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硅集成電路-快速熱處理技術(shù)-資料下載頁

2025-10-07 19:51本頁面
  

【正文】 。 *超固溶度 *瞬時(shí)增強(qiáng)擴(kuò)散 Reading material . 介質(zhì)加工和硅化物的形成 *介質(zhì) /半導(dǎo)體界面態(tài)的退火 *超薄介質(zhì)的形成 *金屬硅化物的再加工
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