【正文】
P t S i2 C o S i2 T i S i2 S i l i c i d e s M o S i2 T a S i2 S i3N4 P o l y s i l i c o n A l S i O2 Si 1 9 7 0 1 9 8 0 1 9 9 0 2 0 0 0 2 0 1 0Q ua ntum l e a p in ne w m a te r ia ls集成電路中的材料 小結(jié): Bipolar: ? 基區(qū) (Base),基區(qū)寬度 Wb ? 發(fā)射區(qū) (Emitter) ? 收集區(qū) (Collector) ? NPN, PNP ? 共發(fā)射極特性曲線 ? 放大倍數(shù) ?、 ? ? 特征頻率 fT 小結(jié): MOS ? 溝道區(qū) (Channel),溝道長度 L,溝道寬度 W ? 柵極 (Gate) ? 源區(qū) /源極 (Source) ? 漏區(qū) /漏極 (Drain) ? NMOS、 PMOS、 CMOS ? 閾值電壓 Vt,擊穿電壓 ? 特性曲線、轉(zhuǎn)移特性曲線 ? 泄漏電流 (截止電流 )、驅(qū)動(dòng)電流 (導(dǎo)通電流 ) 小結(jié):器件結(jié)構(gòu) ? 雙極器件的縱向截面結(jié)構(gòu)、俯視結(jié)構(gòu) ? CMOS器件的縱向截面結(jié)構(gòu)、俯視結(jié)構(gòu) ? CMOS反相器的工作原理 ? IC:有源器件、無源器件、隔離區(qū)、互連線、鈍化保護(hù)層 作 業(yè) ? 畫出 CMOS反相器的截面圖和俯視圖 ? 畫出雙極晶體管的截面圖和俯視圖