【正文】 大型鍍膜機(jī)牢固度情況表 01233月 4月 5月 6月 7月 8月 9月 10月 11月 12月光馳1300南光1300北儀800萊寶1104韓儀1050北儀1350韓儀1200012341月 3月 5月 7月 9月 11月光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機(jī)維修狀況表 0102030405060708090第一季度 第二季度 第三季度 第四季度光馳1 3 0 0南光1 3 0 0北儀8 0 0萊寶1 1 0 4韓儀1 0 5 0北儀1 3 5 0韓儀1 2 0 0大型鍍膜機(jī)玻璃報(bào)廢情況 。 ? 2均勻性（上、中、下）確認(rèn)。 ? 1鍍后曲線確認(rèn)。 ? 1開機(jī)員抽真空 5分鐘認(rèn)真觀察確認(rèn)。 ? 1領(lǐng)班對(duì)開機(jī)記錄確認(rèn)。 ? 1開機(jī)員認(rèn)真填寫開機(jī)記錄確認(rèn)。 ? 1膜系（幾層）確認(rèn)。 ? 電子槍燈絲正常確認(rèn)。 ? 膜料擺放或擺放正中確認(rèn)。 ? 擋板是否清潔或更換確認(rèn)。（件號(hào)、單面等） ? 開機(jī)員對(duì)傘片擺放平衡確認(rèn)。 ? 備傘員對(duì)玻璃確認(rèn)交接給開機(jī)員。 ? 【 實(shí)施目的 】 ? 全面推行 TPM管理，使鍍膜開機(jī)員有了更高的認(rèn)識(shí)。 ? 實(shí)事求是的填寫。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時(shí)間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實(shí)際維修、排除記錄及說(shuō)明；作業(yè)員、維修員簽名。 ? 、做好機(jī)組異常情況、故障及維修記錄。 ? 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時(shí)間、膜厚數(shù)據(jù)及要求、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時(shí)真空度、關(guān)門至開門時(shí)間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。 ? 、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項(xiàng)。 ? 、機(jī)組 —旦停水，應(yīng)切斷擴(kuò)散泵，停止正常蒸鍍操作，關(guān)閉烘烤，約 10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴(kuò)散泵。 ? 、保持機(jī)組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機(jī)，排除故障后再啟動(dòng)。 ? 、機(jī)組在蒸鍍了 200層膜左右時(shí)，必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。但如第二天為休息日，則開機(jī)員應(yīng)在第二天上午到廠關(guān)閉循環(huán)水。 ? 、在擴(kuò)散泵停止工作 2小時(shí)以后，停水。 ? 、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥約 15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機(jī)械泵。取工件時(shí)應(yīng)先把扇片略往上推，再抬高扇片下部把扇片端出真空室。 ? 、關(guān)閉烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)真空測(cè)量、關(guān)高閥、關(guān)膜厚儀， (若不再操作則關(guān)擴(kuò)散泵 )。 ? 、調(diào)節(jié)蒸鍍電流，控制蒸鍍速率為 。 ? 、在烘烤溫度達(dá)預(yù)定值（正常情況 300℃ ）， Fzh—2K復(fù)合真空計(jì)真空度達(dá) 4 103Pa左右，可開始預(yù)熔膜料，使之充分熔化。 ? 、在真空度達(dá) 3 102 Pa左右啟動(dòng)羅茨泵； ? 、真空度 ≤5Pa時(shí)，關(guān)閉預(yù)抽閥，開前級(jí)閥，開高閥 (擴(kuò)散泵加熱 80分鐘以上 )。 ? e、檢查擋板動(dòng)作，及移動(dòng)位置，必要時(shí)調(diào)整氣動(dòng)閥門。 ? d、放置鏡片架，注意平穩(wěn)可靠。 ? b、安裝、調(diào)整蒸發(fā)源 (蒸發(fā)源鉬舟安裝，參見(jiàn)附件 )蒸發(fā)舟電極柱連接應(yīng)緊固，若有一邊先亮情況發(fā)生時(shí)應(yīng)及時(shí)調(diào)整。 ? 、開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。 ? 、開維持泵、截止閥、擴(kuò)散泵。 ? 操作步驟與注意事項(xiàng)。 ? λ。第二周期的膜色隨膜厚變化趨勢(shì)為：紫 藍(lán) —綠 —黃 —橙 —品紅 —紅；高折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色色彩濃，顏色純，低折射率基底鍍上氟化鎂后，反射色夾有白色成份所以色彩淡，但二者在相同膜厚時(shí)，反射色色素基本相同。 （ nm） 516—520 524—528 532—548 ? 反射色 紫偏藍(lán) 藍(lán)偏紫 藍(lán) 藍(lán)偏白 ? 膜厚（ nm） 138—140 141—150 151—159 160—175 ? λ。 （ nm） 0—400 404—448 452—472 ? 反射色 橙品紅 品紅 品紅偏紫 ? 膜厚（ nm） 119—123 124—125 126—128 ? λ。 ? 。 ? （各零件控制數(shù)據(jù)見(jiàn)專門工藝數(shù)據(jù)文件）。防止蒸鍍中因失控造成鍍膜失敗。 ? 、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無(wú)法定出晶片的使用周期。經(jīng)上述處理的鉬舟即可投入使用。使用前，應(yīng)在真空狀態(tài)下空載。 ? 、蒸發(fā)源：采用電阻熱蒸發(fā)方式，蒸發(fā)載體為高純度鉬片制成的小舟，鉬片厚度為 ，鉬片裝料部分的尺寸為 25 25 5mm（或?qū)ｉT成型的鉬舟）。 ? 、鍍膜前準(zhǔn)備： ? 、膜料采用光譜純結(jié)晶態(tài)氟化鎂 (MgF2)。 ? 關(guān)真空測(cè)量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級(jí)閥、關(guān)機(jī)械泵。 ? 預(yù)熔膜料、并按膜系蒸鍍。 ? 開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。 ? 處理真空室（清潔等），關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥。 ? 開機(jī)組電源、開機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。適用范圍：光學(xué)元件事業(yè)本部 ZZSX800型鍍膜機(jī)操作。關(guān)閉電源箱總電源。手動(dòng)關(guān)閉機(jī)組電源開關(guān)。自動(dòng)充氣、開門，卸下基片架。 1蒸鍍中，注意觀察蒸發(fā)舟、料面及控制柜面板參數(shù)情況，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。 1當(dāng)機(jī)組真空、恒溫時(shí)間到達(dá)后，轟擊完畢，關(guān)陰極電流旋鈕，再關(guān)陽(yáng)極電壓旋鈕，并關(guān)閉質(zhì)量流量計(jì)充氧，三聲報(bào)警后，自動(dòng)開始蒸鍍。 1調(diào)節(jié)陰極旋鈕，使陽(yáng)極電流約在 。 將離子源開關(guān)往上撥以打開離子源電源。 將充氧流量計(jì)旁開關(guān)撥至“ ON‖位置。 上述事項(xiàng)完成并確定無(wú)誤后，關(guān)上真空室門，按黃色“ RUN‖按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。一手抓基片架后部把柄，另一手托住前部，小心將基片架放入卡槽內(nèi)。若舟已較嚴(yán)重變形，應(yīng)及時(shí)更換新舟（新舟應(yīng)事先預(yù)熱過(guò)），同時(shí)裝上備用新舟預(yù)熱（手動(dòng)）。壽命值＞ 697。（更換護(hù)板時(shí)間見(jiàn) 《 設(shè)備周期管理 》 ） 檢查晶片壽命及活性值，在晶控儀控制板上，按“ ABORT‖鍵，正常工作，再按“ RESET‖鍵，檢查頻率值＞ ；壽命值＞694，否則應(yīng)換晶片，鍍了 23罩后可將晶片卸下擦拭，除去浮塵延長(zhǎng)晶片的使用壽命。 ? 注：各閥門運(yùn)行狀態(tài)需觀察電腦程序控制面板。 將“ COOL TIME‖開關(guān)撥至“ OFF‖，“ LV‖充氣閥打開。 按黃色“ RUN‖按鈕，待“ RV‖預(yù)抽閥燈閃爍。）記錄內(nèi)容包括：異常情況、故障發(fā)生及排除日期、時(shí)間；異常情況及故障現(xiàn)象；自我分析；實(shí)際維修、排除記錄及說(shuō)明；作業(yè)員、維修員簽名。 ? 、做好機(jī)組異常情況、故障及維修記錄。 ? 記錄表應(yīng)記錄下列內(nèi)容：蒸鍍起止時(shí)間、膜系名稱、晶片壽命、工具因子值、設(shè)定基片溫度、蒸鍍時(shí)真空度、關(guān)門至開門時(shí)間、零件名稱、鍍件數(shù)量等。 ? 、執(zhí)行技術(shù)文件規(guī)定的其他事項(xiàng)。 ? 、機(jī)組 —旦停水，應(yīng)切斷擴(kuò)散泵，停止正常蒸鍍操作，關(guān)閉烘烤，約 10分鐘后若仍停水則用備用水冷卻擴(kuò)散泵。 ? 、烘烤燈管兩頭的管腳緊固螺絲每個(gè)星期一全部緊一遍，避免接觸不良產(chǎn)生打火。 ? 、機(jī)組在冷鍍過(guò)鏡片后，無(wú)論真空室部件是否干凈，都必須徹底清洗真空室有關(guān)部件。） ? 七、注意事項(xiàng)： ? 、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類的物品、工具、紗布進(jìn)入。（因循環(huán)水管道已改為金屬管道，且為了縮短開機(jī)員工作時(shí)間，允許晚班不停水直接下班。 ? 、停維持泵、停機(jī)組電源，停電、停氣。 ? 、若繼續(xù)操作，則重復(fù) —。 ? 、真空室降溫至規(guī)定值時(shí)（ 270℃ 左右），開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。 ? 、關(guān)前級(jí)閥、關(guān)羅茨泵，并在羅茨泵停穩(wěn)后關(guān)機(jī)械泵。（ 80V） ? 、按膜系要求以及技術(shù)文件規(guī)定逐層蒸鍍。（ 30V） ? 、開晶控儀，開電子槍電源。 ? 、開烘烤，烘烤溫度設(shè)定為 300℃ 。 ? 、開低真空測(cè)量在達(dá)到 400Pa左右的真空度時(shí)開啟羅茨泵。經(jīng)上述處理的鉬舟即可投入使用。當(dāng)蒸發(fā)舟使用 50次、層膜或變形時(shí)應(yīng)及時(shí)更換，新?lián)Q上的蒸發(fā)舟應(yīng)先處理干凈，并在真空狀態(tài)下空載。 ? f、修正補(bǔ)償板位置的確認(rèn)或更換。 ? d、安置鏡片架、注意裝夾安全可靠。 ? b、更換、添加膜料。 ? 開充氣閥、開門、關(guān)充氣閥。 ? 、開維持泵、擴(kuò)散泵。 ? 各層膜的控制數(shù)據(jù)以及修正方法按相關(guān)膜系技術(shù)文件的規(guī)定執(zhí)行。操作中一經(jīng)發(fā)現(xiàn)晶控儀顯示有失常時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換晶片；或?qū)⒕断虏潦靡幌虏⑶鍧嵦筋^各觸點(diǎn)，保持良好接觸。 ? 四、鍍膜前準(zhǔn)備 ? .按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，作膜料、基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。 ? 1降溫、充氣、開門、取工件。 ? 關(guān)烘烤、關(guān)旋轉(zhuǎn)、關(guān)膜厚儀。 ? 測(cè)高真空、開膜厚儀。 ? 測(cè)低真空，開羅茨泵、關(guān)預(yù)抽閥、開前級(jí)閥、開高閥。 ? 開充氣閥、開門。 ? 二、開機(jī)流程 ： ? 開電源、氣源、水源。 ? ZZSX800型鍍膜機(jī)（北儀） 作業(yè)手順書 ? 一、目的和適用范圍 ? 本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用 ZZSX800型鍍膜機(jī)鍍制多層膜的操作方法及過(guò)程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。 1將電子槍開關(guān)撥至“ EXT‖。 預(yù)熔完畢后，點(diǎn)擊電腦程序上充氧界面的“ Extemal(for pc)‖,關(guān)閉充氧，再點(diǎn) OK。 調(diào)節(jié)電子槍 X、 Y方向的“ SCAN‖（面積）旋鈕，使數(shù)值為 4。 按電子槍控制電源面板上的“ ACC ON‖按鈕，打開電子槍高壓。 打開電腦程序上的“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊上面的“自動(dòng)操作”，由橙色變?yōu)榘咨? 關(guān)閉電源箱總電源。 關(guān)閉氣源（或氣泵）。 關(guān)閉電子槍控制柜電源； 120分鐘后自動(dòng)將羅茨泵、機(jī)械泵及機(jī)組電源關(guān)閉。 手動(dòng)關(guān)閉電腦。 ? 關(guān)機(jī) 關(guān)門，按黃色“ START‖按鈕。自動(dòng)充氣、開門。應(yīng)注意觀察調(diào)整電子槍束斑位置及面積，注意觀察料面情況，并觀察控制柜面板上響應(yīng)參數(shù)，若有異常應(yīng)調(diào)整或暫停、中止。預(yù)熔完畢，將機(jī)組置于自動(dòng)控制狀態(tài)。 按黃色“ START‖按鈕，機(jī)組進(jìn)入抽真空、加熱狀態(tài)。基片架