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正文內(nèi)容

10pecvd生產(chǎn)操作規(guī)程幻燈(編輯修改稿)

2025-02-25 18:05 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 按鈕,彈出下拉菜單 ?點擊工藝“ stop”按鈕 ?點擊傳動“ stop”按鈕 2/8/2023 20 關墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃 ?關上位于墻壁氣箱中特氣閥 ?通知經(jīng)過培訓的設備人員進行特氣管路吹掃 2/8/2023 21 關掉真空泵,向腔體沖入N2 ?進入“ system”狀態(tài)畫面,點擊“ pumps”控制按鈕,彈出下拉菜單 ?等待真空泵凈化 N2氣閥關閉 ?點擊三個真 空泵“ pump off”控制按鈕關掉真空泵 ?點擊反應腔“ vent”控制按鈕 ,向機器腔體沖入凈化 N2,等待沖好指示燈點亮 2/8/2023 22 退出控制程序,關主電源 ?進入“ service”狀態(tài)畫面,點擊系統(tǒng)中“ switch off”控制按鈕,計算機顯示回到winnt 畫面 ?進行正常關計算機操作 ?用手按壓一下紅色急停按鈕,關閉主電源,拉出紅色急停按鈕復位 2/8/2023 23 關上壓縮空氣、氮氣、冷卻水 ?關上壓縮空氣、氮氣閥 ?等十五分鐘后可關閉冷卻水,先關進水閥,然后關回水閥 2/8/2023 24 2/8/2023 25 2/8/2023 26 Figure 10: Process chamber 2/8/2023 27 Figure 12: Gas system 2/8/2023 28 2/8/2023 29 2/8/2023 30 2/8/2023 31 2/8/2023 32 2/8/2023 33 2/8/2023 34 2/8/2023 35 2/8/2023 36 PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程 完 2/8/2023 37 ? 靜夜四無鄰,荒居舊業(yè)貧。 , February 26, 2023 ? 雨中黃葉樹,燈下白頭人。 18:
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