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正文內(nèi)容

pecvd等離子的基本原理(編輯修改稿)

2024-10-24 21:27 本頁(yè)面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 ,PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu),冷卻系統(tǒng): 是一套封閉的循環(huán)水系統(tǒng),位于加熱系統(tǒng)的金屬外殼,四進(jìn)四出并有一個(gè)主管道,可適量調(diào)節(jié)流量大小。 冷卻系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn): 沒(méi)有消耗凈室空氣 不同管間無(wú)熱干涉 爐環(huán)境的溫度沒(méi)有被熱空氣所提升 空氣運(yùn)動(dòng)(通風(fēng)裝置)沒(méi)有使房間污染 噪音水平低,冷卻系統(tǒng)示意圖,特氣柜:MFC 氣動(dòng)閥 MFC:氣體流量計(jì)(NH3 CF4 SiH4 O2 N2) SiH4 1.8 slm NH3 10.8 slm CF4 3.6 slm O2 3 slm N2 15 slm 氣動(dòng)閥:之所以不用電磁閥是因?yàn)殡姶砰y在工作時(shí)容易產(chǎn)生火花,而氣動(dòng)閥可以最大程度的避免火花。,PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu),真空系統(tǒng) 真空泵:每一根石英管配置一組泵,包括主泵和輔助泵。 蝶閥:可以根據(jù)要求控制閥門(mén)的開(kāi)關(guān)的大小,來(lái)調(diào)節(jié)管內(nèi)氣壓的,PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu),控制系統(tǒng) CMI:是 Centrotherm 研發(fā)的一個(gè)控制系統(tǒng),其中界面包括 Jobs(界面) 、System(系統(tǒng))、Catalog(目錄)、Setup(軟件)、Alarms(報(bào)警)、Help(幫助). Jobs:機(jī)器的工作狀態(tài)。 System:四根管子的工作狀態(tài),舟的狀態(tài)以及手動(dòng)操作機(jī)器臂的內(nèi)容。 Dat
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