【正文】 ? 2開機(jī)員對(duì)鍍完后過程仔細(xì)記錄確認(rèn)。 ? 1開機(jī)員觀察記錄確認(rèn)。 ? 1領(lǐng)班對(duì)開機(jī)過程一一確認(rèn)。 ? 晶控晶片擺放確認(rèn)。 ? 電子槍坩鍋清潔平整確認(rèn)。 ? 開機(jī)員檢查玻璃確認(rèn)。 ? 踏踏實(shí)實(shí)的工作。（專用記錄本，保存 10年。 ? 、根據(jù)專用工作記錄表，做好各罩記錄。 ? 、機(jī)組一旦停電，應(yīng)切斷總電源及各按鈕，來電后逐步啟動(dòng)。） ? 、其它： ? 、真空室內(nèi)嚴(yán)禁任何油污染，任何油類物品及含油類的物品、工具、紗布進(jìn)入。 ? 、停維持泵、停機(jī)組電源，停電、停氣。 ? 、真空室降溫至 270℃ 時(shí)，充氣，開門，取出工件。 ? 、膜料充分預(yù)熔后，調(diào)小蒸發(fā)電流，啟動(dòng)膜厚儀，打開擋板，蒸鍍。 ? f、檢查膜厚儀工作情況，必要時(shí)清潔探頭、更換晶片 ? 、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥、開烘烤、啟動(dòng)工件慢旋轉(zhuǎn)（約 20V），測(cè)低真空。 ? c、裝填膜料，加料應(yīng)適量，勿使舟內(nèi)膜料太多積累。因擴(kuò)散泵預(yù)熱要 ，所以在擴(kuò)散泵開啟后 1小時(shí)內(nèi)不作下步操作。超過 650nm時(shí)的膜厚確認(rèn)，應(yīng)有分光光度計(jì)測(cè)試比較片確定。 （ nm） 552—560 561—600 601—636 640 ? 膜厚超過 160nm反射色由藍(lán)轉(zhuǎn)白到 200nm后進(jìn)入第二周期。單層氟化鎂減反膜的反射色，決定了膜層的厚度，膜層反射色在某一特定的顏色時(shí)表征了該膜層的厚度，其對(duì)應(yīng)關(guān)系如下：（膜厚為該膜的光學(xué)厚度） ? 反射色 白 黃偏橙 橙 ? 膜厚（ nm） 0—100 101—112 113—118 ? λ。 ? 、膜層厚度控制。 ? *ZZSX 800機(jī)鉬舟尺寸 20 20 4(mm) ? 、按有關(guān)膜系技術(shù)工藝文件要求，基片、晶控儀、晶片、真空室布置、基片上傘等準(zhǔn)備工作。制成的鉬舟應(yīng)在濃度為 15％的氫氧化鈉溶液中浸泡十分鐘，水洗徹底去除堿溶液后，用酒精、乙醚混合液擦拭干凈。 ? 1降溫、充氣、開門、取工件。 ? 測(cè)高真空、開膜厚儀。 ? 開充氣閥、開門。 ZZSX1350型鍍膜機(jī) 作業(yè)手順書 ? 一、目的和適用范圍 ? 本指導(dǎo)卡規(guī)定了使用 ZZSX800型鍍膜機(jī)鍍制多層膜的操作方法及過程控制，確保所加工的產(chǎn)品滿足要求、品質(zhì)得到控制。 三、關(guān)機(jī) 關(guān)門，按紅色“ POWER OFF‖鍵，機(jī)組在條件滿足時(shí)自動(dòng)將“ DPI、 DP2‖關(guān)閉， 50分鐘后自動(dòng)將羅茨泵、機(jī)械泵及機(jī)組電器關(guān)閉。 1在自動(dòng)蒸鍍開始時(shí)，開質(zhì)量流量計(jì)充氧量，調(diào)節(jié)到 *105TORR，調(diào)節(jié)陽極電壓旋鈕，使陽極電壓為 50V（根據(jù)工藝設(shè)定可適當(dāng)改變），調(diào)節(jié)陰極電流使陽極電流約為 ，對(duì)零件進(jìn)行轟擊。 調(diào)節(jié)離子源控制面板上陽極電壓旋鈕，使陽極電壓加至 100V。 當(dāng)設(shè)定溫度到達(dá)后，打開離子源穩(wěn)壓電源的穩(wěn)壓按鈕。 上基片架。新晶片頻率值＞ 。充氣完畢，真空室門打開。 HVC1200A鍍膜機(jī)操作手順書 ? 一、開機(jī) 打開電源箱總電源； 打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門； (先開出水，后開進(jìn)水 ) 打開氣動(dòng)氣源閥門（或氣泵電源）； 打開機(jī)組電源，按紅色“ CONTROL POWER‖按鈕； 啟動(dòng)黃色“ START‖按鈕，機(jī)組自動(dòng)開啟機(jī)械泵 (RP)、羅茨泵(MBP)、擴(kuò)散泵 (DP1/DP2)， DP1/DP2燈閃爍，表示擴(kuò)散泵處于加熱中， DP1/DP2燈穩(wěn)定時(shí)，表示擴(kuò)散泵油溫度到達(dá)，可以打開高閥。車間可結(jié)合生產(chǎn)記錄設(shè)計(jì)表格，報(bào)工程科審核后投入使用。 ? 、應(yīng)隨時(shí)注意循環(huán)冷卻水供給情況。 ? 、保持機(jī)組正常工作，一旦有異常應(yīng)停機(jī)，排除故障后再啟動(dòng)。但如第二天為休息日，則開機(jī)員應(yīng)在第二天上午到廠關(guān)閉循環(huán)水。 ? 、關(guān)門、開機(jī)械泵、開預(yù)抽閥約 15分鐘左右可關(guān)預(yù)抽閥、關(guān)機(jī)械泵。 ? 、若不再繼續(xù)蒸鍍，則關(guān)上擴(kuò)散泵，否則擴(kuò)散泵不停。 ? 、在真空室真空度達(dá)技術(shù)文件規(guī)定值（一般在 5~6 103Pa）、烘烤溫度達(dá)設(shè)定值 20分鐘以上，預(yù)熔膜料，工件旋轉(zhuǎn)加快。 ? 、在擴(kuò)散泵工作 1小時(shí)以上，自動(dòng)壓強(qiáng)儀真空度 ≤ 101Pa時(shí)，關(guān)預(yù)抽閥、開前級(jí)閥、開高閥。通電讓其發(fā)紅熱處理。 ? e、按技術(shù)文件規(guī)定作真空室其它處理，以及晶控儀數(shù)據(jù)設(shè)定或調(diào)整。 ? 、處理真空室： ? a、用吸塵器及銅絲刷、紗布、乙醇乙醚混合液清潔真空室，重點(diǎn)是檔板、槍體、坩堝等。 ? 六、操作步驟與注意事項(xiàng) ? .接通水源、氣源、電源，打開機(jī)器總電源。 ? 、晶片：由于晶片本身品質(zhì)有差異，晶控儀穩(wěn)定性不理想，無法定出晶片的使用周期。 ? 關(guān)真空測(cè)量、關(guān)高閥，關(guān)羅茨泵、關(guān)前級(jí)閥、關(guān)機(jī)械泵。 ? 開烘烤、工件旋轉(zhuǎn)。 ? 開機(jī)組電源、開機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。 1打開電腦程序上“蒸發(fā)源”界面，點(diǎn)擊“自動(dòng)操作”，由白色變?yōu)槌壬? 利用遙控盒，調(diào)節(jié)光斑位移（ POINT）旋鈕，使光斑在膜料上作圓周運(yùn)動(dòng)，并慢慢將束流加至 400mA。 再打開“蒸鍍參數(shù)”界面，將“ APC SETUP‖打開，選擇對(duì)應(yīng)的充氧通道，點(diǎn)擊“ APC Intermal‖。 關(guān)閉氧氣瓶閥門。 關(guān)閉“ IC/5‖晶控儀。卸下基片架。（附 1：手動(dòng)預(yù)熔操作） 當(dāng)機(jī)組真空、溫度等滿足蒸發(fā)條件時(shí)，自動(dòng)開始蒸鍍。 上述事項(xiàng)完成并確定無誤后，關(guān)上真空室門。而后關(guān)閉擋板。旋轉(zhuǎn)坩堝用遙控盒的“ POCKET CCW‖和“ POCKET 1STEP‖紅色按鈕。 ? 二、鍍膜 打掃真空室：用銅絲刷、吸塵器、刀片等工具，將電子槍外露部分、坩堝及四周、護(hù)板及觀察窗等打掃干凈，換上干凈擋板。 HVC1050A鍍膜機(jī)操作手順書 ? 一、開機(jī) 打開電源箱總電源； 打開冷水機(jī)外部循環(huán)水閥門； (先開出水，后開進(jìn)水 ) 打開氣動(dòng)氣源閥門（或氣泵電源）； 按紅色“ CONTROL POWER‖按鈕； 按“ IC/5‖晶控儀白色“ ON‖按鈕，打開晶控儀； 待控制電腦自動(dòng)完成啟動(dòng)；復(fù)合真空計(jì)工作正常，啟動(dòng)黃色“ START‖按鈕，機(jī)組自動(dòng)開啟機(jī)械泵 (RP)、羅茨泵 (MBP)、擴(kuò)散泵 (DP1/DP2)， DP1/DP2燈閃爍，表示擴(kuò)散泵處于加熱中，DP1/DP2燈穩(wěn)定時(shí)，表示擴(kuò)散泵油溫度到達(dá)，可以打開高閥。 關(guān)氧氣瓶閥門。 ? 蒸鍍完畢至開門，可顯示真空泵及各真空閥門的工作情況。若主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格未顯示“ AUTO‖或“ START‖，則按右邊第一個(gè)鍵“ RET‖或“ ABOUT‖換屏。將主屏下排圖標(biāo)左邊第一方格顯示“ AUTO‖或“ START‖并按其下方的按鍵，即可進(jìn)入自動(dòng)控制狀態(tài)。新晶片的壽命值應(yīng) ≥98%。 處理真空室： FBM01控制盒的使用：開門后可用 FBM01控制盒可控制：檔板的開啟、坩堝、及工件架的旋轉(zhuǎn)。 1再按一下“ RET‖鍵返回； 1按下“ VACUUM SELECT‖鍵，再按下“ HIGH‖鍵，再按“ RET‖返回； 1按“ ACT‖+―0‖，顯示當(dāng)前泵及閥狀態(tài)。 1先開 POLYCOLD電源開關(guān)。 打開冷水機(jī)的電源開關(guān)。 ? 利用遙控盒上 X、 Y位移、掃描幅度調(diào)節(jié)旋鈕，控制光斑在膜料上做圓周運(yùn)動(dòng)，調(diào)節(jié)“束流”按鈕逐漸加大電子束流，對(duì)膜料進(jìn)行預(yù)熔。 ? 打開電子槍掃描電源。 關(guān)進(jìn)水閥。 關(guān)閉電控柜面板上各儀器電源。 2將旋轉(zhuǎn)參數(shù)調(diào)節(jié)為 7轉(zhuǎn) /分。 19蒸鍍完畢，先按手持遙控盒上“高壓”按鈕，關(guān)閉電子槍高壓。 1按 MDC360晶控儀面板上“ START‖按鈕，在程序單中選擇鍍制零件所需程序，再按“ START‖，開始自動(dòng)鍍制。 1打開質(zhì)量流量計(jì)開關(guān)，調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，根據(jù)各膜料充氧不同，維持不同真空度。 抽真空過程中，記錄機(jī)組各數(shù)據(jù)表。 確定上述操作無誤后，雙手提傘片把手，將備好零件放于真空室旋轉(zhuǎn)架上，并檢查傘片是否放到位，有無變形，所對(duì)應(yīng)比較片是否安放。 ? 二、鍍膜 用銅絲刷、三角刮刀、吸塵器對(duì)坩堝及坩堝周圍進(jìn)行打掃，將電 子槍擋板送噴砂處理。 打開電控柜內(nèi)電源開關(guān)。 打開進(jìn)氣閥門（進(jìn)水閥旁）。 ? 先關(guān)閉冷水機(jī)的泵和壓縮機(jī)，再關(guān)閉冷水機(jī)電源。 ? 關(guān)閉 XTC/。 ? 在 PLC界面“ EXHUST CONTEOL‖項(xiàng)中按“ CHAMBER EXHUST‖對(duì)真空室抽氣，在“ TOGGLE SWITCH‖項(xiàng)中，讓各水閥處于“ MANUAL‖狀態(tài)，“ DOME HEATER‖（旋轉(zhuǎn)架加熱），“ DOME ROTATION‖（旋轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)）和 POLYCOLD處于“ OFF‖狀態(tài)， ? 關(guān)閉電子槍控制柜電源。若 OK則開始對(duì)燈絲預(yù)熔（若不是新?lián)Q的燈絲，可點(diǎn)擊“ SKIP‖跳過）。 ? 上基片架。若其值在 5944KHZ以下，則應(yīng)考慮切換晶片。等候“ WARM UP‖（加熱）完成，若“ WARM UP‖完成，警示燈應(yīng)變?yōu)榫G色。 ? 按電腦主機(jī)啟動(dòng)鈕，啟動(dòng)電腦。 ? 打開主控柜內(nèi)總電源及 UPS電源開關(guān)。 ? 9，底版至燈架兩頭高溫線螺栓并帽接口受高溫影響脫焊、變形、斷裂。 ? 在更換時(shí)，注意不可有其它物體碰到晶片表面； ? AR1300機(jī)更換晶片上螺絲時(shí)，注意各螺絲力道應(yīng)對(duì)稱均勻，各機(jī)組每次更換完畢，應(yīng)在控制面板上切換檢查 LIFE值。 ? 晶控儀的穩(wěn)定會(huì)受水冷的一定影響（如水溫、水質(zhì)），故每隔 15天左右，開機(jī)員在換班、休息后上班、或停電后上班時(shí)均要對(duì)進(jìn)出水管進(jìn)行對(duì)換沖洗，清除管內(nèi)污垢，直至與進(jìn)水質(zhì)方可重新安裝。 ? 、鋼絲鉗等工具，用呆、套扳手進(jìn)行作業(yè)。 ? 噴砂時(shí)應(yīng)取下碘鎢燈，旋下兩頭燈絲螺栓。 ? 以上清潔處理和烘烤的總時(shí)間不得大于 2小時(shí)， A、 B班輪流更換。 ? 1被擴(kuò)散泵污染的高閥門板，真空室內(nèi)壁表面需用防靜電耐磨砂紙 240＃打磨去除黃色油漬。 ? 1北儀 1350機(jī)連續(xù)或累計(jì)鍍制 168小時(shí)以上產(chǎn)品件號(hào)的更換護(hù)板。其他72小時(shí)更換 ? 萊寶 1104機(jī)停用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制產(chǎn)品件號(hào) 72小時(shí)以上更換護(hù)板，使用冷凝機(jī)時(shí)連續(xù)或累計(jì)鍍制 240小時(shí)以上更換護(hù)板。 ? 高閥區(qū)百葉窗拆卸時(shí)，從上到下，雙手握住葉片兩側(cè)，同時(shí)用力向上取上取下，若為整體式，則拆下螺栓即可，并做噴砂處理。 ? 檢查離子源氣流覆蓋面積是否為整個(gè)基片表面