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正文內(nèi)容

10pecvd生產(chǎn)操作規(guī)程幻燈(編輯修改稿)

2025-02-25 18:05 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 按鈕,彈出下拉菜單 ?點(diǎn)擊工藝“ stop”按鈕 ?點(diǎn)擊傳動(dòng)“ stop”按鈕 2/8/2023 20 關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃 ?關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥 ?通知經(jīng)過培訓(xùn)的設(shè)備人員進(jìn)行特氣管路吹掃 2/8/2023 21 關(guān)掉真空泵,向腔體沖入N2 ?進(jìn)入“ system”狀態(tài)畫面,點(diǎn)擊“ pumps”控制按鈕,彈出下拉菜單 ?等待真空泵凈化 N2氣閥關(guān)閉 ?點(diǎn)擊三個(gè)真 空泵“ pump off”控制按鈕關(guān)掉真空泵 ?點(diǎn)擊反應(yīng)腔“ vent”控制按鈕 ,向機(jī)器腔體沖入凈化 N2,等待沖好指示燈點(diǎn)亮 2/8/2023 22 退出控制程序,關(guān)主電源 ?進(jìn)入“ service”狀態(tài)畫面,點(diǎn)擊系統(tǒng)中“ switch off”控制按鈕,計(jì)算機(jī)顯示回到winnt 畫面 ?進(jìn)行正常關(guān)計(jì)算機(jī)操作 ?用手按壓一下紅色急停按鈕,關(guān)閉主電源,拉出紅色急停按鈕復(fù)位 2/8/2023 23 關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)狻⒗鋮s水 ?關(guān)上壓縮空氣、氮?dú)忾y ?等十五分鐘后可關(guān)閉冷卻水,先關(guān)進(jìn)水閥,然后關(guān)回水閥 2/8/2023 24 2/8/2023 25 2/8/2023 26 Figure 10: Process chamber 2/8/2023 27 Figure 12: Gas system 2/8/2023 28 2/8/2023 29 2/8/2023 30 2/8/2023 31 2/8/2023 32 2/8/2023 33 2/8/2023 34 2/8/2023 35 2/8/2023 36 PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程 完 2/8/2023 37 ? 靜夜四無鄰,荒居舊業(yè)貧。 , February 26, 2023 ? 雨中黃葉樹,燈下白頭人。 18:
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