mems陀螺儀精講(編輯修改稿)
2024-11-19 05:55 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 完全集成在一個(gè)硅片上，從而實(shí)現(xiàn)了陀螺儀真正意義上的機(jī)電一體化。,第九頁(yè)，共二十頁(yè)。,低成本批量生產(chǎn),將MEMS陀螺儀與其輔助電路整合在同一個(gè)封裝內(nèi)，運(yùn)用創(chuàng)新的MEMS制程技術(shù)，簡(jiǎn)化傳感器與線路之間的焊接過(guò)程，并縮小它們的封裝尺寸（多軸陀螺儀的系統(tǒng)封裝面積僅為35平方毫米），用一塊硅片可一次性快速生產(chǎn)大量產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)低成本量產(chǎn)。,第十頁(yè)，共二十頁(yè)。,MEMS陀螺儀的特點(diǎn),缺點(diǎn)： 陀螺儀根據(jù)精度劃分，有超高精度、中高精度陀螺儀和低精度陀螺儀。MEMS陀螺儀雖然應(yīng)用前景廣，但目前仍屬于低精度陀螺儀，隨機(jī)漂移誤差較大。超高精度陀螺儀主要包括靜電陀螺、磁浮陀螺和液浮陀螺。目前最高精度的陀螺儀是靜電陀螺儀。,第十一頁(yè)，共二十頁(yè)。,MEMS陀螺儀的應(yīng)用發(fā)展史,1.MEMS陀螺儀的第一波應(yīng)用是1990年代的汽車安全系統(tǒng),2.MEMS陀螺儀第二波應(yīng)用是始于2000年的消費(fèi)電子產(chǎn)品,3.MEMS陀螺儀的第三波應(yīng)用將開(kāi)始出現(xiàn)在醫(yī)療、工業(yè)器械等領(lǐng)域,第十二頁(yè)，共二十頁(yè)。,MEMS陀螺儀的軍事應(yīng)用優(yōu)勢(shì),在現(xiàn)今的世界格局中，戰(zhàn)爭(zhēng)以信息化戰(zhàn)爭(zhēng)的對(duì)抗為主,重點(diǎn)是發(fā)展精確制導(dǎo)武器，MEMS陀螺儀在其中發(fā)揮了重要作用。,MEMS陀螺儀能夠提供準(zhǔn)確的方位，位置，速度，加速度等信息，并可應(yīng)用在戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈，智能炮彈，新概念武器，空間飛行器，自主式潛艇導(dǎo)航等領(lǐng)域。,第十三頁(yè)，共二十頁(yè)。,MEMS陀螺儀的民用優(yōu)勢(shì),微機(jī)械陀螺儀由于具有非常容易小型化和批量生產(chǎn)，成本低和體積小等特點(diǎn)。近年來(lái)，在很多應(yīng)用中受到密切地關(guān)注。,MEMS陀螺儀可在數(shù)碼相機(jī)中用于穩(wěn)定圖
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