精密與特種加工技術(shù)第十一章其他精密與特種加工技術(shù)-資料下載頁
2025-05-10 14:52本頁面
【正文】 上光學像的對比度，提高分辨率，同時焦深、像亮度曝光量和寬容度也得到改善。 36 2. CQUEST和 SHRINC技術(shù) CQUEST的原理是選擇和控制用于微細圖形成像的照明光，使通過透鏡的光程達到優(yōu)化，以提高像質(zhì)和增加焦深。 SHRINC方法也可用在準分子激光照明情況下，并可與相移掩模結(jié)合使用。當與 i線分步重步光刻機結(jié)合時，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 64 Mbit DRAM；當與 KrF準分子激光光刻結(jié)合時，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 256 Mbit DRAM；進一步與ArF(193 nmm)準分子激光光刻和相移掩模結(jié)合，可望用于 1 Gbit DRAM的生產(chǎn)。 37 磁性磨料加工 磁性磨料研磨加工按磨粒的狀態(tài)分為干性研磨和濕性研磨兩種。 干性研磨使用的磨料是干性磨料；濕性研磨是將磨料與不同的液體混合。這兩種方式都能進行拋光、去毛刺和棱邊倒圓。這里主要介紹干性磁力研磨。 38 加工原理 干性磁力研磨的示意圖如右圖所示。把磁性磨料放入磁場中，磁性磨料在磁場中將沿著磁力線的方向有序地排列成磁力刷。把工件放入 NS磁極中間，并使工件相對 N極和 S極保持一定的距離，當工件相對磁極作相對運動時，磁性磨料將對工件表面進行研磨加工。 39 磁性磨料 磁性磨料的制造工藝雖不完全相同，但使用的原材料是基本相同的。常用的原料是鐵加普通磨料 (例如 A12O SiC等 )。 一般的制造方法是將一定粒度的 A12O3或 SiC與鐵粉混合、燒結(jié)，然后粉碎、篩選，制成一定尺寸的磁性磨料，如右圖所示。 40 加工工藝參數(shù)對加工質(zhì)量的影響 1. 磁場強度的影響 加工間隙中的磁感應(yīng)強度大小可以通過改變勵磁電壓的大小來控制。當勵磁電壓一定時，磁性磨料受到的作用力與磁感應(yīng)強度的平方成正比。增大加工間隙中的磁感應(yīng)強度，就能有效地提高研磨拋光效率，因此，要正確選用勵磁電壓。應(yīng)根據(jù)工件的尺寸、工件材質(zhì)、工件加工表面粗糙度的要求等合理選擇電壓值。一般粗加工時應(yīng)選用較大的磁場強度。 41 2. 加工間隙的影響 當磁性磨料、工件轉(zhuǎn)速、勵磁電壓一定時，應(yīng)正確選擇加工間隙的大小。試驗結(jié)果和理論分析都證明：加工間隙增大，磁感應(yīng)強度會減小；加工間隙小，則磁感應(yīng)強度大。在粗加工時，加工間隙要盡量選??；精加工時，加工間隙要選大。加工間隙大小的值應(yīng)根據(jù)具體的加工要求而定。 42 3. 磁極形狀的影響 為了有效和可靠地工作，必須正確設(shè)計磁極的形狀。若磁極的中央部分是圓弧，中央部分不容易保存磁性磨粒，中央部分就沒有研磨作用，降低了磁極的利用率。若在磁極圓弧的中央開槽，則磁性磨料的受力狀態(tài)改變，使中央部分集中了磁性磨粒，使磁極利用率提高。同時，磁極形狀的設(shè)計應(yīng)使磁性磨料在加工間隙中受到更大的磁場力，從而提高磁力研磨的加工效率。 43 應(yīng)用實例 1. 利用回轉(zhuǎn)磁極研磨球面（下圖所示） 工具磁極的端面為球面，兩個工具磁極繞同一軸線轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動方向相反。研磨時，工件不但轉(zhuǎn)動，而且擺動，但球心始終不動。利用這種方法研磨，可以在幾分鐘內(nèi)將球面從 6研磨拋光成為 Ra 。 44 2．磁力研磨階梯形零件 (下圖所示 ) 利用磁力研磨方法拋光圓柱階梯形零件，可以將棱邊上20~30高度的毛刺在幾分鐘內(nèi)去除，研磨成的棱邊圓角半徑為 ，這是其他方法無法或者很難實現(xiàn)的，在精密耦合件中用來拋光和去毛刺十分有效。 磁性磨料研磨加工技術(shù)主要用于精密機械零件的表面精整和去毛刺。去毛刺的高度不能超過 。通常用于液壓元件的閥體內(nèi)腔拋光及去毛刺，效率高、質(zhì)量好，棱邊倒角可以控制在 ，這是其他加工方法難以實現(xiàn)的。 磁性磨料研磨加工技術(shù)還可以用于油泵齒輪、軸瓦、軸承、異型螺紋滾子等的研磨拋光。 45 階梯形零件的磁力研磨
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