制絨原理及工藝(編輯修改稿)
2025-03-18 08:06 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 77。2℃ HNO3:177。HF:177。DIWater: 漂洗 DI Water:80L 常溫 / 堿洗 KOH:5 DI Water:125 L 20177。5℃ KOH: 漂洗 DI Water:60L 常溫 / 酸洗 HCl： 16 L DI Water： 120 L 常溫 HCl： 177。酸洗 HF： 7 L HCl： 7 L DI Water： 117 L 常溫 HF： 177。HCl： 177。漂洗 DI Water:60L 常溫 / 滿提拉、烘干 85℃ / 備注 156多晶：制絨槽每 30萬片換液一次；其它槽位每 10萬片換一次。 125多晶：制絨槽每 45萬片換液一次；其它槽位每 15萬片換一次。 工藝參數(shù) ? 混酸腐蝕時間 ? 時間太短，那么切割造成的表面損傷就沒有完全除去，晶體缺陷就仍然存在，會降低開路電壓 Uoc和短路電流 Jsc 。 ? 時間太長，凹陷尺寸就會變得很大，這樣就會增加反射系數(shù)（相應(yīng)減少 Jsc）和增加表面積（相應(yīng)的減少 Uoc） 關(guān)鍵因素 主要內(nèi)容 多晶 單晶 制絨的目的 去磷硅工藝 制絨原理及工藝 清洗工序注意事項(xiàng) ? 工藝參數(shù)不能隨便的修改。 ? 各班班長應(yīng)在交接班時檢查每個工藝參數(shù)，如發(fā)現(xiàn)工藝參數(shù)有修改，應(yīng)詢問上個班的班長或技術(shù)員。 工藝參數(shù) 硅片尺寸檢查 ? 上片過程中如發(fā)現(xiàn)有油污片、發(fā)亮片、微晶片（片源有 “微晶片 ”說明的除外）等異常情況，需挑出并告知工藝員。 ? 將缺角、隱裂等不合格硅片挑出，退庫。 ? 每放 1500片時需更換手套，出入車間時需換手套。 上料檢驗(yàn) 先將硅片分成扇形狀，再一片片的取下插入小花籃中，注意輕拿輕放。 插片 注意： 安全 補(bǔ)水量及槽內(nèi)的清潔 需按照工藝文件配液，嚴(yán)禁私自配液。 配液 注意安全： 需按照工藝文件的要求配液，嚴(yán)禁私自配液。 補(bǔ)液 水洗 漂洗 堿洗 漂洗 酸洗 漂洗 烘干 上料 開機(jī) 機(jī)器準(zhǔn)備 配液 下料 關(guān)機(jī) 清潔 擴(kuò)散工序 物料準(zhǔn)備 檢 驗(yàn) 返工流程 制絨 工藝流程 ? 化學(xué)品濺入眼內(nèi) ,立即分開眼瞼 ,用大量清水作長時間沖洗，就醫(yī)。 ? 化學(xué)品皮膚接觸后立即用大量流水作長時間徹底沖洗 ,盡快地稀釋和沖去，就醫(yī)。（ HF） ? 化學(xué)品誤服后應(yīng)立即催吐或洗胃，并送醫(yī)院急救。 ? 補(bǔ)充：衣服上沾有化學(xué)藥水應(yīng)用清水沖洗，再及時吹干。 化學(xué)品的急救 主要內(nèi)容 多晶 單晶 制絨的目的 去磷硅工藝 制絨原理及工藝 清洗工序注意事項(xiàng) ? 在擴(kuò)散過程中發(fā)生如下反應(yīng)： ? POCl3分解產(chǎn)生的 P2O5淀積在硅片表面，
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