生產(chǎn)過程的靜電防護(編輯修改稿)
2025-03-08 01:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 體表面上的離子稱固定層，而外層離子是可動的稱活動層或擴散層。 ? 流體帶電 ? 當(dāng)液體流動時，流動層的帶電粒子隨液體流動形成流動電流，異性帶電粒子留在管道中，如管道接地則流入大地，流動的電荷形成電流。穩(wěn)態(tài)時，帶電粒子不斷被流動液體所帶走，固定層電荷經(jīng)接地管道而被中和，此現(xiàn)象有點像電解。不同的親和力，擴散與液體流動的綜合作用取代了電解中的電場作用。影響電量大小與極性的因素有： 液體種類及特性； 管道材料及表面光滑度； 流速、溫度、含水量和空氣、混合物及雜質(zhì)微粒。 七、人體靜電 ? 人體是最主要的靜電源之一 ? 人體的活動使部分機械能轉(zhuǎn)換為電能，每日耗熱量： 10 7 J ＝ 10KWh，瞬間放電功率達 90KW。 ? 人體對地電阻主要由鞋、襪、地面決定 ? 人體等效電容： 100PF （電容有充放電效應(yīng)） ? 人體等效電阻： 1K W (~ W ) ? 安全靜電電壓： 100V（國標(biāo) SJ/T 10630－95）。華為公司《靜電放電控制規(guī)范》（ ）已采用此標(biāo)準(zhǔn)。 靜電損傷 ? 一、靜電損傷的兩種失效形式 ? 1. 硬損傷 ：又稱“突發(fā)性完全失效”、“一次性損壞”，約占 10% ? 表現(xiàn)為器件電參數(shù)突然劣化，失去原有功能。主要原因是靜電放電造成過壓使得介質(zhì)被擊穿，或過流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、硅片局部融化等。 ? 硬損傷可通過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn)，相對軟失效而言危害要小得多。 2. 軟損傷 ：又稱“潛在性緩慢失效”、“多次損傷累積后失效”，約占 90% ? 受到軟損傷的器件，雖然當(dāng)時各類電參數(shù)仍合格，然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng)，可靠性變差，可能會在后續(xù)過程中（直至最終用戶）繼續(xù)遭受 ESD軟損傷或其它過應(yīng)力損傷積累而過早地失效。 ? 由于軟損傷是潛在的，運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來，特別是器件被裝入整機產(chǎn)品之后，因此具有更大的危害性。這些產(chǎn)品流入市場后的維護成本和造成的其它損失，將比在生產(chǎn)中發(fā)生的直接損失要放大幾十甚至上百倍！ 二、基本的 ESD事件 ? 對器件直接的靜電放電 = HBM、 MM ? 器件自身發(fā)生靜電放電 = CDM ? 電場感應(yīng)放電 三、 ESD事件模型 ? 人體模型（ HBM） 靜電損傷最普遍的原因之一是通過從人體或帶電材料到靜電放電敏感（ ESDS）器件之間的一系列有效電阻（ 1~）發(fā)生靜電電荷的直接轉(zhuǎn)移。當(dāng)人走過樓面時，靜電電荷就在人體上積累。手指與 ESDS器件或組件表面的簡單接觸就可使人體放電，可能造成器件損壞。用以模擬這類事件的模型就叫人體模型（ HBM）， 其等效電路如圖所示。 ? 機器模型
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