超精密加工畢業(yè)設(shè)計論文-資料下載頁
2025-05-11 16:04本頁面
【導(dǎo)讀】界限，但并無嚴(yán)格統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)。從目前機械加工的工藝水平來看，超精密加工一般指加工精。度<，表面粗糙度Ra值<的加工。同時也包含加工尺寸在微米級的微細加工。相同品名的元器件要求超精密加工的數(shù)量越來越大。數(shù)以百萬、千萬件計。要求超精密加工的表面形狀越來越復(fù)雜，精度要求也越來越高。其中不僅有平面、圓柱面，還有球面、非球形曲面、拋物面等。Ø100mm直徑的外圓時，加工圓度要求要控制在100×10%=10nm以內(nèi)。要求超精密加工的零件尺寸在向大型和微型兩極發(fā)展。總而言之，超精密加工的市場需求在迅速擴大。目前雖無直接的數(shù)據(jù)說明，但有一。一大產(chǎn)業(yè)；2020年中國的電子電訊設(shè)備制造業(yè)的產(chǎn)值達億元人民幣。激光干涉儀，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。精磨削可達到的圓度和Ra的表面粗糙度。測量時，激光干涉儀沿X和Y坐標(biāo)移動，或沿X，Y中之一的方向移動和工作臺。<，表面粗糙度Ra<1nm。
【正文】 00N/181。m)和可實現(xiàn)微小的增量位移。缺點是保證油溫和油壓穩(wěn)定的系統(tǒng)較復(fù)雜。 —— 增量式液壓傳動。剛度可 達 600N/181。m，位移增量 80nm，但供油系統(tǒng)復(fù)雜。 —— 電磁絲杠副傳動。它是由涂有稀有材料的磁性混合物的絲杠與帶有線圈的螺母相互作用來實現(xiàn)傳動?？蓪崿F(xiàn)微小的增量位移，但剛度過低，只有 10N/181。m。 ? 導(dǎo)軌設(shè)計。導(dǎo)軌是超精密加工機床上保證實現(xiàn)精密微量進給的重要要素之一，雖有多種形式可供選擇，但采用得最為廣泛的是液體靜壓導(dǎo)軌和氣浮導(dǎo)軌。前者的剛度可達6KN~8KN/181。m ，并能保證位移精度 ~；後者的剛度為1KN~2KN/181。m，當(dāng)氣膜厚度為 4181。m~8181。m 時，也能保證與液 體靜壓導(dǎo)軌一樣的位移精度。液體靜壓和氣浮導(dǎo)軌的直線性均可高達 。 ? 在總體布局設(shè)計上，超精密加工機床的結(jié)構(gòu)應(yīng)分成承載部分和計量部分。此時，機床所能實現(xiàn)的精度在很大程度上取決于測量系統(tǒng)的有效性。因此，一般采用像激光干涉儀這樣的高精度、高分辨率的儀器作測量裝置，并將其單獨安裝在氣浮支承的計量支架上，而且不僅安裝測量裝置時要遵守阿貝原理，在更廣義理解上，也要遵守阿貝原理。阿貝原理要求，測量軸要接近于刀尖，以便消除按杠桿原理放大誤差的可能性。從這一立場出發(fā)，導(dǎo)軌和測量裝置應(yīng)位于同一水平面上， 在機床的承載系統(tǒng)中要避開采用懸伸和剛度不恒定的構(gòu)件。 ? 在機床整體和各部件所完成的功能分配方面，在多數(shù)情況下，一臺機床只實現(xiàn)一種加工方法，每個部件也只完成一個固定的功能運動。這樣做的目的是簡化機床結(jié)構(gòu)和更易于根據(jù)精度指標(biāo)進行優(yōu)化，而無需采取妥協(xié) (折衷 )的辦法。――這一點是與目前一般機床的設(shè)計發(fā)展趨勢――復(fù)合化，擴大工藝可能性――是不一樣的，或者說是正好相反的。 ? 為了保證超精密加工的目標(biāo)順利實現(xiàn)，超精密加工機床設(shè)計必須考慮采用主動控制的隔振系統(tǒng)和在線的誤差自動補償技術(shù)。這是因為很難保證所要求的零 件制造精度，同時也很難完全消除振動和熱因素帶來的負面影響。 結(jié)束語 超精密加工是為適應(yīng)現(xiàn)代高新科技發(fā)展的要求而發(fā)展起來的先進制造技術(shù)，它的成功實現(xiàn)，不僅取決于機床、刀具和工藝方法，也還取決于測量和控制技術(shù)，即含機、光、電、傳感技術(shù)和計算機技術(shù)等。它是多種學(xué)科新技術(shù)成果的綜合應(yīng)用，但也對許多高新科技的發(fā)展與進步起著推動的作用。因此超精密加工已成為發(fā)展現(xiàn)代高新技術(shù)，特別是發(fā)展現(xiàn)代武器裝備的基礎(chǔ)技術(shù)，也是衡量一個國家科技水平的重要標(biāo)志之一。與美俄相比，中國在這方面還有不少差距，如非軸對稱的光學(xué)曲面加工工藝的可 靠性和可操作性等方面。為使中國超精密加工技術(shù)的進一步發(fā)展和提高，除繼續(xù)加強超精密加工工藝和裝備的研究外，還必須加強測量和控制，特別是對非軸對稱的非球曲面等復(fù)雜曲面的測量與控制 (如五軸超精密 CNC 系統(tǒng) )的研究；加強工藝可靠性和可操作性的研究等。而且開發(fā)研究工作需要跨學(xué)科，跨部門來協(xié)同組織進行，以便集中力量 (包括人、財、物 )解決問題。 參考文獻： 1. 于金華著，《現(xiàn)代精密機械制造新工藝、新技術(shù)與新標(biāo)準(zhǔn)》 2. 趙愛花著，《先進制造技術(shù)》
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