【正文】 、電動(dòng)機(jī)、通風(fēng)機(jī)和水泵等設(shè)備引起 ,振動(dòng)頻率在 2~80Hz。在振動(dòng)的防治過程中，首先要充分考慮和分析振源所具有的特性。和常見的地震想對比，都有著相類似的振動(dòng)輸出和結(jié)構(gòu)的響應(yīng)樣式 ,但兩者的持續(xù)時(shí)間、振動(dòng)強(qiáng)度和人們研究的物理量大體卻不相同 [5]。外部振動(dòng)的消除主要是隔振：遠(yuǎn)離振動(dòng)源；隔絕空氣彈簧；隔振地基、安防隔振元件等。 熱環(huán)境的指標(biāo)的控制主要是控制超精密加工時(shí)工作環(huán)境的恒溫和恒濕，安裝空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括：加熱裝置、冷卻裝置、加濕裝置、減濕裝置等。 5 對于超精密加工過程中的各類環(huán)境條件，為了控制環(huán)境條件 來達(dá)到超精密加工過程中所需要的要求，我們就必須采取措施來保證和控制超精密加工時(shí)環(huán)境條件的達(dá)標(biāo)。防靜電環(huán)境中靜電有可能造成半導(dǎo)體元器件的損傷，能是某些超精密加工中的膠片感光、出現(xiàn)某些氣泡、沾染塵埃，造成超精密加工中的生產(chǎn)質(zhì)量不達(dá)標(biāo)，為了防止此類事故，要采取措施防止靜電。自然界的振動(dòng)通常包括風(fēng)等。振動(dòng)的來源一般分為室內(nèi)振動(dòng)、室外振動(dòng)和自然界的振動(dòng)，室內(nèi)振動(dòng)大體上包括人員移動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)、設(shè)備本身加工時(shí)所產(chǎn)生的振動(dòng)、材料物資轉(zhuǎn)移搬運(yùn)所產(chǎn)生的振動(dòng)、輔助器械所產(chǎn)生的振動(dòng)。所以在超精密加工中始終保持 40%~50%的濕度環(huán)境，并在加工的過程中始終注意濕度的變化，隨時(shí)給設(shè) 備進(jìn)行加濕和減濕的處理，保證超精密加工過程的高精度?！?）之間，而也可使用恒溫室來進(jìn)行整體的恒溫，為了降低能耗，一般夏季控制在 23℃ ，冬季控制在 17℃ 。 熱環(huán)境的主要指標(biāo)是溫度和濕度，溫度的變化直接影響到機(jī)床和被加 工工件在超精密加工過程中的形變和加工的精度，在超精密加工中主要控制溫度的上下起伏，就是要求在加工過程中溫度的變化越小越好，即控制恒溫。的空氣中，直徑大于等于 100 個(gè)。國際上所接納的標(biāo)準(zhǔn)等級包括 100級、 1000級、 10000級、 100000級。超精密加工中，所需要的條件中，空氣潔凈度是很重要的指標(biāo)，如果不能保證所要求的空氣潔凈度，就很難加工出很達(dá)到要求粗糙度的表面，空氣中的塵埃的混入會(huì)使被加工工件的表面劃傷或者工件精度收到影響，一顆直徑 ，因此進(jìn)行超緊密加工需要建設(shè)潔凈室，所 謂潔凈室就是講空氣環(huán)境中的各個(gè)條件進(jìn)行有效控制的房間。干擾超精密加工精度和質(zhì)量的環(huán)境條件有空氣環(huán)境、熱環(huán)境、 振動(dòng)環(huán)境、聲環(huán)境、光環(huán)境和靜電環(huán)境等較多因素，這些因素一起影響著加工過程中加工的精度和質(zhì)量。 超精密加工是現(xiàn)代發(fā)展高科技和高精密儀器機(jī)械的必需的機(jī)械制造工藝，該技術(shù)最核心的問題就是怎么去除接近材料分子尺寸的極其薄的材料層。 長久以來，我國高新先進(jìn)的制造業(yè)電子產(chǎn)品主要技術(shù)設(shè)備基本上都依靠國外的進(jìn)口，更無法觸及到超精密 加工技術(shù)的核心，嚴(yán)重約束了我國電子產(chǎn)業(yè)、超精密加工行業(yè)的長足自主發(fā)展和壯大。此外，哈爾濱工業(yè)大學(xué)孫希威等 [4]首先對大氣等離子體拋光技術(shù)看展了探究，對于單晶硅片的加工試驗(yàn)獲得了較為滿意的成果。國內(nèi)有很多研究機(jī)構(gòu)和企業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)對磁流變拋光進(jìn)行了探索研究，國防科技大學(xué)本世紀(jì)初研制了加工尺寸可達(dá) 1m 口徑的磁 流變拋光設(shè)備 KDMRF1000。北京航空精密機(jī)械研究所在我國超精密加工設(shè)備研究單位中是獨(dú)具特色的，研制出 Nanosys300 非球曲面超精密復(fù)合加工系統(tǒng) [3]。 哈爾濱工業(yè)大學(xué)是我國研究超精密加工設(shè)備技術(shù)最早的研究機(jī)構(gòu)之一，在上個(gè)世紀(jì)九十年代中期成功研制了亞微米級的超精密機(jī)床，并且對超精密切削過程的加工工藝機(jī)理、刀具耗損原理、脆性材料超精密切削去除機(jī)制等方向進(jìn)行了相當(dāng)多的研究和探索，本世紀(jì)初期研制成的大平面超精密銑床，已被采用到核聚變關(guān)鍵零件超精密加工過程中去了。上個(gè)世紀(jì)七十年代后期研制了高精度磁盤車床。 我國于上個(gè)世紀(jì)六十年代中期開始研究鏡面外圓磨床，加工圓度小于 ，表面粗糙度能低于 。日本超精密發(fā)展偏向于電腦硬盤磁片、民用光學(xué)透鏡等民用產(chǎn)品。當(dāng)下這類反射鏡的材料為重量小且導(dǎo)熱性較好的碳化硅，但這種材料的硬度較高，對于這種材料的超精密加工會(huì)遇到較高的技術(shù)要求 。 當(dāng)今國際范圍內(nèi)的超精密加工技術(shù)大國以日本、歐洲和美國為首，但是它們各自發(fā)展的關(guān)注重點(diǎn)又不盡相同。隨著超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)的逐漸成熟，超精密加工設(shè)備成為工業(yè)生產(chǎn)中比較習(xí)見的生產(chǎn)設(shè)備。上個(gè)世紀(jì)九十年代后，民用超精密加工技術(shù)漸漸完善和成熟。在這時(shí)間段還出現(xiàn)了可處理硬質(zhì)金屬的超精密金剛石磨削磨床，但盡管如此，超精密加工的效率還是無法趕上金剛石車床。美國、日本、歐洲的一些領(lǐng)頭的超精密加工研究的公司在政府的支持下，將超精密加工技術(shù)開始投向市場， 一開始是民用的精密鏡頭的生產(chǎn)。歐美一些發(fā)達(dá)國家陸續(xù)成功研制成功了用于超精密加工的超精密金剛石車床，用于一些常見軟金屬的超精密加工，加工的形狀也只限于簡單的軸對稱圖形零件。 介紹 國際上其他國家超精密加工開展較早，上個(gè)世紀(jì)六十年 代初期，上個(gè)世紀(jì)五十年代至 2 八十年代為技術(shù)發(fā)展初期。盡管超精密加工機(jī)床在設(shè)計(jì)生產(chǎn)之初就已經(jīng)盡可能減少了環(huán)境振動(dòng)對于超精密加工的不良影響 ,但由于生產(chǎn)加工環(huán)境和加工技術(shù)的轉(zhuǎn)變 ,環(huán)境振動(dòng)還是會(huì)存在在一些超精密加工的機(jī)床設(shè)備里 ,從而使產(chǎn)品加工精度的下降 ,這個(gè)現(xiàn)象嚴(yán)重影響了超精密加工制造的未來成長與壯大?？傮w上看，產(chǎn)品精度的不斷提升促使產(chǎn)業(yè)有產(chǎn)品微型化的趨勢 ,并且提高了產(chǎn)品零件之間的可置換性 ,有效提升了組裝裝配的效率 ,提高產(chǎn)業(yè) 的整體自動(dòng)化程度。 跟著現(xiàn)代加工制造技術(shù)和高新產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品對產(chǎn)品的精度以及表面完整性的要求愈來愈高 ,超精密加工制造技術(shù)的重要性逐漸體現(xiàn)。 從應(yīng)用的角度來看，在關(guān)系國家安全和綜合國力的行業(yè)如國防科技、探空技術(shù)、核子能、高新電子等高科技的高新技術(shù)領(lǐng)域中超精密加工及其制造的高精儀器起著相當(dāng)重要的角色，在這些領(lǐng)域的使用中有探空火箭技術(shù)、高新儀器里的齒輪、人工智能機(jī)器等。 關(guān)鍵詞 ：超精密加工；環(huán)境振動(dòng)；隔振措施；消振措施 1 超精密加工制造技術(shù)是當(dāng)今高新科技工業(yè)發(fā)展的基本要素，同樣也成為了將來制造科學(xué)前進(jìn)的方向，在國際競爭中，超精密加工制造技術(shù)也是至關(guān)重要的高新頂尖技術(shù)步驟之一。為了研究超精密加工中環(huán)境條件特別是振動(dòng)環(huán)境的控制，本文主要研究超精密加工主要影響超精密加工的環(huán)境條件及其控制的策略；研究超精密加工中環(huán)境振動(dòng)的分類和來源以及其對超精密加工的影響；研究超精密加工中控制環(huán)境振動(dòng)所采用的技術(shù)和材料裝置，并 對其采用后的效果進(jìn)行評估和相對應(yīng)振動(dòng)的分類。 I 超精密加工的環(huán)境條件與控制策略 摘要： 超精密加工是現(xiàn)代國家高新科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前進(jìn)基礎(chǔ)和保障，是各個(gè)國家綜合國力的象征，推動(dòng)著國家高新制造產(chǎn)業(yè)的不斷前進(jìn)。加工精度和效率的提高促進(jìn)了超精密加工技術(shù)的向更高層面邁進(jìn)，但是環(huán)境條件尤其是振動(dòng)條件是影響超精密加工精度和效率的主要因素。 通過對上述內(nèi)容的研究，初步掌握環(huán)境振動(dòng)對于超精密加工的影響，并對環(huán)境振動(dòng)采取有效的隔振消振處理和探索，為超精密加工中的環(huán)境振動(dòng)的控制提出合理有建設(shè)性意義的建議。它綜合運(yùn)用了機(jī)械制造技術(shù)發(fā)展的最新的研究成果以及現(xiàn)代電子訊息技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、現(xiàn)代測量 和電腦技術(shù)等高新技術(shù)，是衡量一個(gè)國家科技水平和綜合國力的重要依據(jù)，因此受到各個(gè)工業(yè)發(fā)達(dá)國家的高度重視。超精密加工的加工材料范圍廣泛，包括軟金屬、淬火鋼、不銹鋼、高速鋼、硬質(zhì)合金等較難加工的材料，也包括半導(dǎo)體、玻璃、陶瓷等硬脆非金屬材料，不受材料外形的限制，使用的未來遠(yuǎn)景極為廣 [1]。有關(guān)范疇的技術(shù)開發(fā)和發(fā)展就開始竭力于加工精度的一直提升 ,從微米級、亞微米級到納米級 ,甚至現(xiàn)在的亞納米級 ,比如航空航天產(chǎn)業(yè)里陀螺儀的軸承、電子信息產(chǎn)業(yè)里的集成電路和光學(xué)工業(yè)上的集成光路等 ,這些技術(shù)使生產(chǎn)的產(chǎn)品的體積減小 ,使產(chǎn)品質(zhì)量和性能得到提升 ,并減少了這些工業(yè)產(chǎn)品使用成本。 對于超精密加工生產(chǎn)中產(chǎn)品加工精度產(chǎn)生影響的主要是因?yàn)榧庸どa(chǎn)中的環(huán)境振動(dòng)。所以處理環(huán)境振動(dòng)對超精密加工設(shè)備的干擾就變得格外迫切。這一個(gè)時(shí)間段，美國首先開始研究了以單點(diǎn)金剛石切削（ SPDT