以實(shí)驗(yàn)計(jì)劃法提高擠壓式填孔的良率(編輯修改稿)
2024-09-10 16:46 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 的銀膠。 本階段的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)的通孔（ via）直徑為 6 mil，總數(shù)有 5000個(gè)孔，均勻分布在面積為 6” 6” 的生胚上，以擠壓方式填孔。待八個(gè)子實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，以燈箱檢視其填入率，中空個(gè)數(shù)即為中空特性之分?jǐn)?shù)，最少 0分，最大 5000分，為望 小值。用膜厚儀量測填入之金屬膏高度，量測方法是每片生胚分成四區(qū)，每區(qū)量一點(diǎn)，每個(gè)子實(shí)驗(yàn)做二片，取第二片的四點(diǎn)平均值，正值表凸起，負(fù)值表凹陷。高度均勻性的數(shù)值是同一片生胚中，最大之高度減最小之高度的絕對值，為望小值。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果如表二。 表二、第一階段實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù) 配制順序 填入高度 （ μm ） 填入率 （空洞個(gè)數(shù)） 高度均勻性 （ μm ） 1 100 5000 100 2 100 5000 100 3 28 4 3 5 18 6 3 7 0 8 0 第一階段實(shí)驗(yàn)結(jié)果，有些完全填入，有些則否，圖三（ a）顯示未填好之中空 Via微結(jié)構(gòu)圖，而（ b）為填妥之 Via微結(jié)構(gòu)圖，幾乎沒有暈開現(xiàn)象。經(jīng) ANOVA分析找到非常顯著因子與顯著因子共計(jì)四個(gè)，分別是填充時(shí)間、填充壓力、 Mask孔洞大小及墊紙材質(zhì)，且總貢獻(xiàn)度均超過 70%，表示第一階段實(shí)驗(yàn)成功。最后根據(jù) ANOVA分析作交互作用表（ Cross Table, 表三 ），并依 Cross Table來選擇第二階段 的因子與水平。本實(shí)驗(yàn)為多特性實(shí)驗(yàn)。 Cross Table是先將針對各特性較佳因子水平分別列出，然后再將水平不一致的因子，依貢獻(xiàn)率、質(zhì)量成本、生產(chǎn)效率等斟酌取舍，進(jìn)而得到一組綜合較
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