光刻機(jī)簡單介紹(編輯修改稿)
2024-10-25 06:01 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 177。Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1(f2177。Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有177。Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。,光刻教育資料,光刻Team,20,工作臺(tái)定位：移動(dòng)境、固定境,通過移動(dòng)境 、固定境反 射后的光線 ，形成干涉光 ，被檢知器 檢知。,光刻教育資料,光刻Team,21,光刻機(jī)構(gòu)造－LENS CONTROLLER,鏡頭控制器：簡稱LC,對鏡頭倍率及焦點(diǎn)進(jìn)行 控制的關(guān)鍵部件。 構(gòu)成：控制基版 BELLOWS PUMP LENS TEM.SENSOR 壓力計(jì)等,光刻教育資料,光刻Team,22,LC倍率控制的實(shí)現(xiàn),,reticle,壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),lens,wafer,A,B,A室與大氣相連； B室氣壓可以調(diào)節(jié)，通過改變 B室氣壓，從而改變其折射率 使倍率進(jìn)行實(shí)時(shí)追蹤 A室中集中了大部分光學(xué)鏡頭,光刻教育資料,光刻Team,23,LC與AUTOFOCUS的關(guān)系,,,,,Lens,lamp,reticle,wafer,detect,Slit,Halving glass,Lens的實(shí)際焦點(diǎn)隨著 B室氣壓的變化實(shí)時(shí) 在變化。,Autofocus系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)z工作臺(tái)與lens焦點(diǎn)的追蹤。,,vibrator,up,down,光刻教育資料,光刻Team,24,光刻機(jī)－相關(guān)特性參數(shù),數(shù)值孔徑（numerical aperture)N.A.,分辨率（resolving power),焦點(diǎn)深度（depth of focus）,光刻教育資料,光刻Team,25,數(shù)值孔徑,數(shù)值孔徑（N.A.）,θ,物鏡,焦點(diǎn),N.A.=Nsinθ,N：折射率,Θ：折射角,光刻教育資料,
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