pi工藝流程京東方(編輯修改稿)
2025-03-30 19:33 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 情況 畫像對位系統(tǒng) 一、工藝設備相關 —— Coater Page 17 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) 工作臺 Alignment system工作原理 : 先在 Dummy 基板上印刷出圖形（見圖 1）移動機臺 ,使對位標記位于攝像機鏡頭中心 ,固定機臺位置 并保存數(shù)據(jù)。生產(chǎn)時，攝像機鏡頭自動捕捉 normal glass上的對位 mark（見圖 2），使 normal glass上 mark 與 APR版上的對位 mark重合。那樣就能保證涂布 PI液時的準確性。當兩個 mark出現(xiàn)偏移時， alignment pin 自動前后左右調(diào)整，使玻璃基板上的對位標記與 APR版上的對位 mark重合，此時能夠確定玻璃基板在 table 上的準確位置。（見圖 3， 4， 5， 6）這樣能夠確保每次印刷在同一位置。 Pin不動，開始真空吸附并固定 玻璃基板于 table上。松開 pin可以開始涂布 PI液。 圖 5， 6， alignment pin自動前后左右調(diào)整，使玻璃基板上的對位標記與 APR版上的對位 mark重合 一、工藝設備相關 —— Coater Page 18 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) Doctor roll壓入量 Table speed D/R和 A/R 回轉(zhuǎn)比（％） PI液滴下量 印刷要素 PI膜厚度控制 一、工藝設備相關 —— Coater Page 19 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) 一、工藝設備相關 —— Pre cure Precure主要是對前面 coater涂布的取向膜進行預固化 .去除取向膜的一部分溶劑。使取向膜與玻璃基板有一定的粘合力。另外配向膜在未干燥時易吸附異物，為了防止粘附異物，需要進行預干燥處理。 Precure Page 20 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) Inspection工作原理： 當 glass流過時 camera對基板進行掃描。 camera對流過的 glass進行連續(xù)拍照，計算機記錄拍下的數(shù)據(jù)，然后把數(shù)據(jù)進行分析，以一個點為基準和相鄰的點進行對比，當有異常時計算機自動記錄下坐標位置，并以紅點的形式顯示在屏幕上，當點擊異常PANEL上的坐標時，顯微鏡自動找到異常位置，可以在顯示器上觀看是什么不良。 一、工藝設備相關 —— Inspection Page 21 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) Scan Camera source of parallel light 一、工藝設備相關 —— Inspection Page 22 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) Review Camera 一、工藝設備相關 —— Inspection Page 23 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) Inspection： 檢出配向膜印刷缺陷及印刷膜外觀、膜厚均一性 主要不良：配向膜漏印、膜厚不均、印刷位置、異物、劃傷、基板 裂紋等 一、工藝設備相關 —— Inspection Page 24 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) 一、工藝設備相關 —— Main Cure UNLOADER設備原理 Maincure作用： 通過高溫加熱的方式把 glass基板上的 PI膜完全轉(zhuǎn)化成 PI膜 Page 25 BOE HFManu 團隊 速度 品質(zhì) IR (Infrared Ray) Heater 方式 由 Air PreHeater向 Chamber內(nèi)部逐步通入 N2 Gas預熱方式 多段加熱爐內(nèi)一直保持負壓狀態(tài) 它的目的及優(yōu)點是 ①能制造
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