超精密加工畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）(文件)
【正文】 裝置應(yīng)位于同一水平面上， 在機(jī)床的承載系統(tǒng)中要避開(kāi)采用懸伸和剛度不恒定的構(gòu)件。 ? 為了保證超精密加工的目標(biāo)順利實(shí)現(xiàn)，超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)必須考慮采用主動(dòng)控制的隔振系統(tǒng)和在線的誤差自動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)。因此超精密加工已成為發(fā)展現(xiàn)代高新技術(shù)，特別是發(fā)展現(xiàn)代武器裝備的基礎(chǔ)技術(shù)，也是衡量一個(gè)國(guó)家科技水平的重要標(biāo)志之一。 參考文獻(xiàn)： 1. 于金華著，《現(xiàn)代精密機(jī)械制造新工藝、新技術(shù)與新標(biāo)準(zhǔn)》 2. 趙愛(ài)花著，《先進(jìn)制造技術(shù)》 。為使中國(guó)超精密加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展和提高，除繼續(xù)加強(qiáng)超精密加工工藝和裝備的研究外，還必須加強(qiáng)測(cè)量和控制，特別是對(duì)非軸對(duì)稱的非球曲面等復(fù)雜曲面的測(cè)量與控制 (如五軸超精密 CNC 系統(tǒng) )的研究；加強(qiáng)工藝可靠性和可操作性的研究等。 結(jié)束語(yǔ) 超精密加工是為適應(yīng)現(xiàn)代高新科技發(fā)展的要求而發(fā)展起來(lái)的先進(jìn)制造技術(shù)，它的成功實(shí)現(xiàn)，不僅取決于機(jī)床、刀具和工藝方法，也還取決于測(cè)量和控制技術(shù)，即含機(jī)、光、電、傳感技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)等。這樣做的目的是簡(jiǎn)化機(jī)床結(jié)構(gòu)和更易于根據(jù)精度指標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化，而無(wú)需采取妥協(xié) (折衷 )的辦法。因此，一般采用像激光干涉儀這樣的高精度、高分辨率的儀器作測(cè)量裝置，并將其單獨(dú)安裝在氣浮支承的計(jì)量支架上，而且不僅安裝測(cè)量裝置時(shí)要遵守阿貝原理，在更廣義理解上，也要遵守阿貝原理。m 時(shí)，也能保證與液 體靜壓導(dǎo)軌一樣的位移精度。前者的剛度可達(dá)6KN~8KN/181?？蓪?shí)現(xiàn)微小的增量位移，但剛度過(guò)低，只有 10N/181。剛度可 達(dá) 600N/181。 )，故剛度大 (達(dá) 100N~1000N/181。移動(dòng)量可小于 5nm，但總的行程量很小，只有 100~200181。缺點(diǎn)是壽命低，不夠靈敏。特點(diǎn)是剛度大，可實(shí)現(xiàn)的增量位移為 100nm(即 )。m。 ? 主軸部件設(shè)計(jì)的關(guān)鍵指標(biāo) 是回轉(zhuǎn)精度和剛度，為此優(yōu)先采用帶有溫控的低噪音主軸電機(jī)并通過(guò)扭矩或各種電磁的和薄膜的聯(lián)軸節(jié)與主軸聯(lián)接進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，主軸軸承則采用具有自定位功能的球面氣浮或液體靜壓軸承結(jié)構(gòu)。與此同時(shí)，為了消除和減少機(jī)床本身內(nèi)部振源，要盡量采用運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)的傳動(dòng)系統(tǒng)，如非接觸的氣動(dòng)和液體傳動(dòng)，禁止或避免采用帶有沖擊力的傳動(dòng)，如有間隙的換向機(jī)構(gòu)等。對(duì)個(gè)別強(qiáng)熱源處 (如主軸軸承 )所產(chǎn)生的熱量，必要時(shí)可采用專門的熱管帶走。 （ 3） 零部件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)力求熱對(duì)稱，而且應(yīng)考慮采取強(qiáng)迫的風(fēng)冷或液體冷卻并預(yù)留相應(yīng)的冷卻液循環(huán)流動(dòng)通道。為了實(shí)現(xiàn)這些基本原則和要求，超精密加工機(jī)床設(shè)計(jì)時(shí)，經(jīng)常采取的一些原 則措施有： （ 1） 首先是盡量不用或少用摩擦發(fā)熱量大的傳動(dòng)裝置 (如機(jī)械無(wú)級(jí)調(diào)速器 )，并把工作過(guò)程中發(fā)熱量大的熱源 (如電機(jī)、冷卻潤(rùn)滑油箱等 )與機(jī)床本體結(jié)構(gòu)分離或隔熱，以避免熱量落入機(jī)床本體引起機(jī)床結(jié)構(gòu)的熱變形。 除上述方法之外，還有其他的超精密復(fù)合加工方法，如電火花成形加工後繼而采用的流體拋光法、電化學(xué)拋光法、超聲化學(xué)拋 光法、動(dòng)力懸浮研磨法、磁流體研磨法以及采用 ELID 技術(shù)的磨削法等。 離子束表面加工法如圖 3 所示：經(jīng)過(guò)預(yù)磨削加工的工件 (2)被放置入真空度保持在 103Pa的真空室 (1)中，離子發(fā)生器
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