【正文】 PM進行的徹底到位可以保證生產的正常進行，如濾芯的清洗，清洗不好，可能導致水不干凈，造成水痕臟片等；碎片清理不徹底可能導致碎片流入藥液管道造成藥液流量降低，滴定閥堵塞漏酸，造成臟片等。 預防措施： PM之前必須沖洗各個槽滾輪，且在 PM后工藝端檢查是否做到位，看碎片是否清洗干凈，滾輪是否安裝好等 測量儀器的短缺會造成測量不能及時進行，產品質量不能保證，甚至導致生產大量不良片后才發(fā)現。至少保證每兩臺機器有一臺測量儀器（電子天平和絕緣電阻測試儀）。 預防措施： ，準確 ，假片跑不夠，就會出現滾輪影或刻蝕量不夠； ，不然前清洗容易出現刻蝕量不均勻，后清洗容易出現過刻； ，硅片表面氧化，影響后面效率良率； ，容易出現堿槽噴淋風刀鹽結晶堵塞，導致出現臟片和 水洗 1槽濾芯鹽結晶堵塞，出現流量低，從而出現臟片等。 預防措施： 、質量意識欠缺以及作業(yè)區(qū) 5S執(zhí)行狀況 主要表現為片子放反，出現不良時不能及時發(fā)現隔離并通知工藝和設備，減少不良產生等。手套，片盒，桌面，機臺等衛(wèi)生狀況都會影響產品質量。 預防措施： 5S規(guī)范 、工藝、設備加強檢查生產的執(zhí)行情況 五、前后清洗換藥規(guī)程 前清洗換藥規(guī)程 更換刻蝕槽藥液 主界面依次點擊 stop→Mode Manual停機并將機器切換成手動操作模式。 主界面 點擊 Manual進入手動換藥界面 (程序默認為刻蝕槽換藥界面 ) 刻蝕槽換藥界面 滾輪控制界面 ? 點擊 F11在出現的界面點擊 Drivers進入滾輪控制界面，依次點擊All conveyors→Start開啟滾輪。點擊 F4回到刻蝕槽換藥界面。 ? 點擊 System draining排去 Bath槽和 tank槽的藥液。排藥過程用水槍沖洗刻蝕槽槽蓋，滾輪。沖洗好后將槽蓋關閉。沖洗過程中穿戴好防護用具，注意安全。 ? 待圖標顯示 Empty(黃色 )，點擊 PT Filling DI加水清洗。 ? 待 Prepping cabi顯示 Full DI時，點擊 Fill bath將水打入 bath槽。 ? 待 bath槽顯示 Full DI時，循環(huán) 2min清洗。 ? 點擊 System draining排水。待圖標顯示 Empty(黃色 )，排水完畢，清洗結束。 ? 重復上述清洗步驟。清洗次數依據實際情況調整，一般為 2次。 ? 點擊 PT Filling Chemie向 tank槽添加藥液。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結束，確認無報警信息后點擊PT Filling Chemie繼續(xù)加藥。 ? 待 Prepping cabi顯示 Full Chemie時，點擊 Fill bath將藥液打入 bath槽。 ? 待 bath槽顯示 Full Chemie時，依次點擊 F11→Drivers進入滾輪控制界面，依次點擊 All conveyors→Stop關閉滾輪。 ? 按 F10返回主界面。 ? 依次點擊 Mode Auto→Start開啟機器。 更換堿槽藥液 ? 主界面依次點擊 stop→Mode Manual停機并將機器切換成手動操作模式 ? 點擊 Manual進入手動換藥界面 (程序默認為刻蝕槽換藥界面 ) ? 點擊 F11在出現的界面點擊 Drivers進入滾輪控制界面，依次點擊 All conveyors→Start開啟滾輪。點擊 F4回到刻蝕槽換藥界面。 ? 點擊 Alkaline進入堿槽換藥界面。 ? 點擊 Draining將藥液排掉。 ? 待圖標顯示 Empty（黃色），點擊 Filling DI加水清洗。 ? 待 Alkaline Rinse圖標顯示 Full DI時，點擊 Start circulation打開循環(huán)。循環(huán) 2min。清洗次數依實際情況而定（一般為 2次），若清洗多次后水仍呈乳白色，可與設備人員溝通更換濾芯。 ? 點擊 Stop→Draining將水排掉，待 Alkaline Rinse圖標顯示 Empty，排水完畢，清洗結束。 ? 點擊 Filling Chemie添加藥液。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結束，確認無報警信息后點擊 PT Filling Chemie繼續(xù)加藥。 ? 依次點擊 F11→Drivers進入滾輪控制界面，依次點擊 All conveyors→Stop關閉滾輪。 ? 按 F10返回主界面。 ? 依次點擊 Mode Auto→Start開啟機器。 更換酸槽藥液 ? 主界面依次點擊 stop→Mode Manual停機并將機器切換成手動操作模式 ? 點擊 Manual進入手動換藥界面 (程序默認為刻蝕槽換藥界面 ) ? 點擊 F11在出現的界面點擊 Drivers進入滾輪控制界面，依次點擊 All conveyors→Start開啟滾輪。點擊 F4回到刻蝕槽換藥界面。 ? 點擊 F4切換至酸槽換藥界面。 酸槽換藥界面 ?點擊 Draining將藥液排掉。 ?待 Acidic Rinse圖標顯示 Empty（黃色），點擊 Filling DI加水清洗。 ?待 Acidic Rinse圖標顯示 Full DI時，表示水已加滿。這時設備進入自動循環(huán)狀態(tài)，循環(huán) 2min。清洗次數依實際情況而定（一般為 2次）。 ?點擊 Draining將水排掉，待 Acidic Rinse圖標顯示Empty，排水完畢。清洗結束。 ?點擊 Filling Chemie添加藥液。若加藥過程外圍藥液量不夠報警，通知外圍換藥。待外圍換藥結束，確認無報警信息后點擊 PT Filling Chemie繼續(xù)加藥。 ?依次點擊 F11→Drivers 進入滾輪控制界面，依次點擊 All conveyors→Stop 關閉滾輪。 ?按 F10返回主界面。 ?依次點擊 Mode Auto→Start 開啟機器。 Thanks for your attention