【正文】 安裝于混凝土地面。 表 （ m） 機(jī)床名稱 基礎(chǔ)厚度（ m） 機(jī)床名稱 基礎(chǔ)厚度（ m） 臥式車床 + 銑床 + 立式車床 + 龍門銑床 + 導(dǎo)軌磨床 + 插床 + 內(nèi)圓 /無心 /平面磨床 + 螺紋 /齒輪 /精密外圓磨床 + 搖臂鉆床 + 深孔鉆床 + 龍門刨床 + 坐標(biāo)鏜床 + 齒輪加工機(jī)床 + 臥式、落地鏜床 + 牛頭刨床 ~ 立式鉆床 ~ 另外 ,也有單位為達(dá)到隔振和保溫目的 ,將超精密加工機(jī)床安置于地下室 ,但實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)表明 ,其隔振效果不明顯 ,且影響正常的生產(chǎn)操作 ,不推薦使用。同時(shí)應(yīng)在日常使用中注意定期維修保養(yǎng)。 實(shí)現(xiàn)阻尼消振的方法很多 :如汽車懸架多安裝的阻尼減振器 ,或采用各種內(nèi)阻較高的纖維增強(qiáng)復(fù)合材料和粘彈性材料實(shí)現(xiàn)目前工程上廣泛采用粘貼自由阻尼層或約束阻尼層的方法控制結(jié)構(gòu)振動(dòng)。 動(dòng)力吸振 [14]是一種較為簡單的衰減外界振幅的方法 ,即對(duì)主系統(tǒng)附加調(diào)制阻尼器形成兩自由度系統(tǒng)。目前常用的動(dòng)力吸振裝置 (DVA)包括調(diào)諧質(zhì)量阻尼器 (TMD)和調(diào)諧液體阻尼器 (TLD)。其低頻持續(xù)性好 ,具有明顯的反饋控制回路 ,是一種有源控制方法 [15]。 對(duì)于傳感器的選擇 ,應(yīng)根據(jù)可測(cè)頻率范圍確定。因此 ,位移傳感器和超磁致伸縮致動(dòng)器對(duì)于高精密儀器及加工設(shè)備的微振動(dòng)控制較為適用 ,能夠?qū)崿F(xiàn)低頻共振峰值最小化。 結(jié)構(gòu)半主動(dòng)控制基本原理與主動(dòng)控制類似 ,僅需 少量的外界能量即可調(diào)節(jié)受控系統(tǒng)的振動(dòng)狀態(tài) ,其作動(dòng)器通常是被動(dòng)的剛度和阻尼裝置與機(jī)械式主動(dòng)調(diào)節(jié)器結(jié)合的控制系統(tǒng) ,從而以較小的代價(jià)更容易實(shí)現(xiàn)和主動(dòng)控制相近的控制效果 ,盡可能達(dá)到最優(yōu)的跟蹤控制 ,有較大的研究價(jià)值和廣闊的應(yīng)用前景。目前 ,對(duì)主動(dòng)變剛度控制系統(tǒng)的算法也有部分研宄 ,且相關(guān)試驗(yàn)表明也證實(shí)了其較明顯的控制效果 ,因此受到了國外學(xué)者的廣泛關(guān)注。從組合方式來看 ,可分為主從組合方式和并列組合方式。 在混合控制當(dāng)中 ,被動(dòng)控制是結(jié)構(gòu)對(duì)一般振動(dòng)的隔離和防治 ,而主動(dòng)控制則是結(jié)構(gòu)破壞的最后一道防線 ,為被動(dòng)控制提供恢復(fù)力并起到減小限位的作用。在超精密加工領(lǐng)域，精度始終占據(jù)著這個(gè)領(lǐng)域絕對(duì)的核心位置，加工精度左右著超精密加工的前進(jìn)步伐，然而各類影響超精密加工精度的環(huán)境條件一直是各個(gè)研究人員首要面對(duì)的難題，尤其是環(huán)境振動(dòng)，嚴(yán)重影響著超精密加工過程中的加工精度和質(zhì)量。 （ 3） 目前在超精密加工領(lǐng)域防治環(huán)境振動(dòng)的主要方法分被動(dòng)控制、主動(dòng)控制、半主動(dòng)控 制和混合控制，主要采用的措施分為消振和隔振。 18 參考文獻(xiàn) [1]袁巨龍，張飛虎，戴一帆，等 .超精密加工領(lǐng)域科學(xué)技術(shù)發(fā)展研究 [J].機(jī)械工程學(xué)報(bào)， 2022,（ 15） :161177. [2]李冬梅 .超精密加工領(lǐng)域國內(nèi)外發(fā)展?fàn)顩r分析比較初探 [J].內(nèi)蒙古民族大學(xué)學(xué)報(bào) （自然 科學(xué)版） ,2022,（ 5）： 533536. [3]王洪祥，宋興永 ,張龍江 .非球面超精密加工機(jī)床的發(fā)展?fàn)顩r [J].機(jī)械工程師， 2022,(5)： 1415． [4]成清校，宋健，王鵬超，路蘭卿 .淺談非球面光學(xué)零件的超精密加工技術(shù) [J].Equipment Manufacturing Technology， 2022（ 11）： 104106. [5]何嫣然 .環(huán)境微振動(dòng)下超精密加工設(shè)備的響應(yīng)研究 .[碩士學(xué)位論文 ]，南京理工大學(xué)， 2022. [6] E. Celebi,G. Schmid. Investigation of ground vibrations induced by moving loads [J]. Engineering Structures, 2022,27(14): 19811998. [7]王加春 ,董申 ,李旦等 .超精密機(jī)床的主動(dòng)隔振系統(tǒng)研究 [J].振動(dòng)與沖擊， 2022,19（ 3）： 5456. [8]蓋玉先 ,李旦 ,董申等 .振動(dòng)主動(dòng)控制中電磁作動(dòng)器動(dòng)態(tài)特性的研究 [J].高技術(shù)通 訊 ,2022,11(6):7678. [9]曹志彤 ,何國光 ,陳宏平等 .超磁致微位移直線驅(qū)動(dòng)器 [J].壓電與聲光 ,2022,24(5): 358361. [10]張利國 ,張嘉鐘 ,賈力萍等 .空氣彈簧的現(xiàn)狀及其發(fā)展 [J].振動(dòng)與沖擊 , 2022,26(2):146151. [11]侯德軍 ,雷曉燕 ,羅信偉等 .鐵路隔振溝減振的數(shù)值分析 [J].鐵道科學(xué)與工程學(xué) 報(bào) ,2022,3(2):4852. [12]曹志剛 ,蔡袁強(qiáng) ,徐長節(jié)等 .空溝對(duì)列車運(yùn)行引起的地基振動(dòng)隔振效果研宄 [J].巖土力 學(xué) ,2022,33(8):23732382. [13]GB5004096動(dòng)力機(jī)器基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范 [S]. [14]張洪田 .動(dòng)力吸振技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展 [J].噪聲與振動(dòng)控制 ,1996,(2). [15]陳章位 ,于慧君 .振動(dòng)控制技術(shù)現(xiàn)狀與進(jìn)展 [J].振動(dòng)與沖擊 ,2022,28(3):7377. 。以后以下一些研究有待更加深入的研究和攻克： (1)振動(dòng)在超精密加工中的測(cè)試應(yīng)考慮不同加工的場(chǎng)合與場(chǎng)地條件，使課題中關(guān)于超精密 加工中環(huán)境條件的防治方法更具有普遍適用性，在本課題的研究之中，應(yīng)對(duì)不同場(chǎng)合 的地質(zhì)資料等進(jìn)行更加詳細(xì)的研究比較和分析； (2)振動(dòng)的影響不止于環(huán)境振動(dòng)，未來防治振動(dòng)也需要在研制超精密加工設(shè)備時(shí)改善設(shè)備 結(jié)構(gòu)以及使用的材料，并加以消振隔振的儀器，使機(jī)器本身盡量不產(chǎn)生振動(dòng)，消 除內(nèi) 部因素。綜上所述，本次課題的研 究得到了以下的總結(jié)： （ 1） 超精密加工技術(shù)在現(xiàn)代國際社會(huì)中有著非同以往的影響，而超精密加工中精度是最 關(guān)鍵的一個(gè)參數(shù)和衡量標(biāo)準(zhǔn)。目前 ,較典型的幾種混合控制裝置包括 AMD 與 TMD 組合 ,以及主動(dòng)控制與基礎(chǔ)隔振、耗能減振裝置的組合 [16]等。后 者是兩種控制方法各自獨(dú)立工作 ,可進(jìn)行控制校核。將二者有機(jī)地結(jié)合起來 ,構(gòu)成新型 16 主動(dòng)變剛度 阻尼控制裝置則更有優(yōu)勢(shì)。目前對(duì)半主動(dòng)控制方法的研究不多 ,幾種典型的半主動(dòng)控制裝置有 :半主動(dòng)TMD、半主動(dòng)動(dòng)力觸動(dòng)器、主動(dòng)變剛度裝置和主動(dòng)變阻尼裝置等?？刂浦写嬖诘臅r(shí)滯問題 ,會(huì)導(dǎo)致施加給結(jié)構(gòu)的主動(dòng)控制力引發(fā)結(jié)構(gòu)的不穩(wěn)定等。在通常的接觸式傳感器中 ,速度型傳感器適用于測(cè)量設(shè)備不平衡、轉(zhuǎn)軸不對(duì)中 ,以及連接松動(dòng)、等問題引起的低頻振動(dòng) ,用其進(jìn)行振動(dòng)位移的測(cè)量 ,數(shù)據(jù)結(jié)果較穩(wěn)定。 常用的致動(dòng)器包括壓電陶瓷、液壓元件、氣動(dòng)元件和電動(dòng)元件等 ,多用于體積和質(zhì)量較大的地面及固定系統(tǒng)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。由多個(gè)動(dòng)力吸振器并聯(lián)組成的多重調(diào)諧質(zhì) 量阻尼器 ,也逐步用于艦船設(shè)備 ,用以抑制柴油機(jī)不平衡擾力引起的振動(dòng)。動(dòng)力吸振的實(shí)質(zhì)即利用子結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的 “鞭梢效應(yīng) ”來吸收主體結(jié)構(gòu)的振動(dòng)能量而實(shí)現(xiàn)減振。實(shí)踐證明 ,多層約束阻尼層消振效果較好。通過改善結(jié)構(gòu)斷面的尺寸、形狀 ,以及零部件間的聯(lián)接剛度等以優(yōu)化機(jī)床結(jié)構(gòu) ,提高其抗振能力。 5)優(yōu)化動(dòng)力設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 為減少其他動(dòng)力機(jī)械設(shè)備等工作產(chǎn)生的基礎(chǔ)振動(dòng)干擾 ,選擇動(dòng)平衡性能好的機(jī)械設(shè)備較為關(guān)鍵。規(guī)范明確規(guī)定了不同機(jī)床種類所應(yīng)滿足的基礎(chǔ)混凝土 厚度 ,見表 。當(dāng)外界擾力頻率較低時(shí) ,不僅要 降低支承剛度 ,還應(yīng)在基礎(chǔ)下部采用隔振元件 ,利用基礎(chǔ)增加隔振系統(tǒng)的質(zhì)量 ,構(gòu)成一個(gè)具有低固有頻率的隔振系統(tǒng)。 3)采用隔振元件 對(duì)于與地面之間設(shè)置隔 振元件的選擇 ,應(yīng)根據(jù)不同振源的特點(diǎn)和加工設(shè)備所處的工作環(huán)境 ,從隔振效果、經(jīng)濟(jì)成本、安裝拆卸及長期使用中的調(diào)整和更換方便等因素綜合考慮 , 13 采用合適的隔振器類型和尺寸 ,應(yīng)保證隔振器的總體剛度