn) /分。 關(guān)進(jìn)水閥。 ? 利用遙控盒上 X、 Y位移、掃描幅度調(diào)節(jié)旋鈕，控制光斑在膜料上做圓周運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)“束流”按鈕逐漸加大電子束流，對膜料進(jìn)行預(yù)熔。 1先開 POLYCOLD電源開關(guān)。 處理真空室： FBM01控制盒的使用：開門后可用 FBM01控制盒可控制：檔板的開啟、坩堝、及工件架的旋轉(zhuǎn)。將主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格顯示“ AUTO‖或“ START‖并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)。 ? 蒸鍍完畢至開門，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。 HVC1050A鍍膜機(jī)操作手順書 ? 一、開機(jī)